JP2007292675A - 信頼性試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の被試験部材1に流れるリーク電流を電流検出手段20により検出して前記被試験部材の信頼性を評価する信頼性試験装置であって、前記被試験部材からリーク電流が基準値を超えて流れた場合に、前記被試験部材と前記電流検出手段とを遮断する遮断手段30を設け、この遮断手段は半導体デバイスによって構成してあることを特徴とする信頼性試験装置。
【選択図】図1
Description
2 直流電源
10 試験槽
20 抵抗(電流検出手段)
30 半導体デバイス(遮断手段)
40 ダイオード群(電圧クランプ手段)
41 ツェナーダイオード(電圧クランプ手段)
51 シャントレギュレータ
52,53,57,58,59,61,63,64 抵抗
54 スイッチ素子
55 サイリスタ
56 駆動電源
60,62 ダイオード
Claims (7)
- 複数の被試験部材に流れるリーク電流を電流検出手段により検出して前記被試験部材の信頼性を評価する信頼性試験装置であって、
前記被試験部材からリーク電流が基準値を超えて流れた場合に、前記被試験部材と前記電流検出手段とを遮断する遮断手段を設け、この遮断手段は半導体デバイスによって構成してあることを特徴とする信頼性試験装置。 - 前記遮断手段は電圧駆動型の半導体デバイスで構成してあることを特徴とする請求項1記載の信頼性試験装置。
- 前記遮断手段はMOSFET又はIGBTで構成してあることを特徴とする請求項2記載の信頼性試験装置。
- 前記電流検出手段の電位差を前記半導体デバイスの制御端子許容電圧より小さく設定してあることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の信頼性試験装置。
- 前記電流検出手段と並列に電圧クランプ手段を接続してあることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の信頼性試験装置。
- 前記電圧クランプ手段は複数のダイオードを順方向に直列に接続して構成してあることを特徴とする請求項5記載の信頼性試験装置。
- 前記電圧クランプ手段はツェナーダイオードで構成してあることを特徴とする請求項5記載の信頼性試験装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105742200A (zh) * | 2016-02-26 | 2016-07-06 | 上海华力微电子有限公司 | 一种提升经时击穿测试有效性的方法 |
JPWO2019244465A1 (ja) * | 2018-06-21 | 2020-09-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体素子の信頼性評価装置および半導体素子の信頼性評価方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57191573A (en) * | 1981-05-22 | 1982-11-25 | Hitachi Ltd | Measuring method of electronic circuit |
JPS584081U (ja) * | 1981-07-02 | 1983-01-11 | 日本電気株式会社 | 半導体素子試験装置 |
JPS6064273U (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-07 | 日本電気株式会社 | 半導体試験装置 |
JPH01118378U (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-10 | ||
JPH07182896A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-21 | Nec Corp | 自己過電流保護回路 |
-
2006
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57191573A (en) * | 1981-05-22 | 1982-11-25 | Hitachi Ltd | Measuring method of electronic circuit |
JPS584081U (ja) * | 1981-07-02 | 1983-01-11 | 日本電気株式会社 | 半導体素子試験装置 |
JPS6064273U (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-07 | 日本電気株式会社 | 半導体試験装置 |
JPH01118378U (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-10 | ||
JPH07182896A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-21 | Nec Corp | 自己過電流保護回路 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105742200A (zh) * | 2016-02-26 | 2016-07-06 | 上海华力微电子有限公司 | 一种提升经时击穿测试有效性的方法 |
JPWO2019244465A1 (ja) * | 2018-06-21 | 2020-09-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体素子の信頼性評価装置および半導体素子の信頼性評価方法 |
CN112334783A (zh) * | 2018-06-21 | 2021-02-05 | 三菱电机株式会社 | 半导体元件的可靠性评价装置和半导体元件的可靠性评价方法 |
JP2021063836A (ja) * | 2018-06-21 | 2021-04-22 | 三菱電機株式会社 | 半導体素子の信頼性評価装置および半導体素子の信頼性評価方法 |
JP7090757B2 (ja) | 2018-06-21 | 2022-06-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体素子の信頼性評価装置および半導体素子の信頼性評価方法 |
US11808801B2 (en) | 2018-06-21 | 2023-11-07 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device reliability evaluation apparatus and semiconductor device reliability evaluation method |
CN112334783B (zh) * | 2018-06-21 | 2024-03-22 | 三菱电机株式会社 | 半导体元件的可靠性评价装置和半导体元件的可靠性评价方法 |
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