JP2007290027A - セラミック部材と金属部材との接合体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のセラミック部材と金属部材の接合体は、表面にメタライズ層2が形成されたセラミック部材1と、メタライズ層2にろう材5を介して接合された金属部材4とから成り、メタライズ層2とろう材5とをガラスを含む被覆材6で気密に覆ったものである。メタライズ層2とろう材5とが被覆材6により保護され、400℃以上の高温の酸化雰囲気でもメタライズ層2とろう材5とが酸化されて劣化するのを防止することができる。
【選択図】 図1
Description
1a:凹部
2:メタライズ層
3:金属層
4:金属部材
5:ろう材
6:被覆材
Claims (7)
- 表面にメタライズ層が形成されたセラミック部材と、前記メタライズ層にろう材を介して接合された金属部材とから成るセラミック部材と金属部材との接合体であって、前記メタライズ層と前記ろう材とがガラスを含む被覆材で気密に覆われていることを特徴とするセラミック部材と金属部材との接合体。
- 前記被覆材に含まれる前記ガラスは、バリウム珪酸ガラス,ホウ珪酸ガラス,アルミノ珪酸ガラスまたはこれらのうち少なくとも2種のガラスを含む混合物であることを特徴とする請求項1記載のセラミック部材と金属部材との接合体。
- 前記被覆材は、前記ガラスと二珪化物とを含むことを特徴とする請求項1または請求項2記載のセラミック部材と金属部材との接合体。
- 前記メタライズ層はタングステンまたはモリブデンを主成分とするとともに、前記メタライズ層の上面にニッケルを主成分とする金属層が被着されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のセラミック部材と金属部材との接合体。
- 前記金属部材がステンレス鋼またはニッケル合金から成ることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のセラミック部材と金属部材との接合体。
- 前記被覆材の軟化温度が800℃以上で熱膨張率が5×10−6〜10×10−6(1/K)であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のセラミック部材と金属部材との接合体。
- 前記セラミック部材の表面に凹部が設けられ、該凹部の底面に前記メタライズ層が形成されており、前記凹部の底面の前記メタライズ層に前記金属部材がろう材を介して接合され、かつメタライズ層とろう材を気密に覆うように前記凹部内に前記被覆材が接合されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のセラミック部材と金属部材との接合体。
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