JP2007250540A - 異方性導電接着剤 - Google Patents

異方性導電接着剤 Download PDF

Info

Publication number
JP2007250540A
JP2007250540A JP2007058310A JP2007058310A JP2007250540A JP 2007250540 A JP2007250540 A JP 2007250540A JP 2007058310 A JP2007058310 A JP 2007058310A JP 2007058310 A JP2007058310 A JP 2007058310A JP 2007250540 A JP2007250540 A JP 2007250540A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
composition
weight percent
nano
salt
coated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007058310A
Other languages
English (en)
Inventor
Chih-Ming Cheng
チー−ミン・チェン
Jayesh P Shah
ジャイェッシュ・ピー・シャー
Bo Xia
ボ・シア
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Starch and Chemical Investment Holding Corp
Original Assignee
National Starch and Chemical Investment Holding Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by National Starch and Chemical Investment Holding Corp filed Critical National Starch and Chemical Investment Holding Corp
Publication of JP2007250540A publication Critical patent/JP2007250540A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J9/00Adhesives characterised by their physical nature or the effects produced, e.g. glue sticks
    • C09J9/02Electrically-conducting adhesives
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R4/00Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation
    • H01R4/04Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation using electrically conductive adhesives
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82BNANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
    • B82B3/00Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G59/00Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
    • C08G59/18Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
    • C08G59/20Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the epoxy compounds used
    • C08G59/22Di-epoxy compounds
    • C08G59/24Di-epoxy compounds carbocyclic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J163/00Adhesives based on epoxy resins; Adhesives based on derivatives of epoxy resins
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/20Conductive material dispersed in non-conductive organic material
    • H01B1/22Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
    • H05K3/323Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives by applying an anisotropic conductive adhesive layer over an array of pads
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/34Silicon-containing compounds
    • C08K3/36Silica
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0104Properties and characteristics in general
    • H05K2201/0129Thermoplastic polymer, e.g. auto-adhesive layer; Shaping of thermoplastic polymer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/02Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
    • H05K2201/0203Fillers and particles
    • H05K2201/0206Materials
    • H05K2201/0209Inorganic, non-metallic particles
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/02Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
    • H05K2201/0203Fillers and particles
    • H05K2201/0242Shape of an individual particle
    • H05K2201/0257Nanoparticles

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

【課題】 金属と有機基板に強力な接着力を付与し、安定且つ信頼性のある電気相互接続を生じる異方性導電接着剤を提供すること。
【解決手段】 本発明の接着剤は、低温における熱圧着結合時間が短いという利点を提供する。本接着剤は、カチオン硬化性樹脂、高速且つ低温で樹脂を熱硬化する潜在性カチオン触媒、導電性充填材、場合によりフィルム形成性熱可塑性固形樹脂及び場合によりナノサイズ充填材を含む。場合によって採用されてもよいナノ充填材は、熱エネルギー不整合係数を下げ、接着強度を改善し、系の総反応熱を下げるという利点をもたらす。
【選択図】 なし

Description

発明の詳細な説明
発明の分野
本発明は、電気的に安定な相互接続を提供するマイクロエレクトロニクスデバイスまたは半導体パッケージの導電性材料として使用するのに好適な組成物に関する。
発明の背景
導電性組成物は、半導体パッケージ及びマイクロエレクトロニクスデバイスの製造及びアセンブリで種々の目的に関して使用される。たとえば、導電性接着剤は、集積回路チップを基板(ダイ取付接着剤:die attach adhesive)にまたは回路アセンブリをプリント配線基板(表面搭載導電接着剤:surface mount conductive adhesive)に接着するのに使用される。
より具体的には、異方性導電接着剤は、チップオングラス・アセンブリ(chip-on-glass assebly)、フリップチップオン・フレックスアセンブリ(flip chip on flex assembly)、非接触型スマートカード・モジュールアセンブリ及び、柔軟基板または硬質基板上のバードチョップ接続(bard chp attach)を含む種々のエレクトロニクスハードウエアの内部連絡に使用されてきた。粒子の間に直接接触がないこと、パッケージ用途、特にフリップチップ用途の微細な内部接続ピッチのため、異方性導電接着剤は、アンダーフィル(underfill)の排除、低温加工、高I/O数という利点をもたらす。異方性導電接着剤を使用すると、その簡単且つ柔軟な処理機能により、コストを削減できる。さらに、異方性導電接着剤を使用することによって、危険な材料の含有量及び貴金属の使用を減らせるという環境的な利点が得られる。
異方性導電接着剤は、金属または金属コートされたポリマー粒子の微細な導電性充填材をもつ接着性ポリマーマトリックスからなる。粒子体積率は、浸透限界よりも十分に下であり、通常5〜10%であり、この粒子は通常、直径約3〜約10μmである。その低い体積率により、x-y平面の粒子には連続した導電性パスがない。従って、接着剤はz方向のみに電気を通す。
異方性導電接着剤の欠点は、これらが高い接着温度と長い接着時間を必要とするということである。さらに、保存寿命と可使時間(working life)が短いということもある。従って、半導体パッケージ操作用で使用するのに電気的に安定なアセンブリを形成する異方性導電接着剤を提供すると都合がよい。保存寿命と可使時間が長く、接着温度が低く、接着時間が短いという利点を提供する異方性導電接着剤を提供すると都合がよい。
発明の概要
本発明は、金属と有機基板に強力な接着力を付与し、安定且つ信頼性のある電気相互接続を生じる異方性導電接着剤を開示する。この接着剤は、低温における熱圧着結合時間(thermocompression bond time)が短いという利点を提供する。本接着剤は、カチオン硬化性樹脂、高速且つ低温で樹脂を熱硬化する潜在性カチオン触媒、導電性充填材、場合によりフィルム形成性熱可塑性固形樹脂及び場合によりナノサイズ充填材を含む。場合によって採用されてもよいナノサイズ充填材は、熱膨張の不整合係数を下げ、接着強度を改善し、系の総反応熱を下げるという利点をもたらす。
発明の詳細な説明
本発明の異方性導電接着剤は、迅速な硬化時間と、低い硬化温度と、室温における優れた安定性とを併せ持つ。この接着剤は、200℃未満の温度で20秒以内、好ましくは175℃未満の温度で10秒以内で熱圧着することができる。好ましい態様では、この接着剤は150℃の温度で3秒以内で熱圧着することができる。この接着剤は、金属及び有機基板に対して強い接着力を与え、周囲(ambient)温度で少なくとも1週間の可使時間を有し、接着後、安定な電気的内部接続を形成する。
異方性導電接着剤は、一種以上のカチオン硬化性樹脂、一種以上の熱潜在性カチオン触媒、一種以上の導電性充填材、及び場合により一種以上のフィルム形成性熱可塑性固形樹脂及び場合により一種以上のナノサイズ充填材とを含む。追加の添加剤、たとえばチキソトロープ剤、脱泡剤(air release agent)、腐食防止剤、硬化剤、触媒、希釈剤及び接着促進剤も所望により添加することができる。
カチオン硬化性樹脂は、脂環式エポキシ樹脂などのエポキシ樹脂であってもよい。本発明で使用し得る脂環式エポキシ樹脂としては、ビニルシクロヘキサンジオキシド、ビス(3,4-エポキシシクロヘキシル)アジペート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、及び2-(3,4-エポキシシクロヘキシル-5,5-スピロ-3,4-エポキシ)シクロヘキサン-メタジオキサン及びその混合物などが挙げられるが、これらに限定されない。好ましい脂環式エポキシ樹脂は、シリカナノ粒子で強化され、これはNANOPOXとして市販されており、Hanse Chemieより入手できる。このエポキシ樹脂のシリカ相は、直径100nm未満で非常に狭い粒径分布をもつ表面修飾した、合成SiO2-ナノスフィアからなる。使用し得る非-エポキシ樹脂としては、オキセタン及びビニルエーテルなどが挙げられるが、これらに限定されない。本組成物は、カチオン硬化性樹脂約5〜約98重量パーセント、好ましくはカチオン硬化性樹脂約40〜約60重量パーセントを含む。
一種以上の潜在性カチオン触媒を本組成物中に配合する。この潜在性カチオン触媒は、超酸と一般に呼ばれるタイプの強酸触媒であってもよい。この触媒は、高速及び低温で脂環式樹脂の熱硬化をもたらす。潜在性カチオン触媒の中でも、ヘキサフルオロアンチモン酸トリアリールスルホニウム塩、ヘキサフルオロリン酸トリアリールスルホニウム塩、テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ホウ酸(トリクミル)ヨードニウム、ヘキサフルオロアンチモン酸ビス(ドデシルフェニル)ヨードニウム、ヘキサフルオロリン酸(4-メチルフェニル)(4-(2-メチルプロピル)フェニル)ヨードニウム、ヘキサフルオロアンチモン酸オクチルジフェニルヨードニウム、ジアリールヨードニウム塩、ベンジルスルホニウム塩、フェナシルスルホニウム塩、N-ベンジルピリジニウム塩、N-ベンジルピラジニウム塩、N-ベンジルアンモニウム塩、ホスホニウム塩、ヒドラジニウム塩、硼酸アンモニウム塩、及びその混合物などが挙げられる。好ましい潜在性カチオン触媒は、K-PUREエポキシ触媒などのKing Industries Inc.から市販されているアンモニウム/アンチモン六フッ化物などの超酸触媒などの低いpKa値をもつ。潜在性カチオン触媒は、組成物の約0.1〜約10重量パーセント、好ましくは組成物の約0.5〜約3重量%で使用される。
一種以上の導電性充填材を組成物で使用する。注意深く充填材を選択することによって、これらの組成物は、具体的な回路製品に必要な広範な抵抗性、導電性、キャパシタンスまたは誘電特性を与えるように配合することができる。具体的な最終用途に適した電気的特性を得るための充填材の正確な種類及び量を提供することは、当業者の専門的範囲内である。全てのレジスタは必然的に何らかの伝導性を示し、全ての伝導体は何らかの抵抗性を示し、レジスタ及び伝導体は、個々の材料の具体的な特性に依存して一連の抵抗性及び伝導性を形成することは理解されよう。この連続体(continuum)は、誘電体及びコンデンサの場合にもあてはまる。代表的な導電性充填材としては、銀、銅、金、パラジウム、プラチナ、ニッケル、金または銀-コートされたニッケル、カーボンブラック、カーボンファイバ、グラファイト、アルミニウム、酸化インジウムスズ、銀コートされた銅、銀コートされたアルミニウム、金属コートされたガラス球体、金属コートされた充填材、金属コートされたポリマー、銀コートされた繊維、銀コートされた球体及びアンチモンドープされた酸化スズなどが挙げられるが、これらに限定されない。導電性充填材は、組成物の約1〜約60重量パーセントの範囲、好ましくは組成物の約5〜約30重量パーセントの範囲で使用される。
一種以上のフィルム形成性熱可塑性固形樹脂を場合により本組成物に添加することができる。代表的な樹脂としては、業界で現在使用される樹脂のいずれか、たとえばエポキシ類及び/またはアクリル類、フェノキシ樹脂、熱可塑性ポリエステル類、ポリアミド類、ポリウレタン類、ポリオレフィン類、ポリスルフィドゴム、ニトリルゴム及びその混合物などが挙げられる。樹脂の配合及び物理的特性は当業者に公知である。フィルム形成性熱可塑性固形樹脂は、組成物の約10〜約80重量パーセントの範囲、好ましくは組成物の約20〜約50重量パーセントの範囲で使用される。
場合により、導電性及び/または非導電性ナノスフィアを組成物に添加することができる。このナノスフィアは、好ましくは凝集体を含まず、エポキシ樹脂マトリックス中に分散して低粘度の異方性導電接着剤を与える。ナノスフィアは、ヒュームドシリカなどの他の強化剤によってよく発生するような、粘度の過度の上昇が無く、組成物を強化する。ナノスフィアは、高い容積で充填したときでさえも、電気的内部連絡を干渉しない。他の高反応性の系を輸送(ship)するのとは対照的に本組成物を輸送するとき、ナノスフィアを添加すると、ナノスフィアが組成物の反応熱を下げるという利点がある。熱的信頼性は、熱膨張不整合の係数を低下させることによって、ナノスフィアを含む組成物中で高まる。さらに、ナノスフィアを添加すると、硬化特性、たとえばガラス転移温度及び組成物のレオロジーを改良する。使用し得る導電性ナノスフィアの中には、ナノ銀、ナノアルミニウム、ナノ銅、ナノニッケル、カーボンナノチューブ、及びその混合物などがある。使用し得る非導電性ナノスフィアの中には、ナノシリカ、ナノアルミナ、ナノクレー及びその混合物などがある。本組成物は、ナノサイズ充填材約10〜約60重量パーセント、好ましくはナノサイズ充填材約20〜約40重量パーセントを含む。
一種以上の硬化剤、触媒、反応性及び/または非反応性希釈剤、接着促進剤、腐食防止剤及び他の成分を所望により添加することができる。代表的な腐食防止剤としては、1,10-フェナチオジン、フェノチアジン、ベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ジシアンジアミド、3-イソプロピルアミノ-1-ブチン、プロパルギルキノリニウムブロミド、3-ベンジルアミノ-1-ブチン、ジプロパルギルエーテル、ジプロパルギルチオエーテル、プロパルギルカプロエート、ジアミノヘプタン、フェナントロリン、アミン、ジアミン、トリアミン、ヘキサメチレンイミド、デカメチレンイミド、ヘキサメチレンイミンベンゾエート、ヘキサメチレンイミン-3,5-ジニトロベンゾエート、ヘキサメチレンテトラミン、d-オキシミノ-b-ビニルキヌクリジン、アニリン、6-N-エチルプリン、1-エチルアミノ-2-オクタデシルイミダゾリン、モルホリン、エタノールアミン、アミノフェノール、2-ヒドロキシキノリン、6-ヒドロキシキノリン、8-ヒドロキシキノリン、ピリジン及びその誘導体、キノリン及びその誘導体、アクリジン、イミダゾール及びその誘導体、トルイジン、メルカプタン、チオフェノール及びその誘導体、スルフィド、スルホキシド、チオホスフェート、チオウレア、ピペリジン並びにその混合物などが挙げられる。
代表的な反応性希釈剤としては、グリシジルエーテル、たとえば1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテル;ビニルエーテル類、たとえばエチレンビニルエーテル及びビニルエステル類、例えばエチレンビニルエステル及びアクリレート類、たとえばメチルメタクリレートなどがある。代表的な非反応性希釈剤はブチルカルビトールである。代表的な接着促進剤はシラン類及びポリビニルブチロールである。
もう一つの態様において、本発明は、一種以上のカチオン硬化性エポキシ樹脂、一種以上の潜在性カチオン超酸触媒、一種以上の導電性充填材、場合により一種以上のフィルム形成性熱可塑性固形樹脂と場合により一種以上のナノサイズ非導電性充填材を含む異方性導電接着剤を使用することを含む、導電性組成物の電気的安定性を改善する方法である。本方法に従って、本発明の異方性導電接着剤を電子部品を接着するための基板に施す。さらなる態様では、本発明は、本明細書中に開示の異方性導電接着剤を含む電子デバイスを含む。
本発明を以下の実施例によって詳細に記載することができる。
実施例
異方性導電接着剤の二つのサンプルを以下のようにして製造した(成分の全ての量は重量パーセントで示す)。樹脂混合物をプロペラ攪拌機のついた混合容器に添加する。触媒を添加し、完全に溶解するまで混合する。その後、接着促進剤と界面活性剤を添加し、続いて導電性充填材を添加し、組成物を5〜10分間混合する。この混合物を>28inHgの圧力で真空チャンバ中、5分間脱気する。二つのサンプルの配合を表1に示す。
Figure 2007250540
配合物を、表2に示した四つの条件下で試験した。
Figure 2007250540
サンプルをダイに設置し、熱衝撃性能試験(thermal shock performance testing)にかける。試験プロトコルは、−40℃〜85℃の温度で100サイクル実施した。熱衝撃試験の結果を表3に示す。
Figure 2007250540
この熱ショック試験結果は、本発明の異方性導電接着剤がうまく機能し、且つ種々の条件下で安定な耐結合性(joint resistance)を提供することを示す。
サンプルをダイに設置し、熱/湿度信頼性試験(termal/humidity reliability testing)にかける。この試験は、85℃及び相対湿度85%の環境に7日間、ダイ/接着剤の組み合わせを設置することを含む。この結果を表4に示す。
Figure 2007250540
サンプルをダイに設置し、アンテナ基板に接着するために試験した。このアンテナ基板は、銀インクPETアンテナ上の1.5×1.5mmダイからなっていた。このダイを接着強度に関して試験し、その結果を表5に示す。
Figure 2007250540
剪断強度試験結果は、サンプルは両方ともアンテナ基板とシリコンダイに対して優れた接着力を提供することを示す。さらに配合物は両方とも、接着条件にかかわらずその接着強度を維持した。
当業者には明らかなように、本発明の趣旨及び範囲を逸脱することなく、本発明の多くの修正及び変形が可能である。本明細書中に記載の具体的な態様は単なる例示であって、本発明は、付記請求の範囲の等価物の全範囲と共に付記請求の範囲によってのみ限定されるべきである。

Claims (25)

  1. 一種以上のカチオン硬化性樹脂、一種以上の熱潜在性カチオン触媒、一種以上の導電性充填材、及び場合によりフィルム形成性熱可塑性固形樹脂を含む、マイクロエレクトロニクスデバイスで使用するための組成物。
  2. 非導電性充填材、導電性充填材またはこれらの混合物からなる群から選択される一種以上のナノサイズ充填材をさらに含む、請求項1に記載の組成物。
  3. 前記カチオン硬化性樹脂がエポキシ樹脂である、請求項1に記載の組成物。
  4. 前記カチオン硬化性エポキシ樹脂が、脂環式エポキシ樹脂を含む、請求項3に記載の組成物。
  5. 前記脂環式エポキシ樹脂が、シリカナノ粒子で強化した脂環式エポキシ樹脂を含む、請求項4に記載の組成物。
  6. 一種以上の潜在性カチオン触媒が、一種以上の超酸触媒を含む、請求項1に記載の組成物。
  7. 前記一種以上の潜在性カチオン触媒が、ヘキサフルオロアンモニウム/アンチモン、ヘキサフルオロアンチモン酸トリアリールスルホニウム、ヘキサフルオロリン酸トリアリールスルホニウム、テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ホウ酸トリクミルヨードニウム、ヘキサフルオロアンチモン酸ビス(ドデシルフェニル)ヨードニウム、ヘキサフルオロリン酸(4-メチルフェニル)(4-(2-メチルプロピル)フェニルヨードニウム、ヘキサフルオロアンチモン酸オクチルジフェニルヨードニウム、ジアリールヨードニウム塩、ベンジルスルホニウム塩、フェナシルスルホニウム塩、N-ベンジルピリジニウム塩、N-ベンジルピラジニウム塩、N-ベンジルアンモニウム塩、ホスホニウム塩、ヒドラジニウム塩、硼酸アンモニウム塩及びその混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の組成物。
  8. 腐食防止剤、硬化剤、触媒、反応性及び/または非反応性希釈剤、接着促進剤またはその混合物をさらに含む、請求項1に記載の組成物。
  9. 前記導電性充填材が、銀、銅、金、パラジウム、プラチナ、ニッケル、金若しくは銀コートされたニッケル、カーボンブラック、カーボンファイバー、グラファイト、アルミニウム、酸化インジウムスズ、銀コートされた銅、銀コートされたアルミニウム、金属コートされたガラス球体、金属コートされた充填材、金属コートされたポリマー、銀コートされた繊維、銀コートされた球体及びアンチモンドープされた酸化スズ並びにその混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の組成物。
  10. 前記フィルム形成性熱可塑性固形樹脂が、エポキシ類、アクリル類、フェノキシ樹脂、熱可塑性ポリエステル類、ポリアミド類、ポリウレタン類、ポリオレフィン類、ポリスルフィドゴム、ニトリルゴム、及びその混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の組成物。
  11. 前記ナノサイズ導電性充填材が、ナノ銀、ナノアルミニウム、ナノ銅、ナノニッケル、カーボンナノチューブ及びその混合物から選択される、請求項2に記載の組成物。
  12. 前記ナノサイズ非導電性充填材が、ナノシリカ、ナノアルミナ、ナノクレー及びその混合物から選択される、請求項2に記載の組成物。
  13. 前記一種以上のカチオン硬化性樹脂が、組成物の約5〜約98重量パーセントを構成する、請求項1に記載の組成物。
  14. 前記一種以上のカチオン硬化性樹脂が、組成物の約40〜約60重量パーセントを構成する、請求項13に記載の組成物。
  15. 前記一種以上の潜在性カチオン触媒が、組成物の約0.1〜約10重量パーセントを構成する、請求項1に記載の組成物。
  16. 前記一種以上の潜在性カチオン触媒が、組成物の約0.5〜約3重量パーセントを構成する、請求項15に記載の組成物。
  17. 前記一種以上の導電性充填材が、組成物の約1〜約60重量パーセントを構成する、請求項1に記載の組成物。
  18. 前記一種以上の導電性充填材が、組成物の約5〜約30重量パーセントを構成する、請求項17に記載の組成物。
  19. 前記組成物が、一種以上のナノサイズ充填材を約10〜約60重量パーセント含む、請求項2に記載の組成物。
  20. 前記組成物が、一種以上のナノサイズ充填材を約20〜約40重量パーセント含む、請求項19に記載の組成物。
  21. 前記組成物が、フィルム形成性熱可塑性固形樹脂を約10〜約80重量パーセント含む、請求項1に記載の組成物。
  22. 前記組成物が、フィルム形成性熱可塑性固形樹脂を約20〜約50重量パーセント含む、請求項21に記載の組成物。
  23. 異方性導電性物質である、請求項1に記載の組成物。
  24. 請求項1に記載の組成物の有効量を電子部品に施す段階を含む、一つ以上の電子部品を結合する方法。
  25. 請求項1に記載の組成物を含む電子部品。
JP2007058310A 2006-03-10 2007-03-08 異方性導電接着剤 Pending JP2007250540A (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/373,484 US20070213429A1 (en) 2006-03-10 2006-03-10 Anisotropic conductive adhesive

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007250540A true JP2007250540A (ja) 2007-09-27

Family

ID=37914815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007058310A Pending JP2007250540A (ja) 2006-03-10 2007-03-08 異方性導電接着剤

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20070213429A1 (ja)
EP (1) EP1832636A1 (ja)
JP (1) JP2007250540A (ja)
KR (1) KR20070092639A (ja)
CN (1) CN101033379A (ja)
TW (1) TW200745302A (ja)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009078373A1 (ja) * 2007-12-18 2009-06-25 Taisei Plas Co., Ltd. 金属合金と被着材の接合体及びその製造方法
WO2010018712A1 (ja) * 2008-08-13 2010-02-18 住友電気工業株式会社 導電性接着剤およびそれを用いたled基板
JP2011526960A (ja) * 2008-07-03 2011-10-20 ヘンケル コーポレイション チクソ伝導性組成物
CN102585738A (zh) * 2012-02-20 2012-07-18 深圳德邦界面材料有限公司 一种高性能压敏导电胶水及其制备方法
KR101210228B1 (ko) 2011-08-02 2012-12-10 임동건 에폭시계 정전기 분산 및 대전 방지용 도전성 바닥재
KR101260708B1 (ko) 2010-02-01 2013-05-10 이스켐주식회사 무용제형 전도성 도료수지
KR101294593B1 (ko) 2011-04-13 2013-08-09 한국과학기술연구원 전도성 접착제 및 그 제조방법
JP2014502285A (ja) * 2010-10-05 2014-01-30 ヘレウス プレシャス メタルズ ノース アメリカ コンショホーケン エルエルシー 一液型低温硬化性ポリマー組成物および関連方法
JP2015507680A (ja) * 2011-12-27 2015-03-12 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 接着テープ組成物及びその組成物から製造される接着テープ
WO2016116959A1 (ja) * 2015-01-19 2016-07-28 京セラケミカル株式会社 導電性樹脂組成物および半導体装置
WO2016167245A1 (ja) * 2015-04-16 2016-10-20 古河電気工業株式会社 導電性接着フィルムおよびダイシングダイボンディングフィルム
KR20170062475A (ko) 2014-10-01 2017-06-07 나믹스 가부시끼가이샤 수지 조성물
CN107301886A (zh) * 2017-05-15 2017-10-27 江苏东昇光伏科技有限公司 一种太阳能电池中背电极用导电浆料及其制备方法

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070287775A1 (en) * 2006-06-09 2007-12-13 Wheelock Brian C Low viscosity curable compositions
US7785494B2 (en) 2007-08-03 2010-08-31 Teamchem Company Anisotropic conductive material
DE102007039901A1 (de) * 2007-08-23 2008-10-16 Siemens Ag Thermisches und elektrisches Kontaktmaterial mit mindestens zwei Materialbestandteilen und Verwendung des Kontaktmaterials
CN101809107B (zh) * 2007-10-03 2013-02-06 日立化成工业株式会社 粘接剂组合物、使用其的搭载有电子部件的基板和半导体装置
KR100891414B1 (ko) * 2007-11-20 2009-04-02 제일모직주식회사 저장안정성이 개선된 이방 도전성 필름용 조성물
KR100966260B1 (ko) * 2007-11-28 2010-06-28 (주)에버텍엔터프라이즈 저습성 및 고신뢰성을 갖는 다이 접착용 전기 전도성 접착조성물
JP5422921B2 (ja) * 2008-05-28 2014-02-19 デクセリアルズ株式会社 接着フィルム
CN101602925B (zh) * 2008-06-15 2012-09-26 比亚迪股份有限公司 一种无卤环氧树脂阻燃胶粘剂及其胶膜
US8309633B2 (en) * 2008-07-17 2012-11-13 Henkel Ireland Ltd. Low temperature, cationically curable compositions with improved cure speed and toughness
CN101671473B (zh) * 2008-09-08 2012-01-18 冠品化学股份有限公司 各向异性导电材料
EP2166544B1 (en) * 2008-09-22 2014-12-31 Teamchem Materials Company Anisotropic conductive material
US8604612B2 (en) * 2009-02-19 2013-12-10 General Electric Company Chip attach adhesive to facilitate embedded chip build up and related systems and methods
NO333507B1 (no) * 2009-06-22 2013-06-24 Condalign As Fremgangsmate for a lage et anisotropisk, ledende lag og en derav frembrakt gjenstand
CN101864262A (zh) * 2009-11-03 2010-10-20 上海上大瑞沪微系统集成技术有限公司 柔性导电胶
CN101805574A (zh) * 2010-03-11 2010-08-18 复旦大学 采用表面活化处理的银填料的烧结型导电胶及其制备方法
KR101246805B1 (ko) * 2010-04-14 2013-03-26 한국생산기술연구원 탄소나노튜브 응집체가 포함된 이방성 도전성 접착제 및 그 제조방법
CN101831264B (zh) * 2010-04-26 2013-02-13 常州合润新材料科技有限公司 一种填充碳纳米管各向同性高性能导热胶粘剂
FR2960619B1 (fr) * 2010-06-01 2013-02-15 Vallourec Mannesmann Oil & Gas Extremite filetee d'un composant tubulaire pour le forage ou l'exploitation des puits d'hydrocarbures, et joint resultant
CN102985459A (zh) * 2010-06-28 2013-03-20 陶氏环球技术有限责任公司 可固化树脂组合物
CN102985486A (zh) 2010-10-01 2013-03-20 富士电机株式会社 树脂组合物
KR101345694B1 (ko) 2011-03-11 2013-12-30 옵토팩 주식회사 파이버, 파이버 집합체 및 이를 포함하는 접착제
KR101287604B1 (ko) * 2011-03-11 2013-07-19 한국생산기술연구원 탄소나노튜브를 이용하여 접합강도와 전기전도도가 향상된 전기저항용접용 도전성 접착제 및 이를 이용한 하이브리드 접합방법
CN102676102B (zh) * 2011-03-16 2014-03-12 上海富信新能源科技有限公司 一种银纳米线掺杂导电银胶及其制备方法
CN102190980A (zh) * 2011-03-28 2011-09-21 彩虹集团公司 一种低温导电胶及其制备方法
NL1038884C2 (en) 2011-06-23 2013-01-02 Holland Novochem Technical Coatings B V Protective polymer layers.
CN102391799B (zh) * 2011-09-05 2013-05-08 青岛海信电器股份有限公司 一种无基材压敏型丙烯酸导热胶、其制备方法及其应用
CN102443372A (zh) * 2011-10-21 2012-05-09 天津大学 一种电子束固化环氧树脂导电粘合剂及其制备方法
US20140367670A1 (en) * 2012-02-10 2014-12-18 Mitsui Chemicals, Inc. Surface sealing agent for organic el element, organic el device using same, and manufacturing method for same
KR101525652B1 (ko) 2012-05-04 2015-06-03 삼성전기주식회사 도전성 수지 조성물, 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터 및 그 제조방법
KR101603370B1 (ko) * 2012-05-31 2016-03-14 주식회사 엘지화학 접착제 조성물
CN103000253B (zh) * 2012-11-10 2015-05-20 江苏瑞德新能源科技有限公司 一种潜伏固化型导电浆料及用其在基板上形成电极的方法
JP6355646B2 (ja) 2012-12-20 2018-07-11 ダウ シリコーンズ コーポレーション 硬化性シリコーン組成物、導電性シリコーン接着剤、これらの製造及び使用方法、並びにこれらを含有する電気装置
KR102250406B1 (ko) 2013-03-14 2021-05-12 다우 실리콘즈 코포레이션 경화성 실리콘 조성물, 전기 전도성 실리콘 접착제, 이의 제조 및 사용 방법, 및 이를 포함하는 전기 디바이스
US9428680B2 (en) 2013-03-14 2016-08-30 Dow Corning Corporation Conductive silicone materials and uses
CN103694924B (zh) * 2013-10-24 2016-09-07 明基材料有限公司 一种具四环醚基的甲基丙烯酸酯共聚物及异方性导电胶
EP2886620B1 (en) 2013-12-18 2019-11-27 3M Innovative Properties Company Post-curable pressure-sensitive adhesive
CN104231965B (zh) * 2014-09-19 2016-03-09 深圳市道尔科技有限公司 同方性导电胶膜及其制备方法
US9613915B2 (en) 2014-12-02 2017-04-04 International Business Machines Corporation Reduced-warpage laminate structure
KR101748014B1 (ko) * 2014-12-18 2017-06-15 삼성에스디아이 주식회사 경화성 수지 조성물, 이방 도전성 필름 및 이를 이용한 반도체 장치
KR101845129B1 (ko) 2015-05-13 2018-04-03 삼성에스디아이 주식회사 이방 도전성 필름 및 이를 이용한 반도체 장치
CN106589807B (zh) * 2015-10-19 2019-02-15 张家港市舜辰机械有限公司 一种碳纤维/纳米铜/环氧树脂复合材料的制备方法
CN105400470B (zh) * 2015-12-01 2018-03-09 杭州新湖电子有限公司 一种led白光数码管封装胶及其制备方法
CN105802560A (zh) * 2016-04-15 2016-07-27 安庆市晶科电子有限公司 一种电路板用耐海水腐蚀的导电银胶及其制备方法
TWI629337B (zh) * 2016-07-29 2018-07-11 余琬琴 高附著性導電銅膠體及其網版印刷應用方法
US10689548B2 (en) * 2017-01-20 2020-06-23 Polyonics, Inc. Electrostatic dissipative surface coating and high temperature label employing same
CN107541019A (zh) * 2017-09-13 2018-01-05 太仓天润新材料科技有限公司 一种适用于微型化电子组装的电子材料
CN108130029A (zh) * 2017-12-22 2018-06-08 烟台德邦科技有限公司 一种uv延迟固化的导电银胶及其制备方法
US11332645B2 (en) * 2018-02-14 2022-05-17 Threebond Co., Ltd. Conductive adhesive and cured product thereof
DE102018118581A1 (de) * 2018-07-31 2020-02-06 Lohmann Gmbh & Co. Kg Kartuschenabdeckvorrichtung zum Versiegeln einer mikrofluidischen Kartusche
KR102171222B1 (ko) 2018-08-17 2020-10-28 한국과학기술연구원 고열전도성 고분자 복합체 및 제조방법
CN110831347A (zh) * 2019-10-23 2020-02-21 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 绑定材料、显示面板及Micro-LED芯片的绑定方法
US11437162B2 (en) 2019-12-31 2022-09-06 Industrial Technology Research Institute Conductive material composition and conductive material prepared therefrom
US20210242102A1 (en) * 2020-02-04 2021-08-05 Intel Corporation Underfill material for integrated circuit (ic) package
CN113004807A (zh) * 2021-03-11 2021-06-22 无锡帝科电子材料股份有限公司 一种热固化导电胶及其制备方法
WO2024031510A1 (zh) * 2022-08-11 2024-02-15 宁德时代新能源科技股份有限公司 连接极耳和极柱的导电胶及包含其的电池
CN115068637B (zh) * 2022-08-23 2022-11-11 中国人民解放军空军特色医学中心 医用导电膏及其制备方法
CN115584231B (zh) * 2022-09-29 2023-11-03 哈尔滨工业大学(深圳) 一种封装用改性各向同性导电胶及其制备方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004196977A (ja) * 2002-12-19 2004-07-15 Kyoritsu Kagaku Sangyo Kk カチオン硬化性シリコーン樹脂組成物

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6084303A (ja) * 1983-10-14 1985-05-13 Asahi Denka Kogyo Kk 導電性樹脂組成物
US5001542A (en) * 1988-12-05 1991-03-19 Hitachi Chemical Company Composition for circuit connection, method for connection using the same, and connected structure of semiconductor chips
US5362421A (en) * 1993-06-16 1994-11-08 Minnesota Mining And Manufacturing Company Electrically conductive adhesive compositions
US6489375B2 (en) * 1998-07-07 2002-12-03 Sun Chemical Corporation Low VOC cationic curable lithographic printing inks
KR100629923B1 (ko) * 1998-09-30 2006-09-29 돗빤호무즈가부시기가이샤 도전성페이스트와 도전성페이스트의 경화방법, 및 도전성페이스트를 이용한 비접촉형 데이터송수신체용 안테나의 형성방법과, 비접촉형 데이터송수신체
US6030553A (en) * 1999-04-01 2000-02-29 Industrial Technology Research Institute Polymer thick film resistor pastes
US6699351B2 (en) * 2000-03-24 2004-03-02 3M Innovative Properties Company Anisotropically conductive adhesive composition and anisotropically conductive adhesive film formed from it
JP3589422B2 (ja) * 2000-11-24 2004-11-17 旭化成エレクトロニクス株式会社 異方導電性フィルム
US6955739B2 (en) * 2001-06-19 2005-10-18 3M Innovative Properties Company Method for adhering substrates using ultraviolet activatable adhesive film and an ultraviolet irradiation apparatus
KR100398314B1 (ko) * 2001-07-19 2003-09-19 한국과학기술원 고접착력 3층 구조 aca 필름
JP4201519B2 (ja) * 2002-04-01 2008-12-24 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー カチオン重合性接着剤組成物及び異方導電性接着剤組成物
US20040113127A1 (en) * 2002-12-17 2004-06-17 Min Gary Yonggang Resistor compositions having a substantially neutral temperature coefficient of resistance and methods and compositions relating thereto
TWI242031B (en) * 2003-02-05 2005-10-21 Kansai Paint Co Ltd Printing ink resist composition, method of forming resist film thereof, and method of producing substrate using the same
US7575778B2 (en) * 2003-09-08 2009-08-18 Embed Technology Co., Ltd. Method of applying a polymer thick-film resistive paste for making polymer thick-film resistor having improved tolerances

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004196977A (ja) * 2002-12-19 2004-07-15 Kyoritsu Kagaku Sangyo Kk カチオン硬化性シリコーン樹脂組成物

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009078373A1 (ja) * 2007-12-18 2009-06-25 Taisei Plas Co., Ltd. 金属合金と被着材の接合体及びその製造方法
JP2011526960A (ja) * 2008-07-03 2011-10-20 ヘンケル コーポレイション チクソ伝導性組成物
WO2010018712A1 (ja) * 2008-08-13 2010-02-18 住友電気工業株式会社 導電性接着剤およびそれを用いたled基板
JP2010044967A (ja) * 2008-08-13 2010-02-25 Sumitomo Electric Ind Ltd 導電性接着剤およびそれを用いたled基板
KR101260708B1 (ko) 2010-02-01 2013-05-10 이스켐주식회사 무용제형 전도성 도료수지
JP2014502285A (ja) * 2010-10-05 2014-01-30 ヘレウス プレシャス メタルズ ノース アメリカ コンショホーケン エルエルシー 一液型低温硬化性ポリマー組成物および関連方法
KR101294593B1 (ko) 2011-04-13 2013-08-09 한국과학기술연구원 전도성 접착제 및 그 제조방법
KR101210228B1 (ko) 2011-08-02 2012-12-10 임동건 에폭시계 정전기 분산 및 대전 방지용 도전성 바닥재
JP2015507680A (ja) * 2011-12-27 2015-03-12 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 接着テープ組成物及びその組成物から製造される接着テープ
CN102585738A (zh) * 2012-02-20 2012-07-18 深圳德邦界面材料有限公司 一种高性能压敏导电胶水及其制备方法
KR20170062475A (ko) 2014-10-01 2017-06-07 나믹스 가부시끼가이샤 수지 조성물
WO2016116959A1 (ja) * 2015-01-19 2016-07-28 京セラケミカル株式会社 導電性樹脂組成物および半導体装置
WO2016167245A1 (ja) * 2015-04-16 2016-10-20 古河電気工業株式会社 導電性接着フィルムおよびダイシングダイボンディングフィルム
JPWO2016167245A1 (ja) * 2015-04-16 2017-11-24 古河電気工業株式会社 導電性接着フィルムおよびダイシングダイボンディングフィルム
CN107301886A (zh) * 2017-05-15 2017-10-27 江苏东昇光伏科技有限公司 一种太阳能电池中背电极用导电浆料及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1832636A1 (en) 2007-09-12
TW200745302A (en) 2007-12-16
US20070213429A1 (en) 2007-09-13
KR20070092639A (ko) 2007-09-13
CN101033379A (zh) 2007-09-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007250540A (ja) 異方性導電接着剤
Ji et al. Ternary Ag/epoxy adhesive with excellent overall performance
CN107771354B (zh) 工程聚合物类电子材料
Licari et al. Adhesives technology for electronic applications: materials, processing, reliability
EP2201079B1 (en) Thermally conductive composition
JP4760066B2 (ja) 異方導電性接着剤
JP6675155B2 (ja) 半導体用ダイアタッチペースト及び半導体装置
CN1555563A (zh) 用于电子装置中的具有电稳定性的导电材料
KR101391696B1 (ko) 이방 전도성 조성물 및 필름
Kwon et al. Dispersion, hybrid interconnection and heat dissipation properties of functionalized carbon nanotubes in epoxy composites for electrically conductive adhesives (ECAs)
JP2011111557A (ja) 接着剤組成物、回路接続材料、接続体及び回路部材の接続方法、並びに半導体装置
JP5267958B2 (ja) 接着剤組成物
TW201731965A (zh) 樹脂組成物、接合體及半導體裝置
JP6044261B2 (ja) 異方導電性接着剤組成物
JP2007056209A (ja) 回路接続用接着剤
JP2007277384A (ja) 導電性接着剤
WO2008130955A1 (en) Corrosion-resistant anisotropic conductive compositions
TW201942303A (zh) 電子零件接著用樹脂組合物、小型晶片零件之接著方法、電子電路基板之製造方法及電子電路基板
JP2011111556A (ja) 接着剤組成物、回路接続材料、接続体及び回路部材の接続方法、並びに半導体装置
JP2016117869A (ja) 半導体接着用樹脂組成物及び半導体装置
JP2004352785A (ja) 異方導電性接着剤
KR101708235B1 (ko) 고방열 접착제의 조성물 및 그 제조방법
JPH10237157A (ja) 液状樹脂組成物および該液状樹脂組成物を使用して作製した半導体装置
KR20180095410A (ko) 도전성 접착제 조성물
CN112908512B (zh) 一种无压烧结导电银浆及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100308

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100317

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20100730

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130612