JP2007294521A - パターン合わせずれ計測方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】要素パターンを重ね合わせて形成される複合パターンの画像Aと、各要素パターンの基準画像B1,B2とを取得し、画像Aと各基準画像B1,B2との間でマッチングを実行し、このマッチング結果に基づいて複合パターンにおける各要素パターン間の合わせずれを出力する。
【選択図】図1
Description
1.検査用マークを形成するために、コストがかかる。
2.検査用マークはデバイスの周辺部にのみ設置可能であるため、デバイスの中心部での合わせずれ計測は不可能である。
3.X方向とY方向で合わせずれ計測を独立に実施する必要があるため、計測に多大な時間がかかる。
複数の種類の要素パターンを重ね合わせて形成される複合パターンの画像である検査画像を取得する手順と、
前記要素パターンの基準パターンの画像である基準画像を少なくとも2種類の前記要素パターンについて取得する手順と、
前記検査画像と前記基準画像のそれぞれとの間でマッチングを実行する第1のマッチング手順と、
前記第1のマッチング手順によるマッチング結果に基づいて前記複合パターンにおける各要素パターン間の合わせずれを出力する手順と、
を備える、パターン合わせずれ計測方法が提供される。
図1乃至図9を参照しながら本発明の第1の実施の形態について説明する。本実施形態では、半導体基板上に形成された積層体を構成する各単層パターンの間の合わせずれを、該積層体の設計データを用いて計測する場合を例として取り上げて説明する。図1を除く各図では、パターンを上から見下ろしたトップダウンビューで表示している。実際のパターンは、通常、基板表面に垂直な方向に高さを持っている。しかしながら、本実施形態のパターン計測方法では、図2に示すように、トップダウンビューのSEM画像から検出された輪郭に基づいて合わせずれを計測するため、実際の高さ方向はどのような構造でもかまわない。
本実施形態によるパターン合わせずれ計測方法は、上述した第1の実施の形態に、輪郭の重要度を考慮する手順を付加することにより、より計測の精度を高めるものである。
上述した実施形態のパターン合わせずれ計測方法の一連の手順は、コンピュータに実行させるプログラムに組み込み、フレキシブルディスクやCD−ROM等の記録媒体に収納してコンピュータに読込ませて実行させても良い。これにより、本発明にかかるパターン合わせずれ計測方法を画像処理可能な汎用コンピュータを用いて実現することができる。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の携帯可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でも良い。また、上述したパターン合わせずれ計測方法の一連の手順を組込んだプログラムをインターネット等の通信回線(無線通信を含む)を介して頒布しても良い。さらに、上述したパターン合わせずれ計測方法の一連の手順を組込んだプログラムを暗号化したり、変調をかけたり、圧縮した状態で、インターネット等の有線回線や無線回線を介して、または記録媒体に収納して頒布しても良い。
上述したパターン合わせずれ計測方法を半導体装置の製造工程中で使用すれば、パターンの合わせずれを高い精度で短時間に計測することができるので、より高い歩留まりおよびスループットで半導体装置を製造することができる。
B1,B2:基準画像
CP1,CP2:複合パターン
Da:複合パターンの設計データ
Ge1〜Ge6:輪郭グループ
EP1〜EP4:要素パターン
RP1〜RP4:基準パターン
Claims (5)
- 複数の種類の要素パターンを重ね合わせて形成される複合パターンの検査画像を取得する手順と、
前記要素パターンの基準パターンの画像である基準画像を少なくとも2種類の前記要素パターンについて取得する手順と、
前記検査画像と前記基準画像のそれぞれとの間でマッチングを実行する第1のマッチング手順と、
前記第1のマッチング手順によるマッチング結果に基づいて前記複合パターンにおける各要素パターン間の合わせずれを出力する手順と、
を備える、パターン合わせずれ計測方法。 - 前記検査画像から各要素パターンの輪郭を選択的に取得する手順をさらに備え、
前記マッチングは、前記選択的に取得された輪郭と、前記選択的に取得された輪郭に対応する前記基準画像とのマッチングである、ことを特徴とする請求項1に記載のパターン合わせずれ計測方法。 - 前記第1のマッチング手順によるマッチング結果から、前記検査画像中の輪郭点がマッチングに影響を及ぼす度合いの大きさを重要度として出力する手順と、
前記重要度に関する閾値を用いて前記検査画像中の輪郭点を分別する手順と、
前記検査画像中の輪郭点から前記重要度が低いと分別された輪郭点を削除する手順と、
削除された輪郭点以外の前記検査画像中の輪郭点について、対応する前記基準画像のそれぞれとのマッチングを実行する第2のマッチング手順と、
をさらに備える請求項1または2に記載のパターン合わせずれ計測方法。 - グルーピングにより前記検査画像の輪郭から輪郭グループを生成する手順と、
前記第1のマッチング手順によるマッチング結果から、各輪郭グループがマッチングに影響を及ぼす度合いの大きさを重要度として出力する手順と、
前記重要度に関する閾値を用いて輪郭グループを分別する手順と、
前記検査画像の輪郭グループから前記重要度が低いと分別された輪郭グループを削除する手順と、
削除された輪郭グループ以外の前記検査画像中の輪郭グループについて、対応する前記基準画像のそれぞれとのマッチングを実行する第2のマッチング手順と、
をさらに備える請求項1または2に記載のパターン合わせずれ計測方法。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載のパターン合わせずれ計測方法をコンピュータに実行させるプログラム。
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