JP2007234724A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007234724A5 JP2007234724A5 JP2006051892A JP2006051892A JP2007234724A5 JP 2007234724 A5 JP2007234724 A5 JP 2007234724A5 JP 2006051892 A JP2006051892 A JP 2006051892A JP 2006051892 A JP2006051892 A JP 2006051892A JP 2007234724 A5 JP2007234724 A5 JP 2007234724A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface emitting
- cavity surface
- vertical cavity
- emitting laser
- laser according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 3
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 claims 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006051892A JP2007234724A (ja) | 2006-02-28 | 2006-02-28 | 垂直共振器型面発光レーザ、該垂直共振器型面発光レーザにおける二次元フォトニック結晶の製造方法 |
| US11/678,855 US7830943B2 (en) | 2006-02-28 | 2007-02-26 | Vertical cavity surface emitting laser and method of manufacturing two-dimensional photonic crystal of vertical cavity surface emitting laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006051892A JP2007234724A (ja) | 2006-02-28 | 2006-02-28 | 垂直共振器型面発光レーザ、該垂直共振器型面発光レーザにおける二次元フォトニック結晶の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007234724A JP2007234724A (ja) | 2007-09-13 |
| JP2007234724A5 true JP2007234724A5 (enExample) | 2009-04-16 |
Family
ID=38443943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006051892A Pending JP2007234724A (ja) | 2006-02-28 | 2006-02-28 | 垂直共振器型面発光レーザ、該垂直共振器型面発光レーザにおける二次元フォトニック結晶の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7830943B2 (enExample) |
| JP (1) | JP2007234724A (enExample) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5084540B2 (ja) * | 2008-02-06 | 2012-11-28 | キヤノン株式会社 | 垂直共振器型面発光レーザ |
| JP5152721B2 (ja) * | 2008-03-24 | 2013-02-27 | 国立大学法人横浜国立大学 | 半導体レーザ |
| KR100987358B1 (ko) | 2008-07-07 | 2010-10-13 | 고려대학교 산학협력단 | 포토닉 크리스탈 구조가 형성된 발광 소자 및 그 제조 방법 |
| DE102008058435B4 (de) * | 2008-11-21 | 2011-08-25 | OSRAM Opto Semiconductors GmbH, 93055 | Kantenemittierender Halbleiterlaser |
| JP5777722B2 (ja) * | 2010-10-29 | 2015-09-09 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. | 小モード体積垂直共振器面発光レーザ |
| JP5721422B2 (ja) * | 2010-12-20 | 2015-05-20 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ及びアレイ光源 |
| JP2013161965A (ja) * | 2012-02-06 | 2013-08-19 | Kyoto Univ | 半導体発光素子 |
| JP6133075B2 (ja) * | 2013-02-12 | 2017-05-24 | 古河電気工業株式会社 | 面発光レーザ素子および面発光レーザアレイ素子 |
| WO2020040132A1 (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 株式会社ニコン | 発光デバイス、発光方法、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| JP7504368B2 (ja) * | 2019-12-16 | 2024-06-24 | 国立大学法人京都大学 | 面発光レーザ素子及び面発光レーザ素子の製造方法 |
| CN117613666B (zh) * | 2023-12-05 | 2024-04-30 | 北京工业大学 | 一种高功率大孔径基模涡旋光波导vcsel相干阵列 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3194503B2 (ja) | 1992-06-04 | 2001-07-30 | キヤノン株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
| JP3689615B2 (ja) | 2000-03-29 | 2005-08-31 | キヤノン株式会社 | 立体形状を有する光電融合デバイス |
| FR2832513B1 (fr) * | 2001-11-21 | 2004-04-09 | Centre Nat Rech Scient | Structure a cristal photonique pour la conversion de mode |
| JP2003273456A (ja) * | 2002-03-14 | 2003-09-26 | Japan Science & Technology Corp | 2次元フォトニック結晶面発光レーザ |
| US6810056B1 (en) * | 2002-09-26 | 2004-10-26 | Finisar Corporation | Single mode vertical cavity surface emitting laser using photonic crystals with a central defect |
| JP2004134501A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Sony Corp | 発光素子及びその作製方法 |
| JP2004165461A (ja) * | 2002-11-13 | 2004-06-10 | Sony Corp | 面発光レーザ、電子機器及び面発光レーザの製造方法 |
| JP4641736B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2011-03-02 | ソニー株式会社 | 面発光半導体レーザーとその製造方法及び光学装置 |
| JP4602701B2 (ja) * | 2004-06-08 | 2010-12-22 | 株式会社リコー | 面発光レーザ及び光伝送システム |
-
2006
- 2006-02-28 JP JP2006051892A patent/JP2007234724A/ja active Pending
-
2007
- 2007-02-26 US US11/678,855 patent/US7830943B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2008311625A5 (enExample) | ||
| JP2009217292A5 (enExample) | ||
| JP2007234724A5 (enExample) | ||
| JP2012037912A5 (ja) | 発光装置 | |
| EP1411603A4 (en) | EMISSIONSLASER WITH TWO-DIMENSIONAL PHOTONIC CRYSTAL SURFACE | |
| JP2013042162A5 (enExample) | ||
| JP2008541174A5 (ja) | 光学体 | |
| RU2009103911A (ru) | Модуль осветительного устройства | |
| JP2008532089A5 (enExample) | ||
| DE602007001501D1 (de) | DBR für einen VCSEL mit Schichten ungleicher optischer Dicke | |
| ATE492054T1 (de) | Struktur mit photonischem kristall und oberflächenemissionslaser | |
| JP2015119202A5 (enExample) | ||
| JP2011514624A5 (enExample) | ||
| JP2008210665A5 (enExample) | ||
| JP2011524065A5 (enExample) | ||
| WO2009038122A1 (ja) | 発光素子 | |
| JP2009026754A5 (enExample) | ||
| WO2011106551A3 (en) | Hcg reflection enhancement in diverse refractive index material | |
| JP2011510512A5 (enExample) | ||
| US20150160395A1 (en) | Light guide with light input features | |
| JP2009038304A5 (enExample) | ||
| JP2014528637A5 (enExample) | ||
| JP2004119582A5 (enExample) | ||
| JP2004253811A5 (enExample) | ||
| EP2228836A3 (en) | Light emitting device |