JP6474281B2 - 電子増倍体、光電子増倍管、及び光電子増倍器 - Google Patents
電子増倍体、光電子増倍管、及び光電子増倍器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6474281B2 JP6474281B2 JP2015041556A JP2015041556A JP6474281B2 JP 6474281 B2 JP6474281 B2 JP 6474281B2 JP 2015041556 A JP2015041556 A JP 2015041556A JP 2015041556 A JP2015041556 A JP 2015041556A JP 6474281 B2 JP6474281 B2 JP 6474281B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- channel
- electron
- bent portion
- electron multiplier
- bent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 18
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 15
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 15
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/16—Electrode arrangements using essentially one dynode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/28—Vessels, e.g. wall of the tube; Windows; Screens; Suppressing undesired discharges or currents
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
続いて、本実施形態に係る電子増倍体2の第1変形例について説明する。図10は、第1変形例に係る電子増倍体21の断面図である。図10に示されるように、第1変形例に係る電子増倍体21では、距離h及び間隔dの比h/dが下記式(5)を更に満たしている。具体的には、電子増倍体21では距離hが負の値となる。これにより、電子増倍体21では、第1の方向D1から見て第1の内面9と第2の内面10とが重なるように配置されている。
続いて、本実施形態に係る電子増倍体2の第2変形例について説明する。図11は、第2変形例に係る電子増倍体22の断面図である。図11に示されるように、第2変形例に係る電子増倍体22では、第1の屈曲部9a、第2の屈曲部9b、第3の屈曲部10a、及び第4の屈曲部10bは角状に折れ曲がっておらず、曲面をなしている(すなわち、面取りされている。)。具体的には、電子増倍体22の第1の屈曲部9a及び第2の屈曲部9bは、それぞれ、一対の第1の傾斜面9cを曲面により互いに接続している。また、第3の屈曲部10a及び第4の屈曲部10bは、それぞれ、一対の第2の傾斜面10cを曲面により互いに接続している。この構成によれば、第1の屈曲部9a〜第4の屈曲部10bの形成の際に当該屈曲部にバリが生じることを抑制できる。また、第1の屈曲部9a〜第4の屈曲部10bの形成に際してバリが生じても、当該屈曲部を曲面状に加工する際に当該バリを除去できる。このため、第1の屈曲部9a〜第4の屈曲部10bのバリに起因したノイズとなる電子放出及び放電を抑制できる。従って、出力信号のノイズを低減できる。
続いて、本実施形態に係る電子増倍体2の第3変形例について説明する。図12は、第3変形例に係る電子増倍体23の断面図である。図12に示されるように、第3変形例に係る電子増倍体23では、間隔d、角度θ、及び距離hがチャネル8の各部分において一定ではない。このような構成とした場合であっても、チャネル8の各部分において距離h、間隔d、角度θ、長さLの各値が式(1)〜(4)を満たしていれば、電子の増倍効率を向上できる。
Claims (5)
- 第1の方向に延在し、前記第1の方向に直交する方向から見て前記第1の方向に直線状に延びる外形を有する本体部と、
前記第1の方向における前記本体部の一端面に開口するように前記本体部に設けられ、前記本体部の外部から電子を入射する電子入射部と、
前記第1の方向における前記本体部の他端面に開口すると共に前記電子入射部に至るように前記本体部に設けられ、前記電子入射部から入射した電子に応じて二次電子を放出するチャネルと、
を備え、
前記チャネルは、前記第1の方向について当該チャネルの全体にわたって延在すると共に互いに対向する、前記本体部の内面としての第1の内面及び第2の内面を有し、
前記第1の内面は、前記第1の方向に沿って交互に配列された凸状の第1の屈曲部及び凹状の第2の屈曲部と、前記第1の屈曲部及び前記第2の屈曲部のそれぞれを規定する複数の第1の傾斜面と、を含み、
前記第2の内面は、前記第1の方向に沿って交互に配列された凸状の第3の屈曲部及び凹状の第4の屈曲部と、前記第3の屈曲部及び前記第4の屈曲部のそれぞれを規定する複数の第2の傾斜面と、を含み、
前記第1の屈曲部と前記第4の屈曲部とは、前記第1の内面から前記第2の内面に向かう第2の方向について互いに対向するように配置されており、
前記第2の屈曲部と前記第3の屈曲部とは、前記第2の方向について互いに対向するように配置されており、
前記第2の方向における前記第1の屈曲部の先端と前記第3の屈曲部の先端との距離をhとし、互いに対向する前記第1の傾斜面及び前記第2の傾斜面の間隔をdとし、前記第1の屈曲部を規定する一対の前記第1の傾斜面のなす角度をθとし、前記第1の方向における前記チャネルの長さをLとしたとき、下記式(1)〜(4)を満たす、
電子増倍体。
- 前記第1の屈曲部及び前記第2の屈曲部は、それぞれ、一対の前記第1の傾斜面を曲面により互いに接続しており、
前記第3の屈曲部及び前記第4の屈曲部は、それぞれ、一対の前記第2の傾斜面を曲面により互いに接続している、
請求項1又は2に記載の電子増倍体。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子増倍体と、
前記電子増倍体を収容する管体と、
前記一端面における前記電子入射部の開口に対向するように前記管体に設けられ、前記電子入射部に光電子を供給する光電面と、
前記他端面における前記チャネルの開口に対向するように前記管体内に配置され、前記二次電子を受ける陽極と、を備える、
光電子増倍管。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子増倍体と、
前記一端面における前記電子入射部の開口を塞ぐように設けられ、前記電子入射部に光電子を供給する光電面と、
前記他端面における前記チャネルの開口を塞ぐように設けられ、前記二次電子を受ける陽極と、を備える、
光電子増倍器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015041556A JP6474281B2 (ja) | 2015-03-03 | 2015-03-03 | 電子増倍体、光電子増倍管、及び光電子増倍器 |
CN201610118322.5A CN105938786B (zh) | 2015-03-03 | 2016-03-02 | 电子倍增体、光电倍增管及光电倍增器 |
US15/058,199 US9514920B2 (en) | 2015-03-03 | 2016-03-02 | Electron multiplier body, photomultiplier tube, and photomultiplier |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015041556A JP6474281B2 (ja) | 2015-03-03 | 2015-03-03 | 電子増倍体、光電子増倍管、及び光電子増倍器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016162641A JP2016162641A (ja) | 2016-09-05 |
JP6474281B2 true JP6474281B2 (ja) | 2019-02-27 |
Family
ID=56845296
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015041556A Active JP6474281B2 (ja) | 2015-03-03 | 2015-03-03 | 電子増倍体、光電子増倍管、及び光電子増倍器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9514920B2 (ja) |
JP (1) | JP6474281B2 (ja) |
CN (1) | CN105938786B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6407767B2 (ja) | 2015-03-03 | 2018-10-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子増倍体の製造方法、光電子増倍管、及び光電子増倍器 |
JP6817160B2 (ja) * | 2017-06-30 | 2021-01-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子増倍体 |
KR20220027944A (ko) * | 2019-06-07 | 2022-03-08 | 아답타스 솔루션즈 피티와이 엘티디 | 전파 2차 전자 방출 수단을 포함하는 검출기 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3244922A (en) * | 1962-11-05 | 1966-04-05 | Itt | Electron multiplier having undulated passage with semiconductive secondary emissive coating |
US3374380A (en) * | 1965-11-10 | 1968-03-19 | Bendix Corp | Apparatus for suppression of ion feedback in electron multipliers |
US5493111A (en) * | 1993-07-30 | 1996-02-20 | Litton Systems, Inc. | Photomultiplier having cascaded microchannel plates, and method for fabrication |
US5453609A (en) * | 1993-10-22 | 1995-09-26 | Southeastern Universities Research Assn., Inc. | Non cross talk multi-channel photomultiplier using guided electron multipliers |
US5568013A (en) * | 1994-07-29 | 1996-10-22 | Center For Advanced Fiberoptic Applications | Micro-fabricated electron multipliers |
US6166365A (en) * | 1998-07-16 | 2000-12-26 | Schlumberger Technology Corporation | Photodetector and method for manufacturing it |
US7042160B2 (en) * | 2004-02-02 | 2006-05-09 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Parallel plate electron multiplier with ion feedback suppression |
WO2005078760A1 (ja) | 2004-02-17 | 2005-08-25 | Hamamatsu Photonics K. K. | 光電子増倍管及びその製造方法 |
-
2015
- 2015-03-03 JP JP2015041556A patent/JP6474281B2/ja active Active
-
2016
- 2016-03-02 CN CN201610118322.5A patent/CN105938786B/zh active Active
- 2016-03-02 US US15/058,199 patent/US9514920B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105938786A (zh) | 2016-09-14 |
US20160260593A1 (en) | 2016-09-08 |
JP2016162641A (ja) | 2016-09-05 |
CN105938786B (zh) | 2019-03-29 |
US9514920B2 (en) | 2016-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10522316B2 (en) | X-ray source | |
JP6474281B2 (ja) | 電子増倍体、光電子増倍管、及び光電子増倍器 | |
EP2811510B1 (en) | Electrostatic suppression of ion feedback in a microchannel plate photomultiplier | |
JP6817160B2 (ja) | 電子増倍体 | |
TWI474361B (zh) | X射線管 | |
KR102188055B1 (ko) | 엑스선 소스 | |
EP0713243A1 (en) | Electron multiplier | |
US10957522B2 (en) | Electron multiplier production method and electron multiplier | |
JP5582493B2 (ja) | マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器 | |
EP1741316B1 (en) | Parallel plate electron multiplier with ion feedback suppression | |
US8410415B2 (en) | Ion detector for mass spectrometry, method for detecting ion, and method for manufacturing ion detector | |
US9892892B2 (en) | Method of manufacturing electron multiplier body, photomultiplier tube, and photomultiplier | |
JP4863931B2 (ja) | 電子管 | |
WO2021005743A1 (ja) | 荷電粒子線装置用シンチレータおよび荷電粒子線装置 | |
US10629418B2 (en) | Electron multiplier and photomultiplier tube | |
JP4644508B2 (ja) | X線管 | |
US11417505B2 (en) | Channel electron multiplier and ion detector | |
WO2024042908A1 (ja) | イオンガイド、およびそれを備える質量分析装置 | |
WO2019235300A1 (ja) | 第1段ダイノード及び光電子増倍管 | |
JP2018198227A (ja) | 電子増倍体及び光電子増倍管 | |
JPH083985B2 (ja) | 傾斜電界型二次電子増倍管 | |
JPH0393142A (ja) | 二次電子増倍管 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180821 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181012 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20181019 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181211 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6474281 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |