JP2007328346A - 薄膜トランジスタ基板及びこれを含む液晶表示板 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の画素を有する表示領域に形成された複数の信号配線、前記表示領域の外側に形成された複数のファンアウト配線を含む少なくとも１つのファンアウト配線部、前記信号配線とファンアウト配線の間に前記信号配線とほぼ平行に形成され前記２つの配線を連結し、少なくとも一部は屈曲パターンを有する複数の信号補償配線を含む信号補償配線部を含む薄膜トランジスタ基板及び表示装置を提供する。
【解決手段】信号補償配線間の間隔は、駆動回路付近での配線間隔より充分に広いので、多数の配線にこのような屈曲パターンを容易に形成することができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、薄膜トランジスタ基板及びこれを有する表示装置に関する。より詳細には、ゲート配線及びデータ配線のファンアウト部を含む薄膜トランジスタ基板及びこれを有する表示装置に関する。

薄膜トランジスタ基板（ＴＦＴ）は、液晶表示装置（ＬＣＤ）やＯＬＥＤ表示装置等で各画素を独立的に駆動するための回路基板として使用され、薄膜トランジスタ基板は走査信号を伝達する走査信号配線又はゲート配線と画像信号を伝達する画像信号線又はデータ配線を有する。そして、この基板には、ゲート配線及びデータ配線と連結されている薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタと連結されている画素電極、ゲート配線をカバーして絶縁するゲート絶縁膜、及び薄膜トランジスタとデータ配線をカバーして絶縁する保護膜等が準備されている。ここで、ゲート絶縁膜及び保護膜は、通常、シリコン窒化物を用いて形成される。

薄膜トランジスタは、ゲート配線の一部であるゲート電極とチャネル部を形成する半導体層、データ配線の一部であるソース電極、ドレイン電極、ゲート絶縁膜と保護膜等で構成される。薄膜トランジスタは、ゲート配線を通じて伝達される走査信号によって、データ配線を通じて伝達される画像信号を画素電極に伝達又は遮断するスイッチング素子である。

薄膜トランジスタ基板には、ゲート線及びデータ線に駆動信号を印加するための駆動回路が連結される。駆動回路は、パッドを通じてゲート線又はデータ線に連結されるが、このパッドは駆動回路との連結のために狭い領域に密集して形成される。これに対して、表示領域に位置するゲート線やデータ線の線間間隔は、画素の大きさによって定められる幅を有しなければならないので、パッド間の間隔に対してより大きい幅を有する。従って、パッド部と表示領域との間には配線の線間間隔が漸次広くなるファンアウト部が存在する。このようなファンアウト部によって配線の長さが互いに異なることになり、従って、ＲＣ遅延が配線毎に異なることになる。ＲＣ遅延の差異は、ピクセルでキックバック（ｋｉｃｋｂａｃｋ）電圧の偏差を誘発し、これはピクセルの輝度差を発生させて画質を劣化させるという問題点がある。

このような問題を解決するために、従来では、駆動回路とファンアウト配線との間に、ファンアウト配線の長さ偏差を補償する屈曲部を有する配線を形成していた。屈曲部は、ファンアウト配線の長さが長い端部分では短く、ファンアウト配線の長さが短い中央部では長く形成することにより、屈曲配線とファンアウト配線の長さの総合がほぼ同じになるようにすることができた。

一方、高価のデータ駆動回路を減少させるために、多チャンネル駆動回路を実装した薄膜トランジスタ基板の開発が行われているが、このような多チャンネル駆動回路は、従来の駆動回路に対して約１．５倍以上のデータ配線を含むので、ファンアウト配線間の間隔が非常に稠密で、従来のような屈曲部を形成しにくいという問題がある。

従って、本発明は、ゲートファンアウト部及びデータファンアウト部のＲＣ遅延を補償することができる薄膜トランジスタ基板及びこれを有する表示装置を提供することをその目的とする。

前記課題を解決するために、本発明１は、以下の構成を含む薄膜トランジスタ基板を提供する。
・複数の画素を有する表示領域に形成された複数の信号配線と、
・前記表示領域の外側に形成された複数のファンアウト配線を備える少なくとも１つのファンアウト配線部と、
・一端が前記信号配線に連結され他端が前記ファンアウト配線に連結され、前記信号配線と前記ファンアウト配線とを連結している複数の信号補償配線と、
を含み、
前記信号補償配線のうち、第１部分は第１の長さを有し、第２部分は前記第１の長さと異なる第２の長さを有する。

本発明２は、前記発明１において、前記信号補償配線の第１部分及び第２部分のうち少なくとも１つは、少なくとも一つ又は複数の同一形状パターンの繰り返しを含む屈曲パターンを有する薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明３は、前記発明１において、前記信号補償配線の第１部分及び第２部分はそれぞれ屈曲パターンを含み、前記第１部分に形成された屈曲パターンの繰り返し数は、前記第２部分に形成された屈曲パターンの繰り返し数と異なる薄膜トランジスタ基板を提供する。

本発明４は、前記発明３において、前記屈曲パターンの繰り返し数は、前記信号補償配線部の端部分から前記信号補償配線部の中央部に行くほど増加している、薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明５は、前記発明１において、前記信号配線、前記信号補償配線及び前記ファンアウト配線は、同一層上に形成されている薄膜トランジスタ基板を提供する。

本発明６は、前記発明１において、前記信号配線は、ゲート配線及びデータ配線のうち、少なくともいずれか１つである薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明７は、前記発明６において、前記画素は、対向する一対の第１辺と対向する一対の第２辺とを有し、前記データ配線に沿った前記第１辺の長さが前記データ配線と交差する前記第２辺の長さより短い薄膜トランジスタ基板を提供する。

本発明８は、前記発明１において、前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部のうち、少なくとも一部と重なる信号補償電極と、前記信号補償電極と前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部との間に介在する絶縁層と、を更に含む薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明９は、前記発明８において、前記信号補償電極は透明伝導体で形成されている、薄膜トランジスタ基板を提供する。

本発明１０は、前記発明８において、前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線部の一部と重なっている薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明１１は、前記発明１０において、前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線との重畳面積が前記ファンアウト配線部の端部分から前記ファンアウト配線部の中央部に行くほど増加する形状を有する、薄膜トランジスタ基板を提供する。

本発明１２は、前記発明１１において、前記信号補償電極は三角形状を有する、薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明１３は、前記発明１において、前記ファンアウト配線部は、少なくとも５００本のファンアウト配線を備える、薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明１４は、前記発明１３において、前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部のうち、少なくとも一部と重なる信号補償電極と、前記信号補償電極と前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部との間に介在する絶縁層と、を更に含む薄膜トランジスタ基板を提供する。

本発明１５は、前記発明１４において、前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線部の一部と重なっている、薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明１６は、前記発明１５において、前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線との重畳面積がファンアウト配線部の端部分からファンアウト配線部の中央部に行くほど増加する形状を有する、薄膜トランジスタ基板を提供する。

本発明１７は、前記発明１６において、前記信号補償電極は、三角形状を有する薄膜トランジスタ基板を提供する。
本発明１８は、以下の構成を含む表示装置を提供する。
・複数の画素を有する表示領域に形成された複数の信号配線と、
・前記信号配線に駆動信号を供給する駆動部と、
・前記表示領域の外側に形成され、前記信号配線と前記駆動部との間に配置され、その一端が前記駆動部と連結される複数のファンアウト配線を含むファンアウト配線部と、
・前記信号配線と前記ファンアウト配線との間に前記信号配線に沿って形成され前記信号配線と前記ファンアウト配線とを連結し、少なくとも一部は少なくとも一つ又は複数の同一形状パターンの繰り返しを含む屈曲パターンを有する複数の信号補償配線を備える信号補償配線部。

本発明１９は、前記発明１８において、前記信号補償配線は前記屈曲パターンを有し、前記屈曲パターンの繰り返し数は、前記信号補償配線部の端部分の信号補償配線から中央部の信号補償配線に行くほど増加する表示装置を提供する。
本発明２０は、前記発明１９において、前記信号補償配線及び前記ファンアウト配線は、前記信号配線と同一層上に形成されている表示装置を提供する。

本発明２１は、前記発明２０において、前記信号配線は、ゲート配線及びデータ配線のうち、少なくともいずれか１つである表示装置を提供する。
本発明２２は、前記発明２１において、前記表示装置は画素を含み、前記画素は、対向する一対の第１辺と対向する一対の第２辺とを有し、前記データ配線に沿った前記第１辺の長さが前記データ配線と交差し前記第１辺と隣り合う前記第２辺の長さより短い、表示装置を提供する。

本発明２３は、前記発明１９において、前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部のうち、少なくとも一部と重なる信号補償電極と、前記信号補償電極と前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部との間に介在する絶縁層と、を更に含む表示装置を提供する。
本発明２４は、前記発明２３において、前記信号補償電極は透明伝導体で形成されている表示装置を提供する。

本発明２５は、前記発明２４において、前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線部の一部と重なっている表示装置を提供する。
本発明２６は、前記発明２５において、前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線との重畳面積がファンアウト配線部の端部分からファンアウト配線部の中央部に行くほど増加する形状を有する表示装置を提供する。

本発明２７は、前記発明２６において、前記信号補償電極は三角形状を有する表示装置を提供する。
本発明２８は、前記発明１９において、前記ファンアウト配線部は、少なくとも５００本のファンアウト配線を有する表示装置を提供する。
本発明２９は、前記発明２８において、前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部のうち、少なくとも一部と重なる信号補償電極と、前記信号補償電極と前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部との間に介在する絶縁層と、を更に含む表示装置を提供する。

本発明３０は、前記発明２９において、前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線部の一部と重なっている表示装置を提供する。
本発明３１は、前記発明３０において、前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線との重畳面積がファンアウト配線部の端部分からファンアウト配線部の中央部に行くほど増加する形状を有する表示装置を提供する。

本発明３２は、前記発明３１において、前記信号補償電極は三角形状を有する表示装置を提供する。

本発明によると、信号補償配線は、駆動回路から引出される引出線の間隔より充分に広いファンアウト配線部と信号配線との間に形成されるので、多数の配線に屈曲パターンを形成するのが容易である。又、信号補償配線と共に信号補償電極を形成することにより、抵抗補償のみならず、キャパシタンス補償も可能になり、より効果的に信号遅延偏差を改善することができる。

以下、本発明の一実施例による表示装置について、図１及び図２を参照して、詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施例による表示装置の概略図である。図２は、図１に図示したファンアウト領域の拡大配置図である。
図１及び図２を参照すると、本発明の一実施例による表示装置は、表示板部３００、これに付着されている複数のゲートＦＰＣ基板４１０、及び複数のデータＦＰＣ基板５１０、そしてデータＦＰＣ基板５１０に付着されている印刷回路基板（ＰＣＢ）５５０を含む。

表示板部３００は、下部表示板１００、上部表示板２００、及び表示板１００、２００の間に介在された液晶層（図示せず）を含む。
ゲートＦＰＣ基板４１０とデータＦＰＣ基板５１０には、それぞれゲート駆動集積回路（ＩＣ）４４０とデータ駆動集積回路５４０がチップの形態で装着されており、駆動集積回路４４０、５４０と外部との電気的連結のための引出線４２０、５２０が形成されている。このようなＦＰＣ基板４１０、５１０は、ポリイミド又はポリエステル等からなる。

印刷回路基板５５０には、表示板部３００を駆動及び制御するための各種回路要素が具備されている。例えば、信号制御部（図示せず）及び階調電圧生成部（図示せず）等が印刷回路基板５５０に装着されている。これらの回路要素は、印刷回路基板５５０に具備された信号線（図示せず）及びデータＦＰＣ基板５１０の引出線５２０を通じてデータ駆動集積回路５４０と連結されており、ゲート駆動集積回路４４０と印刷回路基板５５０との間の電気的連結は、データＦＰＣ基板５１０と下部表示板１００に別に具備された信号線（図示せず）、ゲートＦＰＣ基板４１０の引出線４２０及びファンアウト配線４３０を通じて行われ、このような引出線４２０、５２０は、抵抗が比較的少ない銅等の物質で形成される。これとは異なり、駆動集積回路４４０、５４０が表示板部３００の下部表示板１００上に直接装着されることができ、この場合にはゲートＦＰＣ基板４１０は必要ではない。

表示板部３００の下部表示板１００は、画素電極（図示せず）配列が位置している表示領域（Ｄ）とその外側に位置して表示信号線１２１、１７１とＦＰＣ基板４１０、５１０又は駆動集積回路４４０、５４０との物理的、電気的連結がなされる周辺領域に区分することができる。
表示信号線１２１、１７１は、表示領域Ｄでスイッチング素子（図示せず）を通じて画素電極（図示せず）に連結され互いがほぼ平行に延長されており、周辺領域に位置した信号線１２１、１７１のエッジがＦＰＣ基板４１０、５１０又は駆動集積回路４４０、５４０と連結されている。ところで、図１に図示した表示装置の場合、駆動集積回路４４０、５４０と表示信号線１２１、１７１との間の連結のためのＦＰＣ基板４１０、５１０の引出線４２０の間の間隔が表示領域Ｄでの表示信号線１２１、１７１間の間隔に対して小さいので、周辺領域で信号線１２１、１７１間の間隔が漸次変わって信号線１２１、１７１が扇形に配列されるが、この領域を以下でファンアウト配線部（ＦＯＬ）と称し、この領域で扇形に展開される個々の信号線をファンアウト配線４３０と称する。ファンアウト配線部は、少なくとも５００本のファンアウト配線４３０を備える。図２において、引用符号４３０−１乃至４３０−７はファンアウト配線を示し、引用符号１２１−１乃至１２１−７は信号配線を示す。

ファンアウト配線部ＦＯＬと信号配線１２１を互いに連結し、ファンアウト配線部ＦＯＬのファンアウト配線（４３０−１〜４３０−７）間の長さ偏差による信号偏差を補償するための信号補償配線４５０（ＳＣＬ−１〜ＳＣＬ−７）が、ファンアウト配線部ＦＯＬと信号配線（１２１−１〜１２１−７）との間に形成される。ここで、多数の信号補償配線４５０（ＳＣＬ−１〜ＳＣＬ−７）が形成された領域を信号補償配線部ＳＣＬと称する。

信号補償配線部ＳＣＬに形成された信号補償配線４５０（ＳＣＬ−１〜ＳＣＬ−７）のうち、少なくとも一部は屈曲パターン４５１を含む。本実施例では、屈曲パターン４５１は四角形形状を有するが、鋸歯の形状のような他のパターンを有することもできる。
最近、高価なデータ駆動回路を減少させるために、多チャンネル駆動回路を実装した薄膜トランジスタ基板の開発が行われている。しかしこのような多チャンネル駆動回路は、従来の駆動回路に対して約１．５倍以上のデータ配線に信号を供給し、引出線４２０間の間隔が非常に稠密なので、引出線４２０にこのような屈曲パターンを形成するのが困難である。

本発明による信号補償配線４５０は、ファンアウト配線部ＦＯＬと信号配線１２１との間に形成されるので、信号補償配線４５０間の間隔が引出線４２０間の間隔より充分に広い。従って、信号補償配線４５０にこのような屈曲パターン４５１を形成するのが容易である。
信号補償配線部ＳＣＬの中央部に形成された信号補償配線ＳＣＬ−４は、端部分にある信号補償配線ＳＣＬ−１より多い数の屈曲パターン４５１を含む。従って、ファンアウト配線と信号補償配線の長さの和は、中央部と端部分でほぼ同じであり得る。例えば、前記ファンアウト配線４３０−４と信号補償配線ＳＣＬ−４の長さの和は、前記ファンアウト配線４３０−１と信号補償配線ＳＣＬ−１の長さの和とほぼ同じであり得る。これによって、配線抵抗偏差を減少させて駆動信号偏差を減少させることができる。

図３は、本発明の一実施例による表示装置の表示領域を示す平面図である。
図３を参照すると、本発明の一実施例による液晶表示装置は、データ配線（Ｄ１、...、Ｄｍ）及びゲート配線（Ｇ１、...、Ｇｎ）によって定義される多数の画素を有する。各画素は、データ配線（Ｄ１、...、Ｄｍ）に沿った第１辺及び前記データ配線（Ｄ１、...、Ｄｍ）と交差する第２辺を有するが、この際、前記第１辺Ｓ１の長さが前記第２辺Ｓ２の長さより短くても良い。本実施形態では、各画素は、データ配線（Ｄ１、...、Ｄｍ）を平行な第１辺及び前記データ配線（Ｄ１、...、Ｄｍ）とほぼ垂直な第２辺を有する。

各画素の横の長さが縦の長さより長いので、赤色、緑色、青色の色フィルタを横ストライプ形態に配列する。即ち、データ線（Ｄ１、...、Ｄｍ）に沿って順次に赤色、緑色、青色の色フィルタが反復配列される。
このような画素配列は、データ駆動回路の数を減少させるのに有用である。このような画素配列によると、データ信号配線間の間隔が従来画素配列に対して大きいので、特に、多チャンネル駆動回路を使用する場合には、ファンアウト配線と信号配線との間に信号補償配線を形成する充分な空間が確保されることができる。

図４は、本発明の更に他の実施例による薄膜トランジスタ基板の配置図である。
ファンアウト部等の構成は、図２及び図３を参照して前述したので、省略する。
図４を参照すると、ファンアウト配線部１３、２３は、三角形形状の信号補償電極４６０、５６０と重なっている。信号補償電極４６０、５６０は、ゲートファンアウト配線部１３と重なるゲート信号補償電極４６０とデータファンアウト配線部２３と重なるデータ信号補償電極５６０で構成されている。信号補償電極４６０、５６０は、ファンアウト配線部１３、２３と重なる面積が端部分から中心部に行くほど広くなる。具体的に、ファンアウト配線部１３、２３の中心部では、信号補償電極４６０、５６０と重なるファンアウト配線４３０、５３０の長さが長く、相対的に端部分ではファンアウト配線４３０、５３０と重なる長さが短い。これは、中心部では信号補償電極４６０、５６０とファンアウト配線４３０、５３０間の容量が大きく、相対的に端部分では信号補償電極４６０、５６０とファンアウト配線４３０、５３０間の容量が少ないことを意味する。

ファンアウト配線部１３、２３の中心部では、各ファンアウト配線４３０、５３０の抵抗は小さく、ファンアウト配線部１３、２３の端部分では、各ファンアウト配線４３０、５３０の抵抗が大きいので、結果的に各ファンアウト配線４３０、５３０で発生する抵抗と容量をかけた値は、位置に関係なく一定になる。従って、ファンアウト配線４３０、５３０の長さの差異によって発生したＲＣ遅延は、信号補償電極４６０、５６０を利用した容量発生によって効果的に補償されることができる。

ファンアウト配線４３０、５３０の長さ及び信号補償電極４６０、５６０の重畳面積は、該当薄膜トランジスタ基板１００の信号線で発生するＲＣ遅延を考慮して決定される。
本実施例では、ファンアウト配線と重なる信号補償電極を示したが、信号補償電極は信号補償配線と重なるように形成されることもできる。
図５は、図４のＩ−Ｉ’に沿って切断した断面図である。

図４及び図５を参照すると、ガラス、石英、セラミック、又はプラスティック等の絶縁性材質を含んで形成された絶縁基板１００上に複数のゲート配線１２１が形成され、ゲート配線１２１の一部が分岐されゲート電極１２を形成している。データ信号補償電極５６０は、ゲート配線１２１及びゲート電極１２と同じ層に形成される。
本発明のゲート配線１２１及びデータ信号補償電極５６０は単一層で形成されているが、金属又は合金の短所を補完して所望する物性を得るために、多重層に形成されることができる。一例として、アルミニウム又はアルミニウム合金を下部層として使用し、クロム、モリブデン、モリブデン−タングステン、又はモリブデン−タングステンナイトライドを上部層として使用する二重層を形成する。これは、下部層として配線抵抗による信号抵抗を防止するために、比抵抗が小さいアルミニウム又はアルミニウム合金を使用し、上部層として化学薬品による耐蝕性が弱くて、容易に酸化され断線が発生されるアルミニウム又はアルミニウム合金の短所を補完するために、化学薬品に対する耐蝕性が強いクロム、モリブデン、モリブデン−タングステン、又はモリブデン−タングステンナイトライドを使用する。最近では、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、チタニウム（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等が配線材料として脚光を浴びている。

ゲート配線１２１、ゲート電極１２、及びデータ信号補償電極５６０上には、シリコン窒化物（ＳｉＮｘ）等からなるゲート絶縁膜２６が形成される。
ゲート電極１２が位置したデータ絶縁膜２６上には、水素化非晶質珪素等の半導体からなる半導体層９１とｎ型不純物が高濃度でドーピングされたｎ^＋水素化非晶質シリコンからなる抵抗性接触層９２が順次に形成されている。ここで、抵抗性接触層９２は、ゲート電極１２を中心に両方に分離されている。

抵抗性接触層９２上には、ソース電極９３とドレイン電極９４が形成されている。図面符号５３０は、周辺領域のファンアウト配線又は信号補償配線で、ソース電極９３及びドレイン電極９４と同じ層に形成される。本図面には、ゲート絶縁膜２６上の非晶質シリコン層９１、９２がエッチングされ除去された実施例を図示したが、非晶質シリコン層とデータ配線層を１つの露光工程で形成する場合には、ゲート絶縁膜２６上に非晶質シリコン層９１、９２が残留する可能性がある。

データ信号補償電極５６０とファンアウト配線又は信号補償配線５３０の間にゲート絶縁膜２６が介在されるので、キャパシタンスを有することになる。
ソース電極９３とドレイン電極９４も金属層からなる単一層又は多重層であり得る。データ配線上にはシリコン窒化物（ＳｉＮｘ）を含む材質の保護膜９５が形成されている。保護膜９５は、ドレイン電極９４を露出させる接触孔を具備する。保護膜９５上には、薄膜トランジスタから画像信号を受けて上板の共通電極と共に電場を生成する画素電極９６が形成されている。画素電極９６は、接触孔を通じてドレイン電極９４と物理的、電気的に連結され画像信号伝達を受ける。本実施例では、画素電極９６がデータ信号補償電極５６０と異なる層に形成されているが、画素電極９６とデータ信号補償電極５６０が同じ層に形成されることもできる。

図６は、本発明の更に他の実施例を説明するための断面図で、図５と同じ構成要素についての説明は省略する。
図６を参照すると、データ信号補償電極５６０は、画素電極９６と同じ層に形成される。即ち、データファンアウト配線又はデータ信号補償配線５３０とデータ信号補償電極５６０との間には、シリコン窒化物（ＳｉＮｘ）からなる保護膜９５が積層されている。

データ信号補償電極５６０は、保護膜９５の形成過程を経た後、最後に画素電極９６と共にパターニングされ、ＩＴＯ又はＩＺＯ等の透明な導電物質で形成される。
図７は、図４のＩＩ−ＩＩ’に沿って切断した断面図である。本図面は、ゲート信号補償電極に関し、図５と同じ構成要素についての説明は省略する。
図４及び図７を参照すると、ゲートファンアウト配線又はゲート信号補償配線４３０上には、ゲートファンアウト配線又はゲート信号補償配線４３０と重なって、その間に容量を形成するゲート信号補償電極４６０が覆われている。

ゲート信号補償電極４６０は、ゲート電極１２上に形成されたソース電極９３及びドレイン電極９４と同じ層に形成されている。ソース電極９３及びドレイン電極９４を含むデータ配線をパターニングする時、ゲートファンアウト部１３にゲート信号補償電極４６０を形成することにより、ゲートファンアウト部１３と共にキャパシタを構成することができる。ゲート信号補償電極４６０とソース電極９３及びドレイン電極９４は同じ層に形成されるが、これらは互いに物理的に分離され、電気的な接触が発生しない。

図８は、本発明の更に他の実施例を説明するための断面図で、図７と同じ構成要素についての説明は省略する。
図８を参照すると、ゲート信号補償電極４６０は、ソース電極９３及びドレイン電極９４と同じ層ではない、画素電極９６と同じ層に形成される。即ち、ゲートファンアウト配線４３０とゲート信号補償電極４６０との間には、シリコン窒化物（ＳｉＮｘ）からなるゲート絶縁膜２６及び保護膜９５が積層されている。

ゲート信号補償電極４６０は、保護膜９５の形成過程を経た後、最後に画素電極９６と共にパターニングされ、ＩＴＯ又はＩＺＯ等の透明な導電物質からなる。
図４を更に参照すると、データファンアウト部２３及びデータ信号補償電極５６０についての説明は、ゲートファンアウト部１３及びゲート信号補償電極４６０に対する前記内容と類似である。データファンアウト部２３の断面を簡単に説明すると、絶縁基板１００上にゲート絶縁膜２６及び保護膜９５が順次に積層されており、その上に画素電極９０と同じ層にデータ信号補償電極５６０が形成されている。

本実施例は、図１に示す抵抗補償と共にキャパシタンス補償を共に適用することにより、より効果的にＲＣ遅延に対応することができる。

本発明によると、信号補償配線は、駆動回路から引出される引出線の間隔より充分に広いファンアウト配線部と信号配線との間に形成されるので、多数の配線に屈曲パターンを形成するのが容易である。又、信号補償配線と共に信号補償電極を形成することにより、抵抗補償のみならず、キャパシタンス補償も可能になり、より効果的に信号遅延偏差を改善することができる。

以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。

本発明の一実施例による表示装置の概略図である。 図１に図示したファンアウト領域の拡大配置図である。 本発明の一実施例による薄膜トランジスタ基板の画素配列を示す平面図である。 本発明の更に他の実施例による薄膜トランジスタ基板の配置図である。 図４のＩ−Ｉ’に沿って切断した第１断面図である。 図４のＩ−Ｉ’に沿って切断した第２断面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ’に沿って切断した第１断面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ’に沿って切断した第２断面図である。

符号の説明

１００ 下部表示板
２００ 上部表示板
３００ 表示板部
４１０ ゲートＦＰＣ基板
５１０ データＦＰＣ基板
５５０ 印刷回路基板

Claims (32)

1. 複数の画素を有する表示領域に形成された複数の信号配線と、
   前記表示領域の外側に形成された複数のファンアウト配線を備える少なくとも１つのファンアウト配線部と、
   一端が前記信号配線に連結され他端が前記ファンアウト配線に連結され、前記信号配線と前記ファンアウト配線とを連結している複数の信号補償配線と、
   を含み、
   前記信号補償配線のうち、第１部分は第１の長さを有し、第２部分は前記第１の長さと異なる第２の長さを有する、薄膜トランジスタ基板。
2. 前記信号補償配線の第１部分及び第２部分のうち少なくとも１つは、少なくとも一つ又は複数の同一形状パターンの繰り返しを含む屈曲パターンを有する、請求項１に記載の薄膜トランジスタ基板。
3. 前記信号補償配線の第１部分及び第２部分はそれぞれ屈曲パターンを含み、前記第１部分に形成された屈曲パターンの繰り返し数は、前記第２部分に形成された屈曲パターンの繰り返し数と異なる、請求項１に記載の薄膜トランジスタ基板。
4. 前記屈曲パターンの繰り返し数は、前記信号補償配線部の端部分から前記信号補償配線部の中央部に行くほど増加している、請求項３に記載の薄膜トランジスタ基板。
5. 前記信号配線、前記信号補償配線及び前記ファンアウト配線は、同一層上に形成されている、請求項１に記載の薄膜トランジスタ基板。
6. 前記信号配線は、ゲート配線及びデータ配線のうち、少なくともいずれか１つである、請求項１に記載の薄膜トランジスタ基板。
7. 前記画素は、対向する一対の第１辺と対向する一対の第２辺とを有し、前記データ配線に沿った前記第１辺の長さが前記データ配線と交差する前記第２辺の長さより短い、請求項６に記載の薄膜トランジスタ基板。
8. 前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部のうち、少なくとも一部と重なる信号補償電極と、前記信号補償電極と前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部との間に介在する絶縁層と、を更に含む、請求項１に記載の薄膜トランジスタ基板。
9. 前記信号補償電極は透明伝導体で形成されている、請求項８に記載の薄膜トランジスタ基板。
10. 前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線部の一部と重なっている、請求項８に記載の薄膜トランジスタ基板。
11. 前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線との重畳面積が前記ファンアウト配線部の端部分から前記ファンアウト配線部の中央部に行くほど増加する形状を有する、請求項１０に記載の薄膜トランジスタ基板。
12. 前記信号補償電極は三角形状を有する、請求項１１に記載の薄膜トランジスタ基板。
13. 前記ファンアウト配線部は、少なくとも５００本のファンアウト配線を備える、請求項１に記載の薄膜トランジスタ基板。
14. 前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部のうち、少なくとも一部と重なる信号補償電極と、
    前記信号補償電極と前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部との間に介在する絶縁層と、を更に含む、請求項１３に記載の薄膜トランジスタ基板。
15. 前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線部の一部と重なっている、請求項１４に記載の薄膜トランジスタ基板。
16. 前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線との重畳面積がファンアウト配線部の端部分からファンアウト配線部の中央部に行くほど増加する形状を有する、請求項１５に記載の薄膜トランジスタ基板。
17. 前記信号補償電極は三角形状を有する、請求項１６に記載の薄膜トランジスタ基板。
18. 複数の画素を有する表示領域に形成された複数の信号配線と、
    前記信号配線に駆動信号を供給する駆動部と、
    前記表示領域の外側に形成され、前記信号配線と前記駆動部との間に配置され、その一端が前記駆動部と連結される複数のファンアウト配線を含むファンアウト配線部と、
    前記信号配線と前記ファンアウト配線との間に前記信号配線に沿って形成され前記信号配線と前記ファンアウト配線とを連結し、少なくとも一部は少なくとも一つ又は複数の同一形状パターンの繰り返しを含む屈曲パターンを有する複数の信号補償配線を備える信号補償配線部と、
    を含む表示装置。
19. 前記信号補償配線は前記屈曲パターンを有し、前記屈曲パターンの繰り返し数は、前記信号補償配線部の端部分の信号補償配線から中央部の信号補償配線に行くほど増加する、請求項１８に記載の表示装置。
20. 前記信号補償配線及び前記ファンアウト配線は、前記信号配線と同一層上に形成されている、請求項１９に記載の表示装置。
21. 前記信号配線は、ゲート配線及びデータ配線のうち、少なくともいずれか１つである、請求項２０に記載の表示装置。
22. 前記表示装置は画素を含み、
    前記画素は、対向する一対の第１辺と対向する一対の第２辺とを有し、前記データ配線に沿った前記第１辺の長さが前記データ配線と交差し前記第１辺と隣り合う前記第２辺の長さより短い、請求項２１に記載の表示装置。
23. 前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部のうち、少なくとも一部と重なる信号補償電極と、
    前記信号補償電極と前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部との間に介在する絶縁層と、を更に含む、請求項１９に記載の表示装置。
24. 前記信号補償電極は透明伝導体で形成されている、請求項２３に記載の表示装置。
25. 前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線部の一部と重なっている、請求項２４に記載の表示装置。
26. 前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線との重畳面積がファンアウト配線部の端部分からファンアウト配線部の中央部に行くほど増加する形状を有する、請求項２５に記載の表示装置。
27. 前記信号補償電極は三角形状を有する、請求項２６に記載の表示装置。
28. 前記ファンアウト配線部は、少なくとも５００本のファンアウト配線を有する、請求項１９に記載の表示装置。
29. 前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部のうち、少なくとも一部と重なる信号補償電極と、
    前記信号補償電極と前記ファンアウト配線部又は前記信号補償配線部との間に介在する絶縁層と、を更に含む、請求項２８に記載の表示装置。
30. 前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線部の一部と重なっている、請求項２９に記載の表示装置。
31. 前記信号補償電極は、前記ファンアウト配線との重畳面積がファンアウト配線部の端部分からファンアウト配線部の中央部に行くほど増加する形状を有する、請求項３０に記載の表示装置。
32. 前記信号補償電極は三角形状を有する、請求項３１に記載の表示装置。

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