JP2007248168A - 原子間力顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】背面がミラー面であるカンチレバー5と、波長の異なる第1のレーザー光源1と第2のレーザー光源2とを備えており、それぞれ、カンチレバー5のミラー面に向けてレーザー光3、4を射出する。2つのレーザー光源1、2は互に独立した集光光学系を備え、レーザー光3はカンチレバー5の自由端部のミラー面に入射して焦点を結び、第1の受光器8に入射する。レーザー光4はカンチレバー5の固定端部のミラー面に入射して焦点を結び、その波長近傍のみを反射するダイクロイックミラー7で反射した後、第2の受光器9に入射する。2つの受光器8、9による2つのレーザー光3、4の位置情報の差分から高精度なカンチレバー変位を得る。
【選択図】図1
Description
2.装置振動
3.カンチレバーの熱ドリフト
4.圧電素子のヒステリシス
5.受光器および回路のノイズ
3、3a、4、4a レーザー光
5、5a カンチレバー
7、7a、7b ダイクロイックミラー
8、8a、9、9a 受光器
Claims (3)
- カンチレバーの反射光を受光し、被測定物との間の原子間力による前記カンチレバーの変位を測定する原子間力顕微鏡において、互に波長の異なるレーザー光を発生する2つの独立した光源と、前記2つの光源によるレーザー光のうちの一方を前記カンチレバーの自由端部で反射させ、他方を前記カンチレバーの固定端部で反射させる2つの集光光学系と、前記カンチレバーの反射光をそれぞれ受光する2つの受光器と、を有し、前記2つの受光器による独立した2つの出力に基づいて前記カンチレバーの変位を演算することを特徴とする原子間力顕微鏡。
- 前記波長の異なる2つのレーザー光を分離するダイクロイックミラーを、前記2つの受光器の入射側に配置することを特徴とする請求項1記載の原子間力顕微鏡。
- 前記カンチレバーと、前記2つの光源および前記2つの集光光学系からなる変位検出装置を複数組備えており、前記複数の光源はすべて異なる波長のレーザー光を発生することを特徴とする原子間力顕微鏡。
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