JP5673501B2 - 化合物半導体装置 - Google Patents
化合物半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5673501B2 JP5673501B2 JP2011249015A JP2011249015A JP5673501B2 JP 5673501 B2 JP5673501 B2 JP 5673501B2 JP 2011249015 A JP2011249015 A JP 2011249015A JP 2011249015 A JP2011249015 A JP 2011249015A JP 5673501 B2 JP5673501 B2 JP 5673501B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- gate electrode
- electrode
- film
- hemt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
図2は、本発明の第1の実施形態による高出力電界効果トランジスタ20の構成を示す。
図7は、本発明の第2の実施形態による高出力電界効果トランジスタ40の構成を示す。
11,21,41 半絶縁性SiC基板
12,22,42 GaN電子走行層
12A,22A,42A 二次元電子ガス
13,23,43 AlGaNスペーサ層
14,24,44 AlGaN電子供給層
15,25,45 GaN層
16,26,46 ゲート電極
16A,26A Ni層
16B,26B Au層
17A,27A,47A ソース電極
17B,27B,47B ドレイン電極
18,28,49 パッシベーション膜
28A,28B パッシベーション膜部分
28a,28b パッシベーション膜端面
29,48 絶縁膜
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上方に形成された窒化物半導体よりなるキャリア走行層を含む半導体積層構造と、
前記半導体積層構造上方に形成されたゲート電極、ソース電極、ドレイン電極と、
前記半導体積層構造上方であって、前記ゲート電極と前記ソース電極の間、及び、前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間に形成された第一の絶縁膜と、
前記第一の絶縁膜のうち、前記ゲート電極と前記ソース電極の間、及び前記ゲート電極と前記ドレイン電極の間に形成された開口と、
前記開口内と前記第一の絶縁膜上に形成された、アルミナ、または窒化アルミニウム、または酸化ガリウム、または酸化ニッケル、または酸化銅よりなる第二の絶縁膜と、
を備え、前記第一の絶縁膜上の前記第二の絶縁膜の膜厚が前記第一の絶縁膜の膜厚よりも小さく、
前記キャリア走行層は、GaNであることを特徴とする化合物半導体装置。 - 前記第二の絶縁膜は、0.5nm以上、500nm以下の膜厚を有する請求項1に記載の化合物半導体装置。
- 前記第二の絶縁膜は、前記ゲート電極の側壁に接することを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置。
- 前記第一の絶縁膜は、SiNであることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置。
- 前記第二の絶縁膜は、アルミナであることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置。
- 前記第二の絶縁膜は、窒化アルミニウムであることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011249015A JP5673501B2 (ja) | 2011-11-14 | 2011-11-14 | 化合物半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011249015A JP5673501B2 (ja) | 2011-11-14 | 2011-11-14 | 化合物半導体装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008535222A Division JP5200936B2 (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012069978A JP2012069978A (ja) | 2012-04-05 |
JP5673501B2 true JP5673501B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=46166781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011249015A Active JP5673501B2 (ja) | 2011-11-14 | 2011-11-14 | 化合物半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5673501B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5662367B2 (ja) | 2012-03-26 | 2015-01-28 | 株式会社東芝 | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
JP5740356B2 (ja) * | 2012-06-20 | 2015-06-24 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP6240460B2 (ja) * | 2013-10-02 | 2017-11-29 | トランスフォーム・ジャパン株式会社 | 電界効果型化合物半導体装置及びその製造方法 |
WO2016151704A1 (ja) * | 2015-03-20 | 2016-09-29 | 株式会社日立製作所 | 窒化物半導体素子及び電力変換装置 |
WO2019008658A1 (ja) * | 2017-07-04 | 2019-01-10 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置、および、半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3348673B2 (ja) * | 1999-03-03 | 2002-11-20 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ |
JP4415531B2 (ja) * | 2002-09-06 | 2010-02-17 | サンケン電気株式会社 | 半導体素子とその製造方法 |
JP4385205B2 (ja) * | 2002-12-16 | 2009-12-16 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ |
JP4179539B2 (ja) * | 2003-01-15 | 2008-11-12 | 富士通株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
WO2005081304A1 (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-01 | Nec Corporation | 電界効果トランジスタ |
JP2006032552A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Toshiba Corp | 窒化物含有半導体装置 |
-
2011
- 2011-11-14 JP JP2011249015A patent/JP5673501B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012069978A (ja) | 2012-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5200936B2 (ja) | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 | |
JP5775321B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法、電源装置 | |
JP5114947B2 (ja) | 窒化物半導体装置とその製造方法 | |
JP5231719B2 (ja) | 電界効果トランジスタの製造方法 | |
JP5776217B2 (ja) | 化合物半導体装置 | |
TWI470803B (zh) | 化合物半導體裝置及其製造方法 | |
TWI480934B (zh) | 半導體裝置及製造半導體裝置之方法 | |
TWI492378B (zh) | 化合物半導體裝置及其製造方法 | |
US8598571B2 (en) | Method of manufacturing a compound semiconductor device with compound semiconductor lamination structure | |
TWI466291B (zh) | 半導體裝置及用於製造半導體裝置的方法 | |
JP5712583B2 (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 | |
TW201417280A (zh) | 化合物半導體裝置及其製造方法 | |
JP2006245317A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2008270521A (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JP2014011350A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009059946A (ja) | 化合物半導体装置およびその製造方法 | |
JP5673501B2 (ja) | 化合物半導体装置 | |
JP6343807B2 (ja) | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 | |
TW201545315A (zh) | 半導體裝置與其之製造方法 | |
JP5101143B2 (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP2019114581A (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 | |
JP5504660B2 (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 | |
JP6166508B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2017085059A (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 | |
JP2010010412A (ja) | 半導体素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140909 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141215 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5673501 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |