JP2007520698A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 複数の電極を含む弾性表面波センサと、
   開口および複数の電気コンタクトを含む回路層と、
   前記電気コンタクトを前記電極に結合するためのＺ軸導電層と、
   を含む弾性表面波センサアセンブリ。
2. 流体経路を含むハウジングと、
   複数の電極を含む弾性表面波センサ、開口および複数の電気コンタクトを含む回路層、ならびに前記電気コンタクトを前記電極に結合するためのＺ軸導電層を含む弾性表面波センサアセンブリであって、前記弾性表面波センサが、前記開口を介して前記流体経路に露出されている、弾性表面波センサアセンブリと、
   を含むセンサカートリッジ。
3. 弾性表面波センサの複数の電極を、Ｚ軸導電層で、回路層の複数の電気コンタクトに電気的に結合する工程を含む、弾性表面波アセンブリを形成する方法。