JP2014157035A - 電子部品検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】出力電流が小さい場合の検査タクトタイムをより短くする。
【解決手段】電子部品を検査する電子部品検査装置は、第１電圧が一端に供給され、制御端子と他端の間の電圧に応じた値の電流を流す第１のトランジスタと、第１電圧が一端に供給され、制御端子と他端の間の電圧に応じた値の電流を流す、第１のトランジスタより応答速度が遅く且つ電流駆動能力が大きい少なくとも１つの第２のトランジスタと、第１及び第２のトランジスタの他端に一端が接続された電流検出抵抗と、電流検出抵抗の他端に接続され、電子部品の一端を接続可能な第１の検査端子と、第２電圧が供給され、電子部品の他端を接続可能な第２の検査端子と、電流検出抵抗の両端間の検出電圧に基づいて、電流検出抵抗に流れる出力電流が外部から設定された設定電流になるように、第１及び第２のトランジスタの制御端子の電圧を制御する制御回路と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、定電流を出力して電子部品を検査する電子部品検査装置に関する。

ダイオードなどの電子部品に定電流を流して、順方向電圧ＶＦなどの静特性を検査する電子部品検査装置が知られている。図２は、従来の電子部品検査装置の回路図である。図２に示すように、この電子部品検査装置は、出力電流Ｉｏｕｔを出力するＮ型ＭＯＳＦＥＴ１０と、設定電圧Ｖｉｎに基づいてこのＮ型ＭＯＳＦＥＴ１０のゲートを駆動する駆動用演算増幅器ＯＰ１０と、出力電流Ｉｏｕｔに基づいて駆動用演算増幅器ＯＰ１０に負帰還をかける負帰還用演算増幅器ＯＰ１１とを備え、出力電流Ｉｏｕｔを、設定電圧Ｖｉｎに応じた任意の定電流に制御する。

検査方法としては、検査対象のダイオードＤＵＴを電子部品検査装置の検査端子Ｔ１，Ｔ２間に接続してスイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにすると、定電流の出力電流ＩｏｕｔがダイオードＤＵＴに流れる。この状態で、検査端子Ｔ１，Ｔ２間の電圧を電圧測定部１で測定することにより、ダイオードＤＵＴの順方向電圧ＶＦの検査が行われる。検査後、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオフにしてダイオードＤＵＴを次の検査対象のものに交換する。このようにして複数のダイオードを１個ずつ検査する。特性が異なる複数種類のダイオードの検査に対応するため、この電子部品検査装置は、設定電圧Ｖｉｎに応じて異なる出力電流Ｉｏｕｔを供給できる。

上記電子部品検査装置において、検査タクトを短くすることが望ましい。例えば、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにした後、出力電流Ｉｏｕｔが定電流に安定するまでの時間を短くすることにより、検査タクトを短くできる。
なお、定電流を出力する回路としては、例えば、特許文献１に記載の回路も知られている。

特開２００１−３３９２５８号公報

しかしながら、上記従来の電子部品検査装置では、検査に必要な最大の出力電流Ｉｏｕｔから最小の出力電流Ｉｏｕｔまでを１つのＮ型ＭＯＳＦＥＴ１０によって供給しているため、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ１０として、最大の出力電流Ｉｏｕｔを供給可能な素子を用いる必要がある。このようなＮ型ＭＯＳＦＥＴ１０は、サイズが大きく、応答速度が遅いものである。従って、このようなＮ型ＭＯＳＦＥＴ１０の応答速度に起因して、出力電流Ｉｏｕｔが小さい場合であっても出力電流Ｉｏｕｔが定電流に安定するまでの時間を十分に短くできない。

そこで、本発明は、出力電流が小さい場合の検査タクトタイムをより短くできる電子部品検査装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る電子部品検査装置は、
電子部品を検査する電子部品検査装置であって、
第１電圧が一端に供給され、制御端子と他端の間の電圧に応じた値の電流を流す第１のトランジスタと、
前記第１電圧が一端に供給され、制御端子と他端の間の電圧に応じた値の電流を流す、前記第１のトランジスタより応答速度が遅く且つ電流駆動能力が大きい少なくとも１つの第２のトランジスタと、
前記第１及び第２のトランジスタの他端に一端が接続された電流検出抵抗と、
前記電流検出抵抗の他端に接続され、前記電子部品の一端を接続可能な第１の検査端子と、
第２電圧が供給され、前記電子部品の他端を接続可能な第２の検査端子と、
前記電流検出抵抗の両端間の検出電圧に基づいて、前記電流検出抵抗に流れる出力電流が外部から設定された設定電流になるように、前記第１及び第２のトランジスタの制御端子の電圧を制御する制御回路と、を備える
ことを特徴とする。

また、前記電子部品検査装置において、
前記設定電流が第１の電流値の場合に、前記第１のトランジスタが電流を流し、前記第２のトランジスタが電流を流さず、一方、前記設定電流が前記第１の電流値より大きい第２の電流値の場合に、前記第１及び第２のトランジスタが電流を流すように、前記第１及び第２のトランジスタの電流駆動能力は設定されていてもよい。

また、前記電子部品検査装置において、
前記第１及び第２のトランジスタは、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴであり、
前記第１電圧は電源電圧であり、前記第２電圧は接地電圧であり、
前記制御回路は、
前記設定電流に対応した設定電圧が一端に供給される第１の抵抗と、
前記第１の抵抗の他端に非反転入力端子が接続され、前記第１及び第２のトランジスタの制御端子に出力端子が接続された演算増幅器と、
前記非反転入力端子に一端が接続され、前記電流検出抵抗の他端に他端が接続された第２の抵抗と、
接地電圧が一端に供給され、前記演算増幅器の反転入力端子に他端が接続された第３の抵抗と、
前記反転入力端子に一端が接続され、前記電流検出抵抗の一端に他端が接続された第４の抵抗と、を有してもよい。

また、前記電子部品検査装置において、
前記第１及び第２のトランジスタの制御端子に第１端子が接続され、前記第１及び第２のトランジスタの前記他端に第２端子が接続され、前記第１端子と前記第２端子の間の電圧を制限電圧以下に制限する少なくとも１つの電圧制限素子を備えてもよい。

また、前記電子部品検査装置において、
前記第１のトランジスタの他端と、前記電流検出抵抗の一端及び前記電圧制限素子の他端の接続点との間に接続された第１の電流制限抵抗と、
前記第２のトランジスタの他端と、前記電流検出抵抗の一端及び前記電圧制限素子の他端の接続点との間に接続された第２の電流制限抵抗と、を備えてもよい。

また、前記電子部品検査装置において、
前記制限電圧は、前記出力電流が前記設定電流と等しい時の前記第１及び第２のトランジスタの制御端子と前記電流検出抵抗の一端との間の電圧より高くてもよい。

本発明によれば、第１のトランジスタと、第１のトランジスタより応答速度が遅く且つ電流駆動能力が大きい少なくとも１つの第２のトランジスタを並列接続しているので、設定電流が小さい場合、第１のトランジスタのみがオンして出力電流を流すようにできる。また、設定電流が大きい場合、第１のトランジスタと第２のトランジスタの両方がオンして設定電流に応じた出力電流を流すようにできる。
第１のトランジスタは第２のトランジスタより応答速度が速いので、設定電流が小さい場合、より短時間で定電流の出力電流を得られる。即ち、設定電流が小さい場合、より矩形波に近い出力電流を得ることが可能となるので、理想的な測定を行うことができる。従って、出力電流が小さい場合の検査タクトタイムをより短くできる。

本発明の一実施形態に係る電子部品検査装置の回路図である。 従来の電子部品検査装置の回路図である。

以下に、図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。この実施形態は、本発明を限定するものではない。

図１は、本発明の一実施形態に係る電子部品検査装置の回路図である。図１に示すように、電子部品検査装置は、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴである第１のトランジスタＴＲ１と、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴである第２のトランジスタＴＲ２と、電流検出抵抗Ｒｉと、スイッチＳＷ１，ＳＷ２と、第１の検査端子Ｔ１と、第２の検査端子Ｔ２と、電圧測定部１と、制御回路２と、ツェナーダイオード（電圧制限素子）ＺＤ１，ＺＤ２と、第１の電流制限抵抗ＲＬ１と、第２の電流制限抵抗ＲＬ２と、を備える。

電子部品検査装置は、第１及び第２の検査端子Ｔ１，Ｔ２間に接続される電子部品ＤＵＴを検査するものである。以下、電子部品ＤＵＴはダイオードであるとして説明するが、これに限られない。

第１のトランジスタＴＲ１は、電源電圧（第１電圧）ＶＣＣがドレイン（一端）に供給され、ゲート（制御端子）とソース（他端）の間の電圧に応じた値の電流を流す。

第２のトランジスタＴＲ２は、電源電圧ＶＣＣがドレイン（一端）に供給され、ゲート（制御端子）とソース（他端）の間の電圧に応じた値の電流を流す。第２のトランジスタＴＲ２は、第１のトランジスタＴＲ１より応答速度が遅く且つ電流駆動能力が大きい。つまり、第２のトランジスタＴＲ２は、第１のトランジスタＴＲ１よりサイズが大きい。
第１のトランジスタＴＲ１のゲートは、第２のトランジスタＴＲ２のゲートに接続されている。

電流検出抵抗Ｒｉは、第１の電流制限抵抗ＲＬ１を介して第１のトランジスタＴＲ１のソースに一端が接続されていると共に、第２の電流制限抵抗ＲＬ２を介して第２のトランジスタＴＲ２のソースに一端が接続されている。

第１の検査端子Ｔ１は、スイッチＳＷ１を介して電流検出抵抗Ｒｉの他端に接続され、ダイオードＤＵＴのアノード（一端）を接続可能になっている。

第２の検査端子Ｔ２は、スイッチＳＷ２を介して接地電圧（第２電圧）ＧＮＤが供給され、ダイオードＤＵＴのカソード（他端）を接続可能になっている。
電圧測定部１は、第１及び第２の検査端子Ｔ１，Ｔ２間の電圧を測定する。

制御回路２は、電流検出抵抗Ｒｉの両端間の検出電圧Ｖｄｅｔに基づいて、電流検出抵抗Ｒｉに流れる出力電流Ｉｏｕｔが外部から設定された設定電流になるように、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２のゲートの電圧Ｖｇを制御する。

具体的には、制御回路２は、演算増幅器ＯＰ１と、第１の抵抗Ｒ１と、第２の抵抗Ｒ２と、第３の抵抗Ｒ３と、第４の抵抗Ｒ４と、を有する。

第１の抵抗Ｒ１は、設定電流に対応した設定電圧Ｖｉｎが一端に供給される。
演算増幅器ＯＰ１は、第１の抵抗Ｒ１の他端に非反転入力端子が接続され、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２のゲートに出力端子が接続されている。

第２の抵抗Ｒ２は、演算増幅器ＯＰ１の非反転入力端子に一端が接続され、電流検出抵抗Ｒｉの他端に他端が接続されている。
第３の抵抗Ｒ３は、接地電圧ＧＮＤが一端に供給され、演算増幅器ＯＰ１の反転入力端子に他端が接続されている。
第４の抵抗Ｒ４は、演算増幅器ＯＰ１の反転入力端子に一端が接続され、電流検出抵抗Ｒｉの一端に他端が接続されている。

設定電流が第１の電流値の場合に、第１のトランジスタＴＲ１が電流を流し、第２のトランジスタＴＲ２が電流を流さず、一方、設定電流が第１の電流値より大きい第２の電流値の場合に、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２が電流を流すように、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２の電流駆動能力は設定されている。即ち、第１のトランジスタＴＲ１のサイズは、第２のトランジスタＴＲ２のサイズより小さい。

ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２は、それぞれ、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２のゲートにカソード（第１端子）が接続され、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２のソースにアノード（第２端子）が接続され、カソードとアノードの間の電圧をツェナー電圧（制限電圧）以下に制限する。即ち、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２は並列接続されている。

ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のツェナー電圧は、出力電流Ｉｏｕｔが設定電流と等しい時の第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２のゲートと電流検出抵抗Ｒｉの一端との間の電圧より高い。これにより、出力電流Ｉｏｕｔが設定電流に制御されている通常動作時には、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２は導通しない。

ツェナーダイオードは少なくとも１つ設ければよいが、本実施形態では、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２と同数の２つのツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２を設けている。２つのツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のうちの一方が壊れても、電流を制限できるため安全である。回路配置としては、ツェナーダイオードＺＤ１を第１のトランジスタＴＲ１の近くに配置し、ツェナーダイオードＺＤ２を第２のトランジスタＴＲ２の近くに配置してもよい。これにより、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２をバランスよく配置できる。

第１の電流制限抵抗ＲＬ１は、第１のトランジスタＴＲ１のソースと、電流検出抵抗Ｒｉの一端及びツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のアノードの接続点との間に接続されている。

第２の電流制限抵抗ＲＬ２は、第２のトランジスタＴＲ２のソースと、電流検出抵抗Ｒｉの一端及びツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２のアノードの接続点との間に接続されている。

次に、この電子部品検査装置の動作を説明する。
まず、検査対象のダイオードＤＵＴを第１及び第２の検査端子Ｔ１，Ｔ２間に接続して、接続したダイオードＤＵＴの特性に応じた設定電流を設定電圧Ｖｉｎによって設定する。そして、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにすると、制御回路２が検出電圧Ｖｄｅｔに基づいて第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２のゲートの電圧Ｖｇを制御することによって、設定電流と等しい出力電流ＩｏｕｔがダイオードＤＵＴに流れる。この状態で、電圧測定部１によりダイオードＤＵＴの順方向電圧ＶＦを測定し、順方向電圧ＶＦが所望の範囲内であるか否か判定することにより、ダイオードＤＵＴを検査する。

検査後、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオフにしてダイオードＤＵＴを次の検査対象のものに交換し、以上と同様に検査する。このようにして複数のダイオードを１個ずつ検査する。

ここで、設定電流が小さい第１の電流値の場合に、前述のように、第１のトランジスタＴＲ１が電流を流し、第２のトランジスタＴＲ２は電流を流さない。第１のトランジスタＴＲ１は第２のトランジスタＴＲ２より応答速度が速いので、この場合、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにした後、より短時間で第１の電流値の定電流の出力電流Ｉｏｕｔを得られる。

一方、設定電流が第１の電流値より大きい第２の電流値の場合に、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２が電流を流す。よって、設定電流に応じた大きな出力電流Ｉｏｕｔを流すようにできる。この場合、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにした後、設定電流が第１の電流値の場合よりも長い時間で、第２の電流値の定電流の出力電流Ｉｏｕｔが得られる。

このように、この電子部品検査装置は、設定電圧Ｖｉｎに応じた出力電流Ｉｏｕｔを供給できるため、特性が異なる複数種類のダイオードの検査に対応できる。

ところで、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにした直後、出力電流Ｉｏｕｔは設定電流と比較して十分に小さいため、制御回路２は、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２のゲートの電圧Ｖｇを最大値に制御しようとする。この最大値は、演算増幅器ＯＰ１の電源電圧によって決まる。しかし、本実施形態では、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２を備えることにより、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２のゲートの電圧Ｖｇと、電流検出抵抗Ｒｉの一端との間の電圧は、ツェナー電圧以下に制限される。従って、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにした直後、過大な出力電流Ｉｏｕｔが第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２やダイオードＤＵＴに流れる恐れがないため、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２とダイオードＤＵＴを破壊する恐れがない。

さらに、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにした直後、ツェナーダイオードＺＤ１，ＺＤ２が電圧Ｖｇと電流検出抵抗Ｒｉの一端との間の電圧をツェナー電圧に制限する前に、第１のトランジスタＴＲ１が過大な電流を流そうとしても、第１の電流制限抵抗ＲＬ１の両端間の電圧降下により、第１のトランジスタＴＲ１のゲートとソース間の電圧は低減される。同様に、第２のトランジスタＴＲ２が過大な電流を流そうとしても、第２の電流制限抵抗ＲＬ２の両端間の電圧降下により、第２のトランジスタＴＲ２のゲートとソース間の電圧は低減される。従って、このような動作によっても、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにした直後、過大な出力電流Ｉｏｕｔを流さないようにできる。

以上で説明したように、本実施形態によれば、第１のトランジスタＴＲ１と、第１のトランジスタＴＲ１より応答速度が遅く且つ電流駆動能力が大きい第２のトランジスタＴＲ２を並列接続しているので、設定電流が小さい場合、第１のトランジスタＴＲ１のみがオンして出力電流Ｉｏｕｔを流すようにできる。また、設定電流が大きい場合、第１のトランジスタＴＲ１と第２のトランジスタＴＲ２の両方がオンして設定電流に応じた出力電流Ｉｏｕｔを流すようにできる。

第１のトランジスタＴＲ１は第２のトランジスタＴＲ２より応答速度が速いので、設定電流が小さい場合、より短時間で定電流の出力電流Ｉｏｕｔを得られる。従って、出力電流Ｉｏｕｔが小さい場合、スイッチＳＷ１，ＳＷ２をオンにした後、出力電流Ｉｏｕｔが定電流に安定するまでの時間をより短くできる。即ち、設定電流が小さい場合、より矩形波に近い出力電流Ｉｏｕｔを得ることが可能となるので、ダイオードＤＵＴの順方向電圧ＶＦの理想的な測定を行うことができる。よって、出力電流Ｉｏｕｔが小さい場合の検査タクトタイムをより短くできる。

また、１つの演算増幅器ＯＰ１のみで出力電流Ｉｏｕｔを制御するようにしているので、従来の図２のような２つの演算増幅器ＯＰ１０，ＯＰ１１を用いる回路と比較して、発振を抑えることができる。

なお、１つの第２のトランジスタＴＲ２を備える一例について説明したが、２つ以上の第２のトランジスタＴＲ２を備えてもよい。つまり、電子部品検査装置は、少なくとも１つの第２のトランジスタＴＲ２を備えればよい。２つ以上の第２のトランジスタＴＲ２を備えることにより、より大きな出力電流Ｉｏｕｔを流すことができる。
２つ以上の第２のトランジスタＴＲ２を備える場合、それぞれの第２のトランジスタＴＲ２に対してツェナーダイオードＺＤ２と第２の電流制限抵抗ＲＬ２を設けてもよい。

また、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２は、Ｐ型ＭＯＳＦＥＴでもよい。この場合、電源電圧ＶＣＣと接地電圧ＧＮＤを逆にすればよく、即ち第１電圧は接地電圧であり、第２電圧は電源電圧である。この場合も基本的な動作原理は同じである。また、第１及び第２のトランジスタＴＲ１，ＴＲ２は、バイポーラトランジスタでもよい。

本発明の態様は、上述した個々の実施形態に限定されるものではなく、当業者が想到しうる種々の変形も含むものであり、本発明の効果も上述した内容に限定されない。すなわち、特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。

ＴＲ１ 第１のトランジスタ
ＴＲ２ 第２のトランジスタ
Ｒｉ 電流検出抵抗
ＳＷ１，ＳＷ２ スイッチ
Ｔ１ 第１の検査端子
Ｔ２ 第２の検査端子
１ 電圧測定部
２ 制御回路
ＺＤ１，ＺＤ２ ツェナーダイオード（電圧制限素子）
ＲＬ１ 第１の電流制限抵抗
ＲＬ２ 第２の電流制限抵抗
ＯＰ１ 演算増幅器
Ｒ１ 第１の抵抗
Ｒ２ 第２の抵抗
Ｒ３ 第３の抵抗
Ｒ４ 第４の抵抗

Claims (6)

1. 電子部品を検査する電子部品検査装置であって、
   第１電圧が一端に供給され、制御端子と他端の間の電圧に応じた値の電流を流す第１のトランジスタと、
   前記第１電圧が一端に供給され、制御端子と他端の間の電圧に応じた値の電流を流す、前記第１のトランジスタより応答速度が遅く且つ電流駆動能力が大きい少なくとも１つの第２のトランジスタと、
   前記第１及び第２のトランジスタの他端に一端が接続された電流検出抵抗と、
   前記電流検出抵抗の他端に接続され、前記電子部品の一端を接続可能な第１の検査端子と、
   第２電圧が供給され、前記電子部品の他端を接続可能な第２の検査端子と、
   前記電流検出抵抗の両端間の検出電圧に基づいて、前記電流検出抵抗に流れる出力電流が外部から設定された設定電流になるように、前記第１及び第２のトランジスタの制御端子の電圧を制御する制御回路と、を備える
   ことを特徴とする電子部品検査装置。
2. 前記設定電流が第１の電流値の場合に、前記第１のトランジスタが電流を流し、前記第２のトランジスタが電流を流さず、一方、前記設定電流が前記第１の電流値より大きい第２の電流値の場合に、前記第１及び第２のトランジスタが電流を流すように、前記第１及び第２のトランジスタの電流駆動能力は設定されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品検査装置。
3. 前記第１及び第２のトランジスタは、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴであり、
   前記第１電圧は電源電圧であり、前記第２電圧は接地電圧であり、
   前記制御回路は、
   前記設定電流に対応した設定電圧が一端に供給される第１の抵抗と、
   前記第１の抵抗の他端に非反転入力端子が接続され、前記第１及び第２のトランジスタの制御端子に出力端子が接続された演算増幅器と、
   前記非反転入力端子に一端が接続され、前記電流検出抵抗の他端に他端が接続された第２の抵抗と、
   接地電圧が一端に供給され、前記演算増幅器の反転入力端子に他端が接続された第３の抵抗と、
   前記反転入力端子に一端が接続され、前記電流検出抵抗の一端に他端が接続された第４の抵抗と、を有する
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電子部品検査装置。
4. 前記第１及び第２のトランジスタの制御端子に第１端子が接続され、前記第１及び第２のトランジスタの前記他端に第２端子が接続され、前記第１端子と前記第２端子の間の電圧を制限電圧以下に制限する少なくとも１つの電圧制限素子を備える
   ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の電子部品検査装置。
5. 前記第１のトランジスタの他端と、前記電流検出抵抗の一端及び前記電圧制限素子の他端の接続点との間に接続された第１の電流制限抵抗と、
   前記第２のトランジスタの他端と、前記電流検出抵抗の一端及び前記電圧制限素子の他端の接続点との間に接続された第２の電流制限抵抗と、を備える
   ことを特徴とする請求項４に記載の電子部品検査装置。
6. 前記制限電圧は、前記出力電流が前記設定電流と等しい時の前記第１及び第２のトランジスタの制御端子と前記電流検出抵抗の一端との間の電圧より高い
   ことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の電子部品検査装置。

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