JP5232681B2 - 走査プローブ顕微鏡及びその動作方法 - Google Patents
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- 探針を備えるカンチレバと、カンチレバの背面に光を照射するための光源と、光源から照射されてカンチレバの背面から反射した光(反射光)を検出するための光検出器と、光検出器による反射光の検出結果に基づいてカンチレバの変位を検出して出力する演算手段とを有し、光検出器には少なくとも2つの受光面が設けられており、演算手段は、光検出器の2つの受光面による反射光の検出信号の差分を算出してこの差分に応じた信号を出力する機能を備えている走査プローブ顕微鏡であって、光検出器をその受光面の配列方向に沿って振動させるための交流電圧が印加される振動手段を具備し、この振動手段が該交流電圧の周波数で光検出器を当該配列方向に沿って振動させることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
- 光検出器は、その検出信号を増幅するためのプリアンプ基板に、振動手段を介して取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の走査プローブ顕微鏡。
- 振動手段は、ピエゾ素子からなることを特徴とする請求項1又は2記載の走査プローブ顕微鏡。
- 探針を備えるカンチレバと、カンチレバの背面に光を照射するための光源と、光源から照射されてカンチレバの背面から反射した光(反射光)を検出するための光検出器と、光検出器による反射光の検出結果に基づいてカンチレバの変位を検出して出力する演算手段と、光検出器を振動させるための振動手段とを有し、光検出器には少なくとも2つの受光面が設けられており、演算手段は、光検出器の2つの受光面による反射光の検出信号の差分を算出してこの差分に応じた信号を出力する機能を備えている走査プローブ顕微鏡の動作方法であって、交流電圧が振動手段に印加され、これにより振動手段が該交流電圧の周波数で光検出器をその受光面の配列方向に沿って振動させ、この状態で演算手段が光検出器の2つの受光面による反射光の検出信号の差分を算出し、この差分に応じた信号を出力することを特徴とする走査プローブ顕微鏡の動作方法。
- 光検出器は、その検出信号を増幅するためのプリアンプ基板に、振動手段を介して取り付けられていることを特徴とする請求項4記載の走査プローブ顕微鏡の動作方法。
- 振動手段は、ピエゾ素子からなることを特徴とする請求項4又は5記載の走査プローブ顕微鏡の動作方法。
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