JP2007234724A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- 第１の反射鏡と第２の反射鏡との間に活性層を有する垂直共振器型面発光レーザにおいて、
前記第１および第２の反射鏡の少なくとも一方の反射鏡は、レーザ光の放射領域に穴が面内方向に規則的に配列されている二次元フォトニック結晶を含み構成され、
前記二次元フォトニック結晶を含む反射鏡は、前記レーザ光の放射領域の中央部から周辺部に向かって実効屈折率が低下していることを特徴とする垂直共振器型面発光レーザ。 - 前記中央部に形成されている穴の深さよりも、前記周辺部に形成されている穴の深さが深いことを特徴とする請求項１に記載の垂直共振器型面発光レーザ。
- 前記穴に充填物が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の垂直共振器型面発光レーザ。
- 前記中央部に形成されている穴の径は、前記周辺部に形成されている穴の径よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の垂直共振器型面発光レーザ。
- 前記二次元フォトニック結晶は分布ブラッグ反射鏡に形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の垂直共振器型面発光レーザ。
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