JP7238249B2 - 電子源 - Google Patents
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Description
[01]本発明は、質量分析計、例えば、ガス源質量分析計などにおいて、電子を提供するための電子源に関する。
[02]多くの科学機器が、後の操作に分子を用意するためにガス分子のイオン化に依存する。電子ビーム衝撃が、このプロセスに一般に使用される。電子は、陰極からの熱電子放出によって発生され、これらの電子は、ガス分子を含有する量を通じて加速され、電子とガス分子との衝突が、ある割合の分子をイオン化する。
[04]加熱フィラメントは、自立しており、形状の変化を起こしやすい。これにより、発生源の挙動に顕著な変動が生じ、それによって、データが危険にさらされ、補修作業のために発生源を開く必要がある可能性がある。
[05]熱電子的に発生された電子のエネルギーを狭いエネルギー帯に抑制するために陰極が均一で安定した電圧で動作することが重要である。加熱線陰極が、加熱電流により、その長さに沿って固有の電圧勾配を有する。したがって、印加電圧は、必要な強度で放射を維持するように調整しなければならないので、一定ではない。
[06]これらの加熱フィラメントの高い仕事関数は、調査対象のガス種(すなわち、電子を使用するイオン化によって用意される)を妨害する炭化水素揮発性物質の形成を促進する高い動作温度を求める。
[07]この技術を使用して達成可能な相対的に低い放出電流は、イオン化率を制限し、それによって、次いで、それを使用する計器の感度が制限される。これにより、ユーザは感度、動作温度及び計器を補修する間の時間を絶えず得失評価することが必要となる。
[08]ほとんどの真空計器におけるそのような電子源の許容可能な動作を確立するために顕著な努力が必要とされる。電子源の加熱フィラメント/陰極をより高い温度で動作させることは、フィラメントの寿命を短縮し、結果としてフィラメントのサービス/交換の過度の休止時間となる。
[10]本発明案は、電子放出陰極が陰極から電気的に絶縁されたフィラメントによって加熱される代替陰極構成である。陰極は、ガス源型質量分析計、又は分析のためにイオン化ガスを発生させるための他のガス源型計器に配置されるのが最も好ましい。一例としては、いわゆるニーア(Nier)発生源質量分析計がある。
[48]図1Aは、ガス源質量分析計用の、先行技術による電子源を概略的に示す。電子源は、第1の電位を有する電流入力端子4に電気的に接続された、対向するそれぞれの線端を有するタングステンワイヤフィラメントコイル1と、第1の電位と異なる第2の電位を有する電流出力端子5とを備え、以てフィラメントコイル1を通じて電流を流れさせる。タングステンフィラメントコイルを、フィラメントコイルの表面をその表面から電子を熱電子的に放出させるのに十分な温度まで加熱させる(例えば、発光して)のに十分な電流が流れる。すなわち、フィラメントコイル中を通過する電流の電熱効果によって獲得された熱エネルギーは、電子をフィラメントコイル中に注ぎ込んで、フィラメントコイルの表面仕事関数を超えるエネルギーを獲得するのに十分である。
Claims (16)
- ガス源質量分析計における電子源であって、
前記ガス源質量分析計のガス源室と連通してそれに対して電子を提供するために熱電子放出面を提示する電子放出陰極と、
前記電子放出陰極から電気的に絶縁されており、中の電流によって加熱されるように、及び前記電子放出面から熱電子的に電子を解放するのに十分な熱を前記電子放出陰極に放射するように配置された加熱要素とを備え、それを用いて、前記ガス源室内のガスをイオン化する際に使用するための電子の発生源を提供する、電子源。 - 前記ガス源質量分析計が、前記電子放出陰極が2000℃以下の温度に前記加熱要素によって加熱されることに応答して、少なくとも0.5mAの電流として前記ガス源室を横断した、電子を前記電子放出陰極から受け取るように動作可能な電子トラップを備える、請求項1に記載の電子源。
- 前記ガス源室が、コリメータ磁石を使用せずに前記電子トラップの方に向けられている、前記ガス源室内の電子ビームを形成するように成形された電子入力開口において前記電子放出陰極から電子を受け取るように配置されている、請求項2に記載の電子源。
- 前記電子放出陰極は、前記加熱要素への電力入力が5Wを超えないとき、前記加熱要素によって2000℃以下の温度に加熱されるように動作可能である、請求項2又は3に記載の電子源。
- 前記電子放出陰極が、酸化物陰極、I陰極又はBa含浸陰極から選択される、請求項1~4のいずれか一項に記載の電子源。
- 前記電子放出陰極が、前記電子放出面を提示する熱電子放出材料のコーティングを担持する基部を備える、請求項1~5のいずれか一項に記載の電子源。
- 前記コーティングが、アルカリ性土壌酸化物、オスミウム(Os)、ルテニウム(Ru)から選択された材料を備える請求項6に記載の電子源。
- 前記基部が、タングステン又はニッケルを備える、請求項6に記載の電子源。
- 前記基部が、酸化バリウム(BaO)を備えた化合物で含浸されたタングステンを備える、請求項8に記載の電子源。
- 前記基部が、前記コーティングを前記加熱要素から分離する金属材料である、請求項6~9のいずれか一項に記載の電子源。
- 前記加熱要素を囲むスリーブを備え、前記電子放出面が前記スリーブの端部に存在する、請求項1~10のいずれか一項に記載の電子源。
- 前記加熱要素が、金属酸化物材料を備えたコーティングでコートされた金属フィラメントを備える、請求項1~11のいずれか一項に記載の電子源。
- 請求項1~12のいずれか一項に記載の電子源を備える質量分析計用のガスイオン源。
- 前記イオン源が、ニーア型ガスイオン源である、請求項13に記載のガスイオン源。
- 請求項13又は14に記載のガスイオン源を備える質量分析計。
- ニーア型質量分析計として構成された、請求項15に記載の質量分析計。
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