JP2009042124A - 原子間力顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源21からの光をローションプリズム28によってS偏光とP偏光に分離して、被検物1とカンチレバー12との相対変位を計測する原子間力顕微鏡において、参照ミラー63を計測基準としてカンチレバー変位を計測する機能を設ける。参照ミラー63を干渉縞の計測基準とすることで、被検物1の計測前の準備段階における調整作業を可能とする。また、被検物1をステージに搭載して面形状を計測するときに、参照ミラー63からの反射光を遮光可能なシャッター62と、光の偏光状態を変更する波長板24を備え、カンチレバー変位を計測する2種類の光学系を使い分ける。
【選択図】図1
Description
2 ベース
3 XYZステージ
4 ティップティルトステージ
6 ハウジング
7 XYスキャナ
8 チューブスキャナ
9 カンチレバー取り付けブロック
10 加振用ピエゾアクチュエータ
11 カンチレバーホルダー
12 カンチレバー
21 光源
22 光ファイバ
23 コリメータ
24 2分の1波長板
25 回転機構
26 ハーフミラー
27 ダイクロイックミラー
28 ローションプリズム
29 集光レンズ
30 4分の1波長板
31 2分の1波長板
32 回転機構
33 ハーフミラー
34 ハーフミラー
35 偏光ビームスプリッタ
36 フォトディテクタ
37 フォトディテクタ
51 偏光ビームスプリッタ
52 ビームエクスパンダ
53 CCDセンサ
54 偏光ビームスプリッタ
55 ポジションセンサ
56 カメラ
61 4分の1波長板
62 シャッター
63 参照ミラー
Claims (3)
- 探針を備えるカンチレバーを被検物に接近させ、前記探針と前記被検物の間に発生する原子間力を検出し、前記原子間力を一定に保ちつつ走査することにより、前記被検物の面形状を計測する原子間力顕微鏡において、
光源と、
前記光源からの光を第1及び第2の光ビームに分割する分割手段と、
前記第1の光ビームを前記被検物及び前記カンチレバーに照射させ、それぞれ反射させて得られる第1の干渉縞から前記カンチレバーの変位を検出するための第1の光学系と、
参照ミラーと、
前記第1及び前記第2の光ビームをそれぞれ前記カンチレバー及び前記参照ミラーに照射させ、それぞれ反射させて得られる第2の干渉縞から前記カンチレバーの変位を検出するための第2の光学系と、を有することを特徴とする原子間力顕微鏡。 - 前記光源からの光の偏光方向を変更する波長板と、
前記光の光軸まわりに前記波長板を回転させる回転機構と、
前記第1の光ビームを2種類の偏光光に分割する偏光光学素子と、を有し、
前記第1の光学系は、前記偏光光学素子によって分割された前記2種類の偏光光のうちの一方を前記カンチレバーに照射させるとともに、他方の偏光光を前記被検物に集光させ、それぞれ反射させて前記第1の干渉縞を得ることを特徴とする請求項1記載の原子間力顕微鏡。 - 前記参照ミラーに入射する前記第2の光ビームを遮光するためのシャッターと、
前記シャッターを開閉駆動する手段と、を有することを特徴とする請求項1又は2記載の原子間力顕微鏡。
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