JP2007250792A - 半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この発明にかかるHEMT100は、基板1の上部に形成された化合物半導体層の電子供給層5の上部に、ソース電極6とゲート電極7とドレイン電極8と絶縁膜9,10とを有する。ソース電極6、ゲート電極7、およびドレイン電極8と絶縁膜10との各接合界面には窒化物系の接合膜11a,11d,11cが形成され、ゲート電極7と絶縁膜9との接合界面には窒化物系の接合膜11bが形成される。接合膜11a,11d,11cは、ソース電極6、ゲート電極7、およびドレイン電極8と絶縁膜10とをそれぞれ接合する。接合膜11bは、ゲート電極7と絶縁膜9とを接合する。
【選択図】 図1
Description
まず、この発明の実施の形態にかかる半導体素子について説明する。図1は、この発明の実施の形態にかかる半導体素子の一構成例を示す断面模式図である。図1に示すように、この実施の形態にかかる半導体素子の一例であるHEMT100は、サファイアまたはシリコン等の基板1上に、GaNからなるバッファ層2と、アンドープGaNからなる電子走行層3と、アンドープAlNからなる中間層4と、電子走行層3に比して薄くアンドープAl0.25Ga0.75Nからなる電子供給層5とを順次積層して形成された化合物半導体層を有する。
2,22 バッファ層
3 電子走行層
3a 2次元電子ガス層
4 中間層
5 電子供給層
6 ソース電極
7 ゲート電極
7a ショットキー電極層
7b フィールドプレート電極層
7c フィールドプレート部
8 ドレイン電極
9,10 絶縁膜
11a〜11d 接合膜
15,16 マスク
23 金属層
24 多層配線層
25 電極層
26,27 電極
28 絶縁膜
29a〜29d 接合膜
31〜38 金属配線
41〜44 絶縁膜
61〜73 接合膜
100 HEMT
200 半導体素子
Claims (8)
- 電極または金属配線を形成する金属部と該金属部を絶縁または保護する絶縁膜とを有する半導体素子において、
前記金属部と前記絶縁膜との接合界面に形成され、前記金属部と前記絶縁膜とを接合する窒化物系の接合膜を備えたことを特徴とする半導体素子。 - 前記絶縁膜は、SiO2、TiO2、ZrO2、Al2O3、HfO2、およびScO2の中から選択された酸化物を主成分にすることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記絶縁膜の膜厚は、0.5μm以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体素子。
- 前記接合膜は、SiまたはAlとNとを主成分にすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 前記接合膜の膜厚は、1nm以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 前記接合膜は、前記金属部または前記絶縁膜を厚さ方向に挟むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 前記金属部は、Ni、Pd、Ir、Pt、Au、Al、Mo、Ti、Cu、W、Cr、Ta、TaSi、およびAlSiの中から選択された少なくとも一つを含む金属材料によって形成されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 当該半導体素子は、電界効果トランジスタまたはダイオードであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の半導体素子。
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