JP3395458B2 - Ｍｓ／ｍｓ型四重極質量分析装置 - Google Patents
Ｍｓ／ｍｓ型四重極質量分析装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＭＳ／ＭＳ型四重極質
量分析装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来のＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置
は、図３に示すように、４本のロッド電極から成る四重
極を３組、イオン源３１と検出器３３との間に同軸に配
置したものである。これら全体は高真空室の中に配置さ
れ、中央の四重極Ｑ2の周囲には、イオン通過箇所での
み開口を有するケース３２が設けられ、内部に開裂ガス
が導入される。イオン源３１に近い方の四重極Ｑ1では
各種イオンを含む入射イオンから目的の親イオンが選択
され、中間の四重極Ｑ2ではその親イオンが開裂ガスと
の衝突により娘イオンに開裂され、検出器３３に近い方
の四重極Ｑ3では質量走査により各娘イオンの同定が行
なわれる。なお、５組の四重極Ｑ1〜Ｑ5を同軸に配置
し、開裂を２回行なうＭＳ／ＭＳ／ＭＳや、それ以上の
回数の開裂を行なうＭＳn等も考えられているが、本出
願において使用する「ＭＳ／ＭＳ」は、これらも含めた
ものを指す。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】目的イオンであって
も、四重極を通過することができるのは中心軸近傍のご
く限られた領域に入射するイオンのみである。従って、
ＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置において各四重極が正
しく同軸に配置されないと、感度が大幅に低下してしま
う。 【０００４】従来のＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置で
は、製造時に複数の四重極を正しく同軸に配置し、ま
た、使用時にそれが狂わないようにするため、図４
（ａ）のようにセラミックホルダ４１で固定された各四
重極Ｑ1〜Ｑ3を１枚の堅固な定盤４２の上に載置した
り、図４（ｂ）に示すように１本の円筒状のパイプ４３
の中に挿入して固定する等の方法をとっていた。しか
し、１枚の定盤４２上に固定する方法では、最初に（す
なわち、製造時に）複数組の四重極Ｑ1〜Ｑ3を正しく同
軸に配置することが困難である。また、使用時において
も、不均一な熱の発生により、当初の正しい配置がズレ
る可能性もあった。パイプ４３に挿入する方法では、パ
イプ４３の全長が長いものとなるため、後述するように
重い四重極を入れると僅かではあっても撓み（たわみ）
が生じ、感度が低下するという問題がある。 【０００５】また、従来の四重極は、各ロッドがバルク
の金属棒から成るものであったため、特にＭＳ／ＭＳの
ように四重極の数が多くなると全体として非常に重量の
大きいものとなっていた。このため、製造、使用時とも
取り扱いに不便であるとともに、上記の撓みによる感度
低下という分析器としての本質的な問題も生じる。 【０００６】更に、四重極の各ロッドの中心軸側の曲面
は、理論的には双曲線面（双曲線が、それが属する平面
に垂直な方向に平行移動することにより形成される面）
であるべきであるが、金属棒をこのような特殊な形状に
加工することは難しく、また、４本のロッド全てについ
て、その頂点が正しく四重極の中心軸に向くように配置
することも困難である。このため、従来は単純な円筒形
状で代替することが多く、感度が犠牲になっていた。 【０００７】本発明はこれらの課題を解決するために成
されたものであり、その目的とするところは、組み立て
が容易であるとともに、高感度特性が常に保証されるＭ
Ｓ／ＭＳ型四重極質量分析装置を提供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明に係るＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装
置は、以下の各要素を備えることを特徴とするものであ
る。 a)基体：絶縁体から成る筒状の部材である。その中心軸
に垂直な面で切断した場合に形成される内面の切断線に
は、４本の、中心軸側に向かって凸な曲線が含まれる。
そして、これら４本の曲線は、上記中心軸に関して軸対
称の位置にある。従って、基体の内面には、これら４本
の曲線が中心軸方向に平行移動することにより形成され
る４枚の中心軸側に凸な曲面（以下、これを電場形成面
と呼ぶ）が存在することになる。 b)４面の薄膜電極：それぞれ、基体の内表面に形成され
る薄膜電極である。これらはそれぞれ、少なくとも、上
記曲線の最も中心軸に近い点の集合である稜線（＝上記
曲線の最も中心軸に近い点が中心軸に平行に移動するこ
とにより形成される稜線＝電場形成面の中心軸側の稜
線）の近傍を覆うように形成される。そして、これら４
面は稜線以外の部分では互いに分離している。 c)少なくとも２枚の隔壁：これらは、基体の中間部の少
なくとも２箇所において、上記中心軸に垂直に、基体の
内面を切断するように挿入される。各隔壁の中心にはイ
オン通過孔が設けられている。 【０００９】 【作用】４面の薄膜電極により、基体の内面には４個の
独立した電極（以下、これを内面電極と呼ぶ）が形成さ
れるが、上記少なくとも２枚の隔壁により、４面の内面
電極の各々は長手方向に３個以上に分断される。電場形
成面の形状を従来のＭＳ／ＭＳ四重極質量分析装置のロ
ッドの中心軸側の面と同じ形状（双曲線面又は円筒面）
としておくことにより、これらの内面電極は電気的に従
来の四重極ロッドと全く同じ作用を行なう。 【００１０】２枚の隔壁を基体の２箇所に挿入した場
合、基体の内面は長手方向に３箇所に完全に分断され、
中間の部分は開裂室として使用することができる。 【００１１】以上により、本発明に係るＭＳ／ＭＳ型四
重極質量分析装置は従来のＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析
装置と全く同じ機能を果たすことができる。 【００１２】 【発明の効果】本発明に係るＭＳ／ＭＳ型四重極質量分
析装置は、基体を石英、ガラス、セラミック等により作
製することができ、その電場形成面を自由な形状とする
ことができる。従って、従来のＭＳ／ＭＳ型四重極質量
分析装置のように加工の困難さにより妥協することな
く、低コストで理想面形状である双曲線面を形成するこ
とができる。また、Ｑ1、Ｑ2及びＱ3の３段の四重極は
１本の基体により当初から一体に形成されているため、
従来の分離型のように組立時や使用時にズレが生じるこ
とがない。これらにより、本発明に係るＭＳ／ＭＳ型四
重極質量分析装置では常に高感度な分析を行なうことが
できる。 【００１３】次に、電極は基体内面の薄膜によって形成
されるため、従来のようなバルクの金属製ロッドを使用
することなく、従来と比べて非常に軽量なものとするこ
とができる。これにより、製造時、使用時とも取り扱い
が容易になるとともに、自重による撓み等の感度阻害要
因も排除される。 【００１４】 【実施例】本発明の一実施例であるＭＳ／ＭＳ型四重極
質量分析装置を図１及び図２により説明する。本実施例
のＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置の中心である３組の
四重極は、図１に示すように、断面形状が、４本の光芒
を有する星形となっている筒状の基体１１により構成さ
れている。基体１１の内面には、その中心軸に関して軸
対称に４枚の内側に凸な双曲線面が形成され、各双曲線
面の表面には薄膜電極１２ａ〜１２ｄが被覆されてい
る。これらの薄膜電極１２ａ〜１２ｄは、基体１１内面
の外側に凸な部分である溝１３ａ〜１３ｄにおいて分離
されており、これにより４枚の薄膜電極１２ａ〜１２ｄ
は電気的に互いに独立となっている。 【００１５】このような基体１１は、例えばガラスの真
空成形法により製造することができる。また、ガラス以
外にも、石英、セラミックス、硬質プラスチック等を用
いることもできる。薄膜電極１２ａ〜１２ｄは周知のＣ
ＶＤ、ＰＶＤ、無電解メッキ等の方法で形成することが
でき、そのとき、溝１３ａ〜１３ｄの部分については、
薄膜電極形成工程の前にマスキングを施しておくことに
より、各薄膜電極１２ａ〜１２ｄの分離が行なわれる。
なお、基体１１の略中央部（後述の両スリット１４ａ、
１４ｂの間であればどこでもよい）のいずれか１本の溝
の部分（図１では溝１３ａ）には、ガス導入口１７を設
けておく。 【００１６】基体１１の一方の側面であって基体１１を
ほぼ３等分に分割する２箇所の位置には、隔壁１５ａ、
１５ｂを挿入するためのスリット１４ａ、１４ｂを設け
る。このスリット１４ａ、１４ｂは基体１１の内面を、
そのほぼ全周囲において切断するような大きさに形成さ
れている。従って、図２（ａ）に示すように、両スリッ
ト１４ａ、１４ｂ内に、できる限り中央寄りとなるよう
に絶縁体の隔壁１５ａ、１５ｂを挿入することにより、
中央には周囲を基体１１と両隔壁１５ａ、１５ｂで囲わ
れた空間が形成される。また、この絶縁体の隔壁１５
ａ、１５ｂにより基体１１の内面の電場形成面は全て切
断されるため、４枚の薄膜電極１２ａ〜１２ｄの各々
も、隔壁１５ａ、１５ｂにより２箇所で切断され、長手
方向に分離された３枚の薄膜電極となる。そして、この
ように分離された各薄膜電極へは、基体１１の両端又は
スリット１４ａ、１４ｂを通過するように形成した薄膜
導通路を通じて外部から電圧を印加することができるよ
うにしておく。これにより、基体１１の内面に第１段四
重極Ｑ1、第２段四重極Ｑ2及び第３段四重極Ｑ3が構成
されたことになる。 【００１７】隔壁１５ａ、１５ｂの略中央には金属板を
埋設し、その中心にイオン通過孔を設けておく。これ
は、イオンの衝突によるチャージアップを防止するとと
もに、イオン収束用の電圧を印加するためである。この
イオン通過孔を有する金属板は、隔壁１５ａ、１５ｂの
内部に埋設した（或いは、隔壁１５ａ、１５ｂの外側の
面＝薄膜電極１２ａ〜１２ｄと接触しない側の面に設け
た）導線を通じて外部に導通させておく。なお、隔壁１
５ａ、１５ｂ及びイオン通過孔を全て絶縁物で形成し、
通過孔の周辺にのみ金属薄膜を被覆して、この被覆部分
を同様に外部に導通するようにしておいてもよい。 【００１８】このように構成された基体１１を図２
（ａ）に示すように両側からホルダ２３ａ、２３ｂで挟
み、その前後に従来の装置と同様のイオン源２１、イオ
ンレンズ２２、デフレクタ２４、イオン検出器２５等を
設けることにより、本実施例のＭＳ／ＭＳ型四重極質量
分析装置が完成する。 【００１９】このＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置を使
用するときは、従来の装置と全く同様に第１〜３段の四
重極Ｑ1〜Ｑ3を構成する各薄膜電極１２ａ〜１２ｄにＲ
Ｆ／ＤＣ電圧を印加、走査することにより、従来の装置
と全く同様に質量分析を行なうことができる。 【００２０】本実施例に係るＭＳ／ＭＳ四重極質量分析
装置では、電極形状を容易に且つ低コストで理想的な双
曲線面とすることができるため、低コストながら高感度
の分析装置を実現することができる。また、第１〜３段
の四重極Ｑ1〜Ｑ3の位置ズレが製造時・使用時ともほと
んど生じないため、理想的な電極配置（アライメント）
が保証され、常時、高感度で分析を行なうことができ
る。 【００２１】なお、上記実施例では内面を双曲線面とし
たが、もちろん、これは円筒面としてもよい。また、隔
壁の数を４枚として、ＭＳ／ＭＳ／ＭＳ四重極質量分析
装置とすることもできるし、それ以上の隔壁を挿入して
ＭＳn四重極質量分析装置を構成することも同様に可能
である。上記の理由により、本発明に係るＭＳ／ＭＳ四
重極質量分析装置は、このように四重極の数が増えるほ
ど、従来の装置に比べて感度や取り扱いの点で有利にな
る。 【００２２】また、第１及び第２段目の四重極Ｑ1、Ｑ2
の前又は後ろの部分の薄膜電極１２ａ〜１２ｄを周方向
の線で分離することにより、それらの四重極に付設され
るプリ又はポストロッドと同等の機能をも実現すること
ができる。
量分析装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来のＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置
は、図３に示すように、４本のロッド電極から成る四重
極を３組、イオン源３１と検出器３３との間に同軸に配
置したものである。これら全体は高真空室の中に配置さ
れ、中央の四重極Ｑ2の周囲には、イオン通過箇所での
み開口を有するケース３２が設けられ、内部に開裂ガス
が導入される。イオン源３１に近い方の四重極Ｑ1では
各種イオンを含む入射イオンから目的の親イオンが選択
され、中間の四重極Ｑ2ではその親イオンが開裂ガスと
の衝突により娘イオンに開裂され、検出器３３に近い方
の四重極Ｑ3では質量走査により各娘イオンの同定が行
なわれる。なお、５組の四重極Ｑ1〜Ｑ5を同軸に配置
し、開裂を２回行なうＭＳ／ＭＳ／ＭＳや、それ以上の
回数の開裂を行なうＭＳn等も考えられているが、本出
願において使用する「ＭＳ／ＭＳ」は、これらも含めた
ものを指す。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】目的イオンであって
も、四重極を通過することができるのは中心軸近傍のご
く限られた領域に入射するイオンのみである。従って、
ＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置において各四重極が正
しく同軸に配置されないと、感度が大幅に低下してしま
う。 【０００４】従来のＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置で
は、製造時に複数の四重極を正しく同軸に配置し、ま
た、使用時にそれが狂わないようにするため、図４
（ａ）のようにセラミックホルダ４１で固定された各四
重極Ｑ1〜Ｑ3を１枚の堅固な定盤４２の上に載置した
り、図４（ｂ）に示すように１本の円筒状のパイプ４３
の中に挿入して固定する等の方法をとっていた。しか
し、１枚の定盤４２上に固定する方法では、最初に（す
なわち、製造時に）複数組の四重極Ｑ1〜Ｑ3を正しく同
軸に配置することが困難である。また、使用時において
も、不均一な熱の発生により、当初の正しい配置がズレ
る可能性もあった。パイプ４３に挿入する方法では、パ
イプ４３の全長が長いものとなるため、後述するように
重い四重極を入れると僅かではあっても撓み（たわみ）
が生じ、感度が低下するという問題がある。 【０００５】また、従来の四重極は、各ロッドがバルク
の金属棒から成るものであったため、特にＭＳ／ＭＳの
ように四重極の数が多くなると全体として非常に重量の
大きいものとなっていた。このため、製造、使用時とも
取り扱いに不便であるとともに、上記の撓みによる感度
低下という分析器としての本質的な問題も生じる。 【０００６】更に、四重極の各ロッドの中心軸側の曲面
は、理論的には双曲線面（双曲線が、それが属する平面
に垂直な方向に平行移動することにより形成される面）
であるべきであるが、金属棒をこのような特殊な形状に
加工することは難しく、また、４本のロッド全てについ
て、その頂点が正しく四重極の中心軸に向くように配置
することも困難である。このため、従来は単純な円筒形
状で代替することが多く、感度が犠牲になっていた。 【０００７】本発明はこれらの課題を解決するために成
されたものであり、その目的とするところは、組み立て
が容易であるとともに、高感度特性が常に保証されるＭ
Ｓ／ＭＳ型四重極質量分析装置を提供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明に係るＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装
置は、以下の各要素を備えることを特徴とするものであ
る。 a)基体：絶縁体から成る筒状の部材である。その中心軸
に垂直な面で切断した場合に形成される内面の切断線に
は、４本の、中心軸側に向かって凸な曲線が含まれる。
そして、これら４本の曲線は、上記中心軸に関して軸対
称の位置にある。従って、基体の内面には、これら４本
の曲線が中心軸方向に平行移動することにより形成され
る４枚の中心軸側に凸な曲面（以下、これを電場形成面
と呼ぶ）が存在することになる。 b)４面の薄膜電極：それぞれ、基体の内表面に形成され
る薄膜電極である。これらはそれぞれ、少なくとも、上
記曲線の最も中心軸に近い点の集合である稜線（＝上記
曲線の最も中心軸に近い点が中心軸に平行に移動するこ
とにより形成される稜線＝電場形成面の中心軸側の稜
線）の近傍を覆うように形成される。そして、これら４
面は稜線以外の部分では互いに分離している。 c)少なくとも２枚の隔壁：これらは、基体の中間部の少
なくとも２箇所において、上記中心軸に垂直に、基体の
内面を切断するように挿入される。各隔壁の中心にはイ
オン通過孔が設けられている。 【０００９】 【作用】４面の薄膜電極により、基体の内面には４個の
独立した電極（以下、これを内面電極と呼ぶ）が形成さ
れるが、上記少なくとも２枚の隔壁により、４面の内面
電極の各々は長手方向に３個以上に分断される。電場形
成面の形状を従来のＭＳ／ＭＳ四重極質量分析装置のロ
ッドの中心軸側の面と同じ形状（双曲線面又は円筒面）
としておくことにより、これらの内面電極は電気的に従
来の四重極ロッドと全く同じ作用を行なう。 【００１０】２枚の隔壁を基体の２箇所に挿入した場
合、基体の内面は長手方向に３箇所に完全に分断され、
中間の部分は開裂室として使用することができる。 【００１１】以上により、本発明に係るＭＳ／ＭＳ型四
重極質量分析装置は従来のＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析
装置と全く同じ機能を果たすことができる。 【００１２】 【発明の効果】本発明に係るＭＳ／ＭＳ型四重極質量分
析装置は、基体を石英、ガラス、セラミック等により作
製することができ、その電場形成面を自由な形状とする
ことができる。従って、従来のＭＳ／ＭＳ型四重極質量
分析装置のように加工の困難さにより妥協することな
く、低コストで理想面形状である双曲線面を形成するこ
とができる。また、Ｑ1、Ｑ2及びＱ3の３段の四重極は
１本の基体により当初から一体に形成されているため、
従来の分離型のように組立時や使用時にズレが生じるこ
とがない。これらにより、本発明に係るＭＳ／ＭＳ型四
重極質量分析装置では常に高感度な分析を行なうことが
できる。 【００１３】次に、電極は基体内面の薄膜によって形成
されるため、従来のようなバルクの金属製ロッドを使用
することなく、従来と比べて非常に軽量なものとするこ
とができる。これにより、製造時、使用時とも取り扱い
が容易になるとともに、自重による撓み等の感度阻害要
因も排除される。 【００１４】 【実施例】本発明の一実施例であるＭＳ／ＭＳ型四重極
質量分析装置を図１及び図２により説明する。本実施例
のＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置の中心である３組の
四重極は、図１に示すように、断面形状が、４本の光芒
を有する星形となっている筒状の基体１１により構成さ
れている。基体１１の内面には、その中心軸に関して軸
対称に４枚の内側に凸な双曲線面が形成され、各双曲線
面の表面には薄膜電極１２ａ〜１２ｄが被覆されてい
る。これらの薄膜電極１２ａ〜１２ｄは、基体１１内面
の外側に凸な部分である溝１３ａ〜１３ｄにおいて分離
されており、これにより４枚の薄膜電極１２ａ〜１２ｄ
は電気的に互いに独立となっている。 【００１５】このような基体１１は、例えばガラスの真
空成形法により製造することができる。また、ガラス以
外にも、石英、セラミックス、硬質プラスチック等を用
いることもできる。薄膜電極１２ａ〜１２ｄは周知のＣ
ＶＤ、ＰＶＤ、無電解メッキ等の方法で形成することが
でき、そのとき、溝１３ａ〜１３ｄの部分については、
薄膜電極形成工程の前にマスキングを施しておくことに
より、各薄膜電極１２ａ〜１２ｄの分離が行なわれる。
なお、基体１１の略中央部（後述の両スリット１４ａ、
１４ｂの間であればどこでもよい）のいずれか１本の溝
の部分（図１では溝１３ａ）には、ガス導入口１７を設
けておく。 【００１６】基体１１の一方の側面であって基体１１を
ほぼ３等分に分割する２箇所の位置には、隔壁１５ａ、
１５ｂを挿入するためのスリット１４ａ、１４ｂを設け
る。このスリット１４ａ、１４ｂは基体１１の内面を、
そのほぼ全周囲において切断するような大きさに形成さ
れている。従って、図２（ａ）に示すように、両スリッ
ト１４ａ、１４ｂ内に、できる限り中央寄りとなるよう
に絶縁体の隔壁１５ａ、１５ｂを挿入することにより、
中央には周囲を基体１１と両隔壁１５ａ、１５ｂで囲わ
れた空間が形成される。また、この絶縁体の隔壁１５
ａ、１５ｂにより基体１１の内面の電場形成面は全て切
断されるため、４枚の薄膜電極１２ａ〜１２ｄの各々
も、隔壁１５ａ、１５ｂにより２箇所で切断され、長手
方向に分離された３枚の薄膜電極となる。そして、この
ように分離された各薄膜電極へは、基体１１の両端又は
スリット１４ａ、１４ｂを通過するように形成した薄膜
導通路を通じて外部から電圧を印加することができるよ
うにしておく。これにより、基体１１の内面に第１段四
重極Ｑ1、第２段四重極Ｑ2及び第３段四重極Ｑ3が構成
されたことになる。 【００１７】隔壁１５ａ、１５ｂの略中央には金属板を
埋設し、その中心にイオン通過孔を設けておく。これ
は、イオンの衝突によるチャージアップを防止するとと
もに、イオン収束用の電圧を印加するためである。この
イオン通過孔を有する金属板は、隔壁１５ａ、１５ｂの
内部に埋設した（或いは、隔壁１５ａ、１５ｂの外側の
面＝薄膜電極１２ａ〜１２ｄと接触しない側の面に設け
た）導線を通じて外部に導通させておく。なお、隔壁１
５ａ、１５ｂ及びイオン通過孔を全て絶縁物で形成し、
通過孔の周辺にのみ金属薄膜を被覆して、この被覆部分
を同様に外部に導通するようにしておいてもよい。 【００１８】このように構成された基体１１を図２
（ａ）に示すように両側からホルダ２３ａ、２３ｂで挟
み、その前後に従来の装置と同様のイオン源２１、イオ
ンレンズ２２、デフレクタ２４、イオン検出器２５等を
設けることにより、本実施例のＭＳ／ＭＳ型四重極質量
分析装置が完成する。 【００１９】このＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析装置を使
用するときは、従来の装置と全く同様に第１〜３段の四
重極Ｑ1〜Ｑ3を構成する各薄膜電極１２ａ〜１２ｄにＲ
Ｆ／ＤＣ電圧を印加、走査することにより、従来の装置
と全く同様に質量分析を行なうことができる。 【００２０】本実施例に係るＭＳ／ＭＳ四重極質量分析
装置では、電極形状を容易に且つ低コストで理想的な双
曲線面とすることができるため、低コストながら高感度
の分析装置を実現することができる。また、第１〜３段
の四重極Ｑ1〜Ｑ3の位置ズレが製造時・使用時ともほと
んど生じないため、理想的な電極配置（アライメント）
が保証され、常時、高感度で分析を行なうことができ
る。 【００２１】なお、上記実施例では内面を双曲線面とし
たが、もちろん、これは円筒面としてもよい。また、隔
壁の数を４枚として、ＭＳ／ＭＳ／ＭＳ四重極質量分析
装置とすることもできるし、それ以上の隔壁を挿入して
ＭＳn四重極質量分析装置を構成することも同様に可能
である。上記の理由により、本発明に係るＭＳ／ＭＳ四
重極質量分析装置は、このように四重極の数が増えるほ
ど、従来の装置に比べて感度や取り扱いの点で有利にな
る。 【００２２】また、第１及び第２段目の四重極Ｑ1、Ｑ2
の前又は後ろの部分の薄膜電極１２ａ〜１２ｄを周方向
の線で分離することにより、それらの四重極に付設され
るプリ又はポストロッドと同等の機能をも実現すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施例であるＭＳ／ＭＳ四重極質
量分析装置で用いられる基体の斜視図。 【図２】 実施例のＭＳ／ＭＳ四重極質量分析装置の側
面図（ａ）及びそのｂ−ｂ線断面図（ｂ）。 【図３】 ＭＳ／ＭＳ四重極質量分析装置の作動原理を
示すための説明図。 【図４】 従来のＭＳ／ＭＳ四重極質量分析装置におい
て、３組の四重極の配置を揃えるための方法を示す説明
図。 【符号の説明】 １１…基体 １２ａ〜１２ｄ…薄膜電極 １３ａ〜１３ｄ…溝 １４ａ、１４ｂ…スリット １５ａ、１５ｂ…隔壁 １７…ガス導入口 ２１…イオン源 ２２…イオンレンズ ２３ａ、２３ｂ…ホルダ ２４…デフレクタ ２５…イオン検出器
量分析装置で用いられる基体の斜視図。 【図２】 実施例のＭＳ／ＭＳ四重極質量分析装置の側
面図（ａ）及びそのｂ−ｂ線断面図（ｂ）。 【図３】 ＭＳ／ＭＳ四重極質量分析装置の作動原理を
示すための説明図。 【図４】 従来のＭＳ／ＭＳ四重極質量分析装置におい
て、３組の四重極の配置を揃えるための方法を示す説明
図。 【符号の説明】 １１…基体 １２ａ〜１２ｄ…薄膜電極 １３ａ〜１３ｄ…溝 １４ａ、１４ｂ…スリット １５ａ、１５ｂ…隔壁 １７…ガス導入口 ２１…イオン源 ２２…イオンレンズ ２３ａ、２３ｂ…ホルダ ２４…デフレクタ ２５…イオン検出器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−152846（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−220344（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−205695（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−260135（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 49/42
G01N 27/62
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 a)絶縁体から成る筒状の部材であって、
その中心軸に垂直な面で切断した場合の内面の切断線
に、該中心軸に関して軸対称である４本の、中心軸側に
向かって凸な曲線が含まれる、基体と、 b)基体の内面の、少なくとも、上記曲線の最も中心軸に
近い点の集合である稜線の近傍に形成され、稜線以外の
部分で互いに分離している４面の薄膜電極と、 c)基体の中間部の少なくとも２箇所において上記中心軸
に垂直に、基体の内面を切断するように挿入され、中心
にイオン通過孔が設けられた隔壁と、 を備えることを特徴とするＭＳ／ＭＳ型四重極質量分析
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15691195A JP3395458B2 (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | Ｍｓ／ｍｓ型四重極質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15691195A JP3395458B2 (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | Ｍｓ／ｍｓ型四重極質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08329884A JPH08329884A (ja) | 1996-12-13 |
| JP3395458B2 true JP3395458B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=15638084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15691195A Expired - Fee Related JP3395458B2 (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | Ｍｓ／ｍｓ型四重極質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3395458B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1995
- 1995-05-30 JP JP15691195A patent/JP3395458B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08329884A (ja) | 1996-12-13 |
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