JP5100248B2 - 原子間力顕微鏡 - Google Patents
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Description
2 ベース
3 XYZステージ
4 ティップティルトステージ
6 ハウジング
7 XYスキャナ
8 チューブスキャナ
9 カンチレバー取り付けブロック
10 加振用ピエゾアクチュエータ
11 カンチレバーホルダー
12 カンチレバー
21 光源
22 光ファイバ
23 コリメータ
24 2分の1波長板
25 回転機構
26 ハーフミラー
27 ダイクロイックミラー
28 ローションプリズム
29 集光レンズ
30 4分の1波長板
31 2分の1波長板
32 回転機構
33 ハーフミラー
34 ハーフミラー
35 偏光ビームスプリッタ
36 フォトディテクタ
37 フォトディテクタ
51 偏光ビームスプリッタ
52 ビームエクスパンダ
53 CCDセンサ
54 偏光ビームスプリッタ
55 ポジションセンサ
56 カメラ
Claims (5)
- 探針を備えるカンチレバーを被検物に接近させ、前記探針と前記被検物の間に発生する原子間力を検出し、前記原子間力を保ちつつ走査することにより、前記被検物の面形状を計測する原子間力顕微鏡において、
光源と、
前記光源からの光を2種類の偏光光に分割する偏光光学素子と、
前記2種類の偏光光のうちの一方を、前記カンチレバーに集光させるとともに、他方の偏光光を前記被検物に集光させ、それぞれ反射させて得られた2種類の反射光による干渉縞を得る光学系と、
前記干渉縞から前記カンチレバーの変位を検出する検出手段と、を有し、
前記カンチレバーは前記被検物に集光する前記他方の偏光光の光路外に配されており、前記2種類の偏光光がなす角度と、前記被検物に対する前記カンチレバーの傾斜角度が等しいことを特徴とする原子間力顕微鏡。 - 前記2種類の偏光光の光量比を調節する手段を有することを特徴とする請求項1記載の原子間力顕微鏡。
- 前記光量比を調節する手段が、前記光源からの光の偏光方向を変更する波長板と、前記光の光軸のまわりに前記波長板を回転させる回転機構と、を有することを特徴とする請求項2記載の原子間力顕微鏡。
- 前記検出手段が、前記干渉縞から光路長差を算出する際に用いる感度情報を取得する感度情報取得手段を有することを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載の原子間力顕微鏡。
- 前記感度情報取得手段が、前記2種類の偏光光の共通光路に配置された4分の1波長板と、2分の1波長板と、前記2分の1波長板を回転させる回転機構と、を有することを特徴とする請求項4記載の原子間力顕微鏡。
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