JP2007266490A - 基板の処理方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバ内に所望の処理により汚染された半導体基板を設置した後、この半導体基板を加熱しながら、その半導体基板にフッ化水素および水の蒸気を含む第1ガスを供給して洗浄する工程と、同一チャンバ内で半導体基板に水およびアルコールから選ばれる少なくとも1つの蒸気を含む第2ガスを供給したリンスする工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【選択図】 図2
Description
同一チャンバ内で前記被処理基板に水およびアルコールから選ばれる少なくとも1つの蒸気を含む第2ガスを供給する工程と
を含むことを特徴とする基板の処理方法が提供される。
前記マスクを用いて、前記絶縁膜を選択的にエッチングする工程と、
チャンバ内に前記半導体基板を設置した後、前記基板を加熱しながら、前記マスクにフッ化水素および水の蒸気を含む第1ガスを供給してエッチング除去する工程と、
同一チャンバ内で、前記半導体基板に、水およびアルコールから選ばれる少なくとも1つの蒸気を含む第2ガスを供給する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
まず、チャンバ内において、例えばホット支持プレートに所望の処理により汚染された半導体基板を設置する。つづいて、前記半導体基板をポット支持プレートで加熱しながら、その半導体基板にフッ化水素および水の蒸気を含む第1ガスを供給して洗浄する。
まず、半導体基板上の絶縁膜にこの絶縁膜に対して選択エッチング性を有するシリコン含有無機材料からなるハードマスクを形成する。つづいて、前記ハードマスクを用いて前記絶縁膜を選択的にエッチングする。
以下、前述した処理装置を用いて半導体装置(例えばNAND型EEPROM)の製造方法を図面を参照して説明する。
Claims (7)
- チャンバ内に被処理基板を設置した後、この基板を加熱しながらその基板にフッ化水素および水の蒸気を含む第1ガスを供給して洗浄する工程と、
同一チャンバ内で前記被処理基板に水およびアルコールから選ばれる少なくとも1つの蒸気を含む第2ガスを供給する工程と
を含むことを特徴とする基板の処理方法。 - 前記フッ化水素および水の蒸気を含むガスは、前記フッ化水素と水の蒸気と不活性ガスとの混合ガスであることを特徴とする請求項1記載の基板の処理方法。
- 水およびアルコールから選ばれる少なくとも1つの蒸気を含むガスは、水およびアルコールから選ばれる少なくとも1つの蒸気と不活性ガスとの混合ガスであることを特徴とする請求項1記載の基板の処理方法。
- 水およびアルコールから選ばれる少なくとも1つの蒸気を含むガスでリンスした後、さらに同一チャンバ内で前記基板を加熱しながらその基板に不活性ガスを供給して乾燥処理することを特徴とする請求項1記載の基板の処理方法。
- 半導体基板上の絶縁膜に、この絶縁膜に対して選択エッチング性を有するシリコン含有無機材料からなるマスクを形成する工程と、
前記マスクを用いて前記絶縁膜を選択的にエッチングする工程と、
チャンバ内に前記半導体基板を設置した後、前記基板を加熱しながら、前記マスクにフッ化水素および水の蒸気を含む第1ガスを供給してエッチング除去する工程と、
同一チャンバ内で、前記半導体基板に、水およびアルコールから選ばれる少なくとも1つの蒸気を含む第2ガスを供給する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜が酸化シリコン膜で、前記シリコン含有無機材料がリン、ボロンおよびリンボロンのいずれかの元素を添加した酸化シリコン膜であることを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 水およびアルコールから選ばれる少なくとも1つの蒸気を含むガスでリンスした後、さらに同一チャンバ内で前記基板を加熱しながらその基板に不活性ガスを供給して乾燥処理することを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
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