JP3457103B2 - 四重極型質量分析計 - Google Patents
四重極型質量分析計Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は四重極型質量分析計に関
するものであり、更に詳しくはイオンを質量分析する場
合に使用される四重極電極型の質量分析計に関するもの
である。
するものであり、更に詳しくはイオンを質量分析する場
合に使用される四重極電極型の質量分析計に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】真空中に発生、導入、ま
たは残留する気体を高い精度で分析する場合に四重極型
質量分析計が使用される。図７は四重極型質量分析計の
概略図であり、イオン源部１と、四重極電極部２と、検
出部６とからなっている。
たは残留する気体を高い精度で分析する場合に四重極型
質量分析計が使用される。図７は四重極型質量分析計の
概略図であり、イオン源部１と、四重極電極部２と、検
出部６とからなっている。
【０００３】分析されるべき気体Ｇがイオン源部１にお
いてイオン化され、加速電極によって加速され、引出し
電極によって四重極電極部２の方へ引き出される。四重
極電極部２は互いに平行に配置された４本の円柱状電極
（以降、電極柱と略）３が絶縁性の一対の電極ホールダ
４に固定されており、対向する電極柱３を結線して一方
には＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）、他方には−（Ｕ＋Ｖｃｏ
ｓωｔ）で示される直流電圧Ｕと高周波電圧Ｖｃｏｓω
ｔとを重畳させたものが印加される。この電圧印加によ
り四重極電極部２の内部空間に電場が形成されるが、イ
オン源部１で生成したイオンは、このイオン源部１が内
蔵する引出し電極の電圧で四重極電極部２の中心軸（ｚ
軸とする）に沿って入射されｚ軸方向へ進む間に、四重
極電極部２内の電場によってｘ軸方向およびｙ軸方向へ
の力を受ける。
いてイオン化され、加速電極によって加速され、引出し
電極によって四重極電極部２の方へ引き出される。四重
極電極部２は互いに平行に配置された４本の円柱状電極
（以降、電極柱と略）３が絶縁性の一対の電極ホールダ
４に固定されており、対向する電極柱３を結線して一方
には＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）、他方には−（Ｕ＋Ｖｃｏ
ｓωｔ）で示される直流電圧Ｕと高周波電圧Ｖｃｏｓω
ｔとを重畳させたものが印加される。この電圧印加によ
り四重極電極部２の内部空間に電場が形成されるが、イ
オン源部１で生成したイオンは、このイオン源部１が内
蔵する引出し電極の電圧で四重極電極部２の中心軸（ｚ
軸とする）に沿って入射されｚ軸方向へ進む間に、四重
極電極部２内の電場によってｘ軸方向およびｙ軸方向へ
の力を受ける。
【０００４】直流電圧Ｕ、高周波電圧Ｖｃｏｓωｔ、四
重電極間距離２ｒ0 （ｒ0 は四重極電極部２の中心軸か
ら電極柱３までの距離）の条件のもとで、ある特定のｍ
／ｅ（質量電荷比）を有するイオンのみがｘ軸方向、ｙ
軸方向ともに限定された振幅の軌道５を辿って四重極電
極部２を通過できる。それ以外のｍ／ｅを有するイオン
は振幅が増大して電極柱３に捕らえられるか、電極柱３
の間を通り抜けて脱出するかの何れかとなり、検出部６
には到達できない。四重極電極部２を通過したイオンは
検出部６における二次電子増倍管などで検出され、その
イオン電流に比例した信号に変換されてオシロスコー
プ、ペン記録計などで記録されて質量スペクトルが得ら
れる。
重電極間距離２ｒ0 （ｒ0 は四重極電極部２の中心軸か
ら電極柱３までの距離）の条件のもとで、ある特定のｍ
／ｅ（質量電荷比）を有するイオンのみがｘ軸方向、ｙ
軸方向ともに限定された振幅の軌道５を辿って四重極電
極部２を通過できる。それ以外のｍ／ｅを有するイオン
は振幅が増大して電極柱３に捕らえられるか、電極柱３
の間を通り抜けて脱出するかの何れかとなり、検出部６
には到達できない。四重極電極部２を通過したイオンは
検出部６における二次電子増倍管などで検出され、その
イオン電流に比例した信号に変換されてオシロスコー
プ、ペン記録計などで記録されて質量スペクトルが得ら
れる。
【０００５】そして、この四重極型質量分析計の分析性
能は四重極電極部２における電極柱３の加工精度、組立
精度によって大きく影響されるのである。すなわち、加
工精度は２〜３ミクロン、組立精度は数ミクロンである
ことが要求され、組立精度が１０ミクロンを超えると、
その四重極型質量分析計は分析性能が著しく低下して使
用に堪えないものとなる。従って組み立てに際し次の事
項が必須となる。 ４本の電極柱３は両端部において電極ホールダ４に固
定されるが、２個の電極ホールダ４を含む両電極ホール
ダ間の軸（以降、電極ホールダ軸と略）と電極柱３の中
心との間の距離が精度よく組み立てられていること。 四重極電極部２の断面で見て、各電極柱３が、電極ホ
ールダ軸を中心点とし、それぞれ正確に角度間隔９０度
で配置して組み立てられていること。 ４本の電極柱３は電極ホールダ軸の回りに捩じれて固
定されていないこと。
能は四重極電極部２における電極柱３の加工精度、組立
精度によって大きく影響されるのである。すなわち、加
工精度は２〜３ミクロン、組立精度は数ミクロンである
ことが要求され、組立精度が１０ミクロンを超えると、
その四重極型質量分析計は分析性能が著しく低下して使
用に堪えないものとなる。従って組み立てに際し次の事
項が必須となる。 ４本の電極柱３は両端部において電極ホールダ４に固
定されるが、２個の電極ホールダ４を含む両電極ホール
ダ間の軸（以降、電極ホールダ軸と略）と電極柱３の中
心との間の距離が精度よく組み立てられていること。 四重極電極部２の断面で見て、各電極柱３が、電極ホ
ールダ軸を中心点とし、それぞれ正確に角度間隔９０度
で配置して組み立てられていること。 ４本の電極柱３は電極ホールダ軸の回りに捩じれて固
定されていないこと。
【０００６】このような必要事項を満たすものとして以
下に示すような従来例がある。
下に示すような従来例がある。
【０００７】（第１従来例）図８は第１従来例の四重極
電極部５２の側面図であり、図９は図８における［９］
−［９］線方向の部分破断正面図である。金属製の電極
柱５３は直径および長さ方向には高い精度で加工されて
おり、絶縁性の電極ホールダ５４が４本の電極柱５３を
その両端部で固定している。電極ホールダ５４は円環状
とされ、その内円周面には底面形状を電極柱５３の半径
と等しいか、それより極く僅かに大きい半径の円弧とし
た溝５５が電極ホールダ軸Ｏに平行に形成され、この溝
５５内に電極柱５３の一部が嵌め込まれている。そし
て、各電極柱５３は電極ホールダ５４を貫通する挿通孔
５６を経由して電極柱５３のねじ孔５７に螺合するねじ
５８によって電極ホールダ５４に固定されている。
電極部５２の側面図であり、図９は図８における［９］
−［９］線方向の部分破断正面図である。金属製の電極
柱５３は直径および長さ方向には高い精度で加工されて
おり、絶縁性の電極ホールダ５４が４本の電極柱５３を
その両端部で固定している。電極ホールダ５４は円環状
とされ、その内円周面には底面形状を電極柱５３の半径
と等しいか、それより極く僅かに大きい半径の円弧とし
た溝５５が電極ホールダ軸Ｏに平行に形成され、この溝
５５内に電極柱５３の一部が嵌め込まれている。そし
て、各電極柱５３は電極ホールダ５４を貫通する挿通孔
５６を経由して電極柱５３のねじ孔５７に螺合するねじ
５８によって電極ホールダ５４に固定されている。
【０００８】第１従来例においては、電極柱５３を嵌め
込む関係上、溝５５の底面の半径は電極柱５３の半径よ
り僅かでも大にせざるを得ないが、そのために電極柱５
３と溝５５との間に隙間を生じ、隣り合う電極柱５３を
電極ホールダ軸Ｏの回りに角度間隔９０度に精度高く組
み立てることが困難となり、また、４本の電極柱５３が
電極ホールダ軸Ｏの回りに捩じれて固定され易い。更に
は、電極ホールダ軸Ｏと各電極柱５３との間の距離を正
確に出すには溝５５の深さを高精度に一定化する高度な
加工技術が必要であり、製造コストを高くする。
込む関係上、溝５５の底面の半径は電極柱５３の半径よ
り僅かでも大にせざるを得ないが、そのために電極柱５
３と溝５５との間に隙間を生じ、隣り合う電極柱５３を
電極ホールダ軸Ｏの回りに角度間隔９０度に精度高く組
み立てることが困難となり、また、４本の電極柱５３が
電極ホールダ軸Ｏの回りに捩じれて固定され易い。更に
は、電極ホールダ軸Ｏと各電極柱５３との間の距離を正
確に出すには溝５５の深さを高精度に一定化する高度な
加工技術が必要であり、製造コストを高くする。
【０００９】（第２従来例）特開昭６０−２５７０５５
号公報に係る「質量分析計」においては、図９に対応す
る部分破断正面図である図１０に示すような組み立てが
開示されている。電極ホールダ６４には中央部に正方形
状の切り抜きが形成され、４本の電極柱６３は直角とな
っている正方形状の四隅に位置決めして固定されてい
る。各電極柱６３は電極ホールダ６４を貫通する挿通孔
６６を経由して電極柱６３のねじ孔６７に螺合するねじ
６８によって電極ホールダ６４に固定されている。
号公報に係る「質量分析計」においては、図９に対応す
る部分破断正面図である図１０に示すような組み立てが
開示されている。電極ホールダ６４には中央部に正方形
状の切り抜きが形成され、４本の電極柱６３は直角とな
っている正方形状の四隅に位置決めして固定されてい
る。各電極柱６３は電極ホールダ６４を貫通する挿通孔
６６を経由して電極柱６３のねじ孔６７に螺合するねじ
６８によって電極ホールダ６４に固定されている。
【００１０】第２従来例においては、４本の電極柱６３
は直角である四隅で固定されるので、電極ホールダ軸Ｏ
の回りの捩じれは起こりにくい。しかし、電極ホールダ
軸Ｏと各電極柱６３の中心軸との間の距離、および各電
極柱６３の電極ホールダ軸Ｏを中心点としての角度間隔
９０度での配置を高い精度で組み立てるためには、上述
の切り抜きが正確な正方形に形成されていなければなら
ず、そのためには高度な加工技術を必要とする。
は直角である四隅で固定されるので、電極ホールダ軸Ｏ
の回りの捩じれは起こりにくい。しかし、電極ホールダ
軸Ｏと各電極柱６３の中心軸との間の距離、および各電
極柱６３の電極ホールダ軸Ｏを中心点としての角度間隔
９０度での配置を高い精度で組み立てるためには、上述
の切り抜きが正確な正方形に形成されていなければなら
ず、そのためには高度な加工技術を必要とする。
【００１１】（第３従来例）図１１は図９に対応する第
３従来例の部分破断正面図であり、４本の電極柱７３は
円環状の電極ホールダ７４の内円周面に接し、それぞれ
の間に絶縁性のスペーサ７９を介在させて配置されてい
る。そして各電極柱７３は電極ホールダ７４を貫通する
挿通孔７６を経由して電極柱７３のねじ孔７７に螺合す
るねじ７８によって電極ホールダ７４に固定されてい
る。
３従来例の部分破断正面図であり、４本の電極柱７３は
円環状の電極ホールダ７４の内円周面に接し、それぞれ
の間に絶縁性のスペーサ７９を介在させて配置されてい
る。そして各電極柱７３は電極ホールダ７４を貫通する
挿通孔７６を経由して電極柱７３のねじ孔７７に螺合す
るねじ７８によって電極ホールダ７４に固定されてい
る。
【００１２】第３従来例において、電極ホールダ７４の
内周径を正確に出すことは加工上さほど困難ではないの
で、電極ホールダ軸Ｏと各電極柱７３との間の距離は精
度高く組み立て得る。しかし、スペーサ７９の半径が高
い精度で加工されていないと電極柱７３との間に隙間を
生じて、各電極柱７３は正確な角度間隔９０度での配置
が困難となり、かつ電極ホールダ軸Ｏの回りに捩じれて
固定され易い。すなわち、高精度に加工された４本のス
ペーサ７９を必要とするのでコスト的に不利であり、ま
た、スペーサ７９が外れないようにする工夫も必要であ
る。
内周径を正確に出すことは加工上さほど困難ではないの
で、電極ホールダ軸Ｏと各電極柱７３との間の距離は精
度高く組み立て得る。しかし、スペーサ７９の半径が高
い精度で加工されていないと電極柱７３との間に隙間を
生じて、各電極柱７３は正確な角度間隔９０度での配置
が困難となり、かつ電極ホールダ軸Ｏの回りに捩じれて
固定され易い。すなわち、高精度に加工された４本のス
ペーサ７９を必要とするのでコスト的に不利であり、ま
た、スペーサ７９が外れないようにする工夫も必要であ
る。
【００１３】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、高度な加工技術を必要とせずに電極柱
が高い組立精度で組み立てられ、高い分析性能を示す四
重極型質量分析計を提供することを目的とする。
に鑑みてなされ、高度な加工技術を必要とせずに電極柱
が高い組立精度で組み立てられ、高い分析性能を示す四
重極型質量分析計を提供することを目的とする。
【００１４】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、絶縁性
で環状の電極ホールダの環内を挿通する４本の電極柱が
前記電極ホールダの内円周面に固定して組み立てられる
四重極質量分析計において、前記内円周面に前記電極柱
の直径より狭い幅の４本の溝が角度９０度間隔で、かつ
前記電極ホールダの軸心に平行に設けられており、前記
電極柱が前記電極ホールダの軸心に平行な向きで前記溝
に載置され、該溝の両側のエッジで位置決めされ固定さ
れていることを特徴とする四重極型質量分析計、によっ
て達成される。
で環状の電極ホールダの環内を挿通する４本の電極柱が
前記電極ホールダの内円周面に固定して組み立てられる
四重極質量分析計において、前記内円周面に前記電極柱
の直径より狭い幅の４本の溝が角度９０度間隔で、かつ
前記電極ホールダの軸心に平行に設けられており、前記
電極柱が前記電極ホールダの軸心に平行な向きで前記溝
に載置され、該溝の両側のエッジで位置決めされ固定さ
れていることを特徴とする四重極型質量分析計、によっ
て達成される。
【００１５】
【作用】本発明の四重極型質量分析計は環状の電極ホー
ルダの内円周面に形成させた電極柱の直径より狭い幅の
溝に電極柱を載置し、溝の両側のエッジで電極柱を位置
決めし固定させているので、電極柱の組立精度が高く、
質量分析計として高い分析性能を示す。このような溝の
加工は簡単である。
ルダの内円周面に形成させた電極柱の直径より狭い幅の
溝に電極柱を載置し、溝の両側のエッジで電極柱を位置
決めし固定させているので、電極柱の組立精度が高く、
質量分析計として高い分析性能を示す。このような溝の
加工は簡単である。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例による四重極型質量分
析計について、図面を参照して説明する。
析計について、図面を参照して説明する。
【００１７】（第１実施例）図１は四重極型質量分析計
の第１実施例による四重極電極部１２の側面図であり、
図２は図１における［２］−［２］線方向の部分破断正
面図である。４本の電極柱１３が両端部において絶縁性
で円環状の電極ホールダ１４の内円周面に固定されてい
る。すなわち、電極ホールダ１４の内円周面に電極ホー
ルダ軸Ｏを中心点として角度間隔９０度に配置して断面
が半円形状の溝１５が電極ホールダ軸Ｏに平行に設けら
れている。そして、この溝１５の幅は電極柱１３の直径
の１／３とされている。
の第１実施例による四重極電極部１２の側面図であり、
図２は図１における［２］−［２］線方向の部分破断正
面図である。４本の電極柱１３が両端部において絶縁性
で円環状の電極ホールダ１４の内円周面に固定されてい
る。すなわち、電極ホールダ１４の内円周面に電極ホー
ルダ軸Ｏを中心点として角度間隔９０度に配置して断面
が半円形状の溝１５が電極ホールダ軸Ｏに平行に設けら
れている。そして、この溝１５の幅は電極柱１３の直径
の１／３とされている。
【００１８】各電極柱１３はそれぞれの溝１５に平行に
載置され、溝１５の両側のエッジで位置決めされて、ね
じ１８で電極ホールダ１４に固定されている。すなわ
ち、電極ホールダ１４を貫通する挿通孔１６を経由し電
極柱１３のねじ孔１７に螺合するねじ１８で緊締されて
いる。
載置され、溝１５の両側のエッジで位置決めされて、ね
じ１８で電極ホールダ１４に固定されている。すなわ
ち、電極ホールダ１４を貫通する挿通孔１６を経由し電
極柱１３のねじ孔１７に螺合するねじ１８で緊締されて
いる。
【００１９】上述の構成において、高い組立精度を得る
には、 ａ．電極ホールダ１４の内円周径は高い加工精度で形成
されていなければならないが、円形の加工であるため、
このことは高度の加工技術を要することなく可能であ
る。 ｂ．断面が半円形状の溝１５は電極ホールダ１４の内円
周面に角度間隔９０度で正確に配置して加工されていな
ければならないが、このことも高度な加工技術を要する
ことなく可能である。
には、 ａ．電極ホールダ１４の内円周径は高い加工精度で形成
されていなければならないが、円形の加工であるため、
このことは高度の加工技術を要することなく可能であ
る。 ｂ．断面が半円形状の溝１５は電極ホールダ１４の内円
周面に角度間隔９０度で正確に配置して加工されていな
ければならないが、このことも高度な加工技術を要する
ことなく可能である。
【００２０】なお、溝１５の幅は電極柱１３の直径より
小であることを必要とするが、その条件下においても溝
１５の幅が大であると（例えば電極柱１３の直径の１／
２より大）、電極柱１３は溝１５の両側のエッジによっ
て安定に位置決めされるものの、溝１５の加工精度にバ
ラツキがあって、幅が広くなるバラツキの場合に電極柱
１３の溝１５への落ち込みが大となり、電極ホールダ軸
Ｏと電極柱１３との間の距離が大となるので、高い組立
精度を維持し難くなる。また、溝１５の幅を小とすると
（例えば電極柱１３の直径の１／１０より小）、幅が広
くなる加工精度のバラツキの場合において、電極柱１３
の溝１５への落ち込みは小さく組立精度は低下しにくい
が、溝１５の両側のエッジによる位置決めが甘くなり易
い。従って、溝１５の好ましい幅は電極柱１３の直径の
１／２ないし１／１０の範囲にある。溝１５の幅を第１
実施例における電極柱の直径の１／３、またはその近辺
の値とした場合は、溝１５の加工精度に多少のバラツキ
があっても、電極ホールダ軸Ｏと電極柱１３との間の距
離に表われる組立精度にさほどの悪影響を及ぼさない。
小であることを必要とするが、その条件下においても溝
１５の幅が大であると（例えば電極柱１３の直径の１／
２より大）、電極柱１３は溝１５の両側のエッジによっ
て安定に位置決めされるものの、溝１５の加工精度にバ
ラツキがあって、幅が広くなるバラツキの場合に電極柱
１３の溝１５への落ち込みが大となり、電極ホールダ軸
Ｏと電極柱１３との間の距離が大となるので、高い組立
精度を維持し難くなる。また、溝１５の幅を小とすると
（例えば電極柱１３の直径の１／１０より小）、幅が広
くなる加工精度のバラツキの場合において、電極柱１３
の溝１５への落ち込みは小さく組立精度は低下しにくい
が、溝１５の両側のエッジによる位置決めが甘くなり易
い。従って、溝１５の好ましい幅は電極柱１３の直径の
１／２ないし１／１０の範囲にある。溝１５の幅を第１
実施例における電極柱の直径の１／３、またはその近辺
の値とした場合は、溝１５の加工精度に多少のバラツキ
があっても、電極ホールダ軸Ｏと電極柱１３との間の距
離に表われる組立精度にさほどの悪影響を及ぼさない。
【００２１】すなわち、第１実施例の四重極電極部１２
は、高度な加工技術を必要とせずに、電極柱１３が高い
組立精度で組み立てられ、これを組み込んだ四重極型質
量分析計は高い分析性能を示す。
は、高度な加工技術を必要とせずに、電極柱１３が高い
組立精度で組み立てられ、これを組み込んだ四重極型質
量分析計は高い分析性能を示す。
【００２２】第１実施例においては断面が半円形状の溝
１５の両側のエッジで電極柱１３を位置決めしたが、位
置決めのためには断面を半円形以外の形状としてもよ
い。また、そのような位置決めによって第１実施例の場
合と同様に、組立精度の高い四重極電極部となり、高い
分析性能の四重極型質量分析計が得られる。
１５の両側のエッジで電極柱１３を位置決めしたが、位
置決めのためには断面を半円形以外の形状としてもよ
い。また、そのような位置決めによって第１実施例の場
合と同様に、組立精度の高い四重極電極部となり、高い
分析性能の四重極型質量分析計が得られる。
【００２３】（第２実施例）図３は図２に対応する第２
実施例の場合の部分破断正面図であり、円環状の電極ホ
ールダ２４の内円周面に４本の電極柱２３が固定されて
いる。そして、電極柱２３は断面が方形状の溝２５に載
置され、溝２５の両側のエッジによって位置決めされて
いる。方形状の溝２５の幅は、第１実施例の場合と同
様、電極柱２３の直径より小であることを必要とする
が、好ましい幅は電極柱２３の直径の１／２ないし１／
１０の範囲にある。溝２５の深さは電極柱２３の組立精
度に関係しないので、溝２５の底面に電極柱２３が接触
しない限りにおいて任意の深さとし得る。各電極柱２３
が電極ホールダ２４を貫通する挿通孔２６を経由し電極
柱２３のねじ孔２７に螺合するねじ２８によって固定さ
れることは第１実施例の場合と同様である。
実施例の場合の部分破断正面図であり、円環状の電極ホ
ールダ２４の内円周面に４本の電極柱２３が固定されて
いる。そして、電極柱２３は断面が方形状の溝２５に載
置され、溝２５の両側のエッジによって位置決めされて
いる。方形状の溝２５の幅は、第１実施例の場合と同
様、電極柱２３の直径より小であることを必要とする
が、好ましい幅は電極柱２３の直径の１／２ないし１／
１０の範囲にある。溝２５の深さは電極柱２３の組立精
度に関係しないので、溝２５の底面に電極柱２３が接触
しない限りにおいて任意の深さとし得る。各電極柱２３
が電極ホールダ２４を貫通する挿通孔２６を経由し電極
柱２３のねじ孔２７に螺合するねじ２８によって固定さ
れることは第１実施例の場合と同様である。
【００２４】（第３実施例）図４は図２に対応する第３
実施例の場合の部分破断正面図であり、電極柱３３は断
面がＵ字形状の溝３５に載置され、溝３５の両側のエッ
ジによって位置決めされて、第１実施例のねじ１８と同
様なねじ３８で電極ホールダ３４に固定されている。
実施例の場合の部分破断正面図であり、電極柱３３は断
面がＵ字形状の溝３５に載置され、溝３５の両側のエッ
ジによって位置決めされて、第１実施例のねじ１８と同
様なねじ３８で電極ホールダ３４に固定されている。
【００２５】（第４実施例）図５は図２に対応する第４
実施例の場合の部分破断正面図であり、電極柱４３は断
面がＶ字形状の溝４５に載置され、溝４５の両側のエッ
ジによって位置決めされて、第１実施例のねじ１８と同
様なねじ４８で電極ホールダ４４に固定されている。
実施例の場合の部分破断正面図であり、電極柱４３は断
面がＶ字形状の溝４５に載置され、溝４５の両側のエッ
ジによって位置決めされて、第１実施例のねじ１８と同
様なねじ４８で電極ホールダ４４に固定されている。
【００２６】第３実施例においても、溝３５の幅は電極
柱３３の直径より小であることを必要とし、好ましい幅
は電極柱３３の直径の１／２ないし１／１０の範囲にあ
る。また、溝３５の深さは電極柱３３が溝３５の底面に
接触しない限りにおいて任意の深さとし得る。そして、
これらのことは第４実施例においても同様である。
柱３３の直径より小であることを必要とし、好ましい幅
は電極柱３３の直径の１／２ないし１／１０の範囲にあ
る。また、溝３５の深さは電極柱３３が溝３５の底面に
接触しない限りにおいて任意の深さとし得る。そして、
これらのことは第４実施例においても同様である。
【００２７】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれらに限られることなく、本発明
の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
が、勿論、本発明はこれらに限られることなく、本発明
の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００２８】例えば、各実施例、例えば第１実施例にお
いては、電極ホールダ１４によって電極柱１３を固定す
る場合を説明したが、図６に示すように、電極ホールダ
１４に固定された電極柱１３と、電極ホールダ１４’に
固定された電極柱１３’とを直列に接合する場合、接合
側の電極ホールダ１４と接合側の電極ホールダ１４’と
がボルト１９によって連結されるが、この様な電極柱を
接合する場合における電極ホールダへの電極柱の位置決
め固定においても本発明は適用される。
いては、電極ホールダ１４によって電極柱１３を固定す
る場合を説明したが、図６に示すように、電極ホールダ
１４に固定された電極柱１３と、電極ホールダ１４’に
固定された電極柱１３’とを直列に接合する場合、接合
側の電極ホールダ１４と接合側の電極ホールダ１４’と
がボルト１９によって連結されるが、この様な電極柱を
接合する場合における電極ホールダへの電極柱の位置決
め固定においても本発明は適用される。
【００２９】また、各実施例、例えば第１実施例におい
て電極ホールダ１４は円環状としたが、内周円は必要と
するものの、外周は必ずしも円形であることを必要とせ
ず、正六角形、正八角形とすることも可能である。
て電極ホールダ１４は円環状としたが、内周円は必要と
するものの、外周は必ずしも円形であることを必要とせ
ず、正六角形、正八角形とすることも可能である。
【００３０】また、各実施例、例えば第１実施例におい
て、電極柱１３を両端部において電極ホールダ１４に固
定したが、電極柱１３の中央部に電極ホールダ１４を追
加し、電極柱１３を３箇所において固定するようにして
もよい。
て、電極柱１３を両端部において電極ホールダ１４に固
定したが、電極柱１３の中央部に電極ホールダ１４を追
加し、電極柱１３を３箇所において固定するようにして
もよい。
【００３１】また、各実施例、例えば第１実施例におい
て、電極柱１３は金属製としたが、表面に金属層を形成
させたセラミック柱としてもよい。
て、電極柱１３は金属製としたが、表面に金属層を形成
させたセラミック柱としてもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上述べたように本発明の四重極型質量
分析計によれば、高度な加工技術を要することなく、電
極柱が電極ホールダの内円周面に設けた溝の両側のエッ
ジに位置決めされ、高い組立て精度で電極ホールダに固
定されているので、精度の高い分析結果が得られる。
分析計によれば、高度な加工技術を要することなく、電
極柱が電極ホールダの内円周面に設けた溝の両側のエッ
ジに位置決めされ、高い組立て精度で電極ホールダに固
定されているので、精度の高い分析結果が得られる。
【図１】四重極型質量分析計の第１実施例による四重極
電極部の側面図である。
電極部の側面図である。
【図２】図１における［２］−［２］線方向の部分破断
正面図である。
正面図である。
【図３】図２に対応する第２実施例の部分破断正面図で
ある。
ある。
【図４】図２に対応する第３実施例の部分破断正面図で
ある。
ある。
【図５】図２に対応する第４実施例の部分破断正面図で
ある。
ある。
【図６】変形例の四重極電極部の側面図である。
【図７】四重極型質量分析計の概略図である。
【図８】第１従来例の四重極電極部の側面図である。
【図９】図８における［９］−［９］線方向の部分破断
正面図である。
正面図である。
【図１０】図９に対応する第２従来例の部分破断正面図
である。
である。
【図１１】図９に対応する第３従来例の部分破断正面図
である。
である。
１ イオン源部
２ 四重極電極部
３ 電極柱
４ 電極ホールダ
５ 軌道
６ 検出部
１２ 四重極電極部
１３ 電極柱
１４ 電極ホールダ
１５ 溝
１６ 挿通孔
１７ ねじ孔
１８ ねじ
Ｏ 電極ホールダ軸
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平３−285246（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−334979（ＪＰ，Ａ)
実開 昭58−52758（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭55−61966（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 49/00 - 49/42
G01N 27/62
Claims (3)
- 【請求項１】 絶縁性で環状の電極ホールダの環内を挿
通する４本の電極柱が前記電極ホールダの内円周面に固
定して組み立てられる四重極質量分析計において、前記
内円周面に前記電極柱の直径より狭い幅の４本の溝が角
度９０度間隔で、かつ前記電極ホールダの軸心に平行に
設けられており、前記電極柱が前記電極ホールダの軸心
に平行な向きで前記溝に載置され、該溝の両側のエッジ
で位置決めされ固定されていることを特徴とする四重極
型質量分析計。 - 【請求項２】 前記溝の断面形状が半円形状、方形状、
Ｕ字形状、またはＶ字形状の何れかである請求項１に記
載の四重極型質量分析計。 - 【請求項３】 前記溝の幅が前記電極柱の直径の１／２
から１／１０までの範囲にある請求項１または請求項２
に記載の四重極型質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20167395A JP3457103B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | 四重極型質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20167395A JP3457103B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | 四重極型質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0935682A JPH0935682A (ja) | 1997-02-07 |
| JP3457103B2 true JP3457103B2 (ja) | 2003-10-14 |
Family
ID=16445008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20167395A Expired - Fee Related JP3457103B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | 四重極型質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3457103B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4614760B2 (ja) * | 2004-12-24 | 2011-01-19 | 京セラ株式会社 | 静電偏向器及びそれを用いた電子線装置 |
| GB0816258D0 (en) * | 2008-09-05 | 2008-10-15 | Ulive Entpr Ltd | Process |
| JP5040893B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2012-10-03 | 株式会社島津製作所 | イオンガイドユニット及びそれを備えた質量分析装置 |
| JP5315149B2 (ja) * | 2009-07-07 | 2013-10-16 | 株式会社アルバック | 四重極型質量分析計 |
| JP6061283B2 (ja) * | 2012-01-23 | 2017-01-18 | 株式会社リフトフォース | 多重電極の製造方法 |
| CN112687518A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-20 | 天津国科医工科技发展有限公司 | 一种便于修研装配的四极杆结构 |
| CN115799040B (zh) * | 2023-02-10 | 2023-04-18 | 四川玛科思生物科技有限公司 | 一种四极杆组件、质谱仪及四极杆组件组装装置 |
-
1995
- 1995-07-14 JP JP20167395A patent/JP3457103B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0935682A (ja) | 1997-02-07 |
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