JP2007313640A5 - - Google Patents

Description

重量％未反応ＮＣＯを制御することに加えて、硬化剤及びプレポリマー反応生成物は、通常、未反応ＮＣＯに対するＯＨ又はＮＨ ₂ の化学量論比９０〜１２５％、好ましくは９７〜１２５％を有し、もっとも好ましくは、未反応ＮＣＯに対するＯＨ又はＮＨ ₂ の化学量論比１００％超〜１２０％を有する。たとえば、１０１〜１１５％の範囲の未反応ＮＣＯで形成されたポリウレタンが優れた結果を提供するものと思われる。この化学量論比は、原料の化学量論レベルを提供することによって直接的に達成することもできるし、意図的又は外来性水分への暴露によってＮＣＯの一部を水と反応させることによって間接的に達成することもできる。

Claims (10)

1. 半導体、光学及び磁性基材の少なくとも一つを平坦化するのに適した研磨パッドであって、ポリマーマトリックスを含み、前記ポリマーマトリックスが上研磨面を有し、前記上研磨面が、ポリマー研磨アスペリティを有するか、砥粒でコンディショニングされるとポリマー研磨アスペリティを形成し、前記ポリマー研磨アスペリティが、前記ポリマーマトリックスから延び、研磨中に基材と接することができる前記上研磨面の部分であり、前記研磨パッドが、前記上研磨面の摩耗又はコンディショニングによって前記ポリマーマトリックスからさらなるポリマー研磨アスペリティを形成し、前記ポリマー研磨アスペリティが、少なくとも６，５００psi（４４．８MPa）のバルク極限引張り強さ及び少なくとも２５０lb/in（４．５×１０³g/mm）のバルク引裂き強さを有するポリマーマトリックスからのものである研磨パッド。
2. 前記バルク引裂き強さが２５０〜７５０lb/in（４．５×１０³〜１．３４×１０³g/mm）である、請求項１記載の研磨パッド。
3. 前記ポリマーマトリックスが、二官能性又は多官能性イソシアネートから誘導されるポリマーを含み、前記ポリマーが、ポリエーテルウレア、ポリイソシアヌレート、ポリウレタン、ポリウレア、ポリウレタンウレア、それらのコポリマー及びそれらの混合物から選択される少なくとも一つを含む、請求項１記載の研磨パッド。
4. 前記ポリマーマトリックスが、硬化剤とイソシアネート終端化ポリマーとの反応生成物からのものであり、前記硬化剤が、前記イソシアネート終端化反応生成物を硬化させる硬化剤アミンを含み、前記イソシアネート終端化反応生成物が、９０対１２５％のＮＨ₂対ＮＣＯ化学量論比を有する、請求項３記載の研磨パッド。
5. 前記バルク引張り強さが６，５００〜１４，０００psi（４４．８〜９６．５MPa）であり、前記ポリマーマトリックスが、少なくとも２００％のバルク破断伸びを有する、請求項１記載の研磨パッド。
6. 半導体、光学及び磁性基材の少なくとも一つを平坦化するのに適した研磨パッドであって、ポリマーマトリックスを含み、前記ポリマーマトリックスが上研磨面を有し、前記上研磨面が、ポリマー研磨アスペリティを有するか、砥粒でコンディショニングされるとポリマー研磨アスペリティを形成し、前記ポリマー研磨アスペリティが、前記ポリマーマトリックスから延び、研磨中に基材と接することができる前記上研磨面の部分であり、前記ポリマーマトリックスが、二官能性又は多官能性イソシアネートから誘導されるポリマーを含み、前記ポリマーが、ポリエーテルウレア、ポリイソシアヌレート、ポリウレタン、ポリウレア、ポリウレタンウレア、それらのコポリマー及びそれらの混合物から選択される少なくとも一つを含み、前記ポリマーマトリックスが、６，５００〜１４，０００psi（４４．８〜９６．５MPa）のバルク極限引張り強さ及び２５０〜７５０lb/in（４．５×１０³〜１．３４×１０³g/mm）のバルク引裂き強さを有するものである研磨パッド。
7. 前記バルク引裂き強さが２７５〜７００lb/in（４．９×１０³〜１．２５×１０³g/mm）である、請求項６記載の研磨パッド。
8. 前記ポリマーマトリックスが、硬化剤とイソシアネート終端化ポリマーとの反応生成物からのものであり、前記硬化剤が、前記イソシアネート終端化反応生成物を硬化させる硬化剤アミンを含み、前記イソシアネート終端化反応生成物が、１００超対１２５％のＮＨ₂対ＮＣＯ化学量論比を有する、請求項６記載の研磨パッド。
9. 前記バルク極限引張り強さが６，７５０〜１０，０００psi（４６．５〜６８．９MPa）であり、前記ポリマーマトリックスが、少なくとも２００％のバルク破断伸びを有する、請求項６記載の研磨パッド。
10. 前記ポリマーマトリックス内で２５〜６５容量％の気孔率及び２〜５０μmの平均孔径を含む、請求項６記載の研磨パッド。