JP2007207865A - ダイシング方法及びダイシング装置 - Google Patents
ダイシング方法及びダイシング装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007207865A JP2007207865A JP2006022739A JP2006022739A JP2007207865A JP 2007207865 A JP2007207865 A JP 2007207865A JP 2006022739 A JP2006022739 A JP 2006022739A JP 2006022739 A JP2006022739 A JP 2006022739A JP 2007207865 A JP2007207865 A JP 2007207865A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dicing
- case
- cooling water
- dicing blade
- blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 46
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 41
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 abstract 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Dicing (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】 高速回転するダイシングブレード2をケース3で囲み、前記ケース内を冷却水4で満たしたダイシング装置で半導体ウェハ1を切削する。ケース3は冷却水を連続的に供給する冷却水ノズル8と冷却水をケース外へ排出する隙間10を有し、これら冷却水の供給速度と排出速度を調整することでケース内に適度な水圧をかけることができ、ダイシングブレード及び切削点を効率良く冷却できる。これにより、冷却不足による半導体装置の欠け、クラックを抑制できる。
【選択図】 図1
Description
2 ダイシングブレード
3 ケース
4 冷却水
5 ダイシングテープ
6 半導体チップ
7 切削点
8 冷却水ノズル
9 ダイシングブレードの回転
10 隙間
11 ブラシ
Claims (6)
- 高速回転するダイシングブレードで半導体ウェハを切削するダイシング方法において、
前記ダイシングブレードをケースで囲む工程と、
前記ケース内を冷却水で満たす工程と、
ダイシングブレード及び切削点を冷却しながらウェハ切削する工程とを含むことを特徴とするダイシング方法。 - 前記ウェハ切削する工程は、前記ケースに取り付けられた、連続して冷却水を供給できる冷却水ノズルにより、冷却水の供給速度を調整することで、ケース内に適度な水圧を確保し、ダイシングブレード及び切削点を冷却しながらウェハ切削することを特徴とする請求項1に記載のダイシング方法。
- 前記ウェハ切削する工程は、前記ケースが半導体ウェハとの間に有する隙間の大きさによって、冷却水のケース外への排出速度を調整することで、ケース内に適度な水圧を確保し、ダイシングブレード及び切削点を冷却しながらウェハ切削することを特徴とする請求項1あるいは2に記載のダイシング方法。
- 前記ウェハ切削する工程は、さらに、前記隙間に設けられたブラシで冷却水の排出速度を減速させ、ケース内の水圧を確保し、ダイシングブレード及び切削点を冷却しながらウェハ切削することを特徴とする請求項3に記載のダイシング方法。
- 高速回転するダイシングブレードが半導体ウェハを切削するダイシング装置において、前記ダイシングブレードと、前記ダイシングブレードを取り囲み前記半導体ウェハとの間に隙間を保つケースと、前記ケース内を満たす冷却水とを有することを特徴とするダイシング装置。
- 高速回転するダイシングブレードが半導体ウェハを切削するダイシング装置において、前記ダイシングブレードと、前記ダイシングブレードを取り囲み前記半導体ウェハとの間に隙間を保つケースと、前記ケース内を満たす冷却水と、前記隙間に設置されたブラシとを有することを特徴とするダイシング装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006022739A JP4885553B2 (ja) | 2006-01-31 | 2006-01-31 | ダイシング方法及びダイシング装置 |
TW096103040A TWI405255B (zh) | 2006-01-31 | 2007-01-26 | 切塊方法及切塊裝置 |
US11/699,794 US7557016B2 (en) | 2006-01-31 | 2007-01-30 | Dicing method using an encased dicing blade submerged in cooling water |
KR1020070009316A KR20070079011A (ko) | 2006-01-31 | 2007-01-30 | 다이싱 방법 및 다이싱 장치 |
CN200710086039XA CN101013680B (zh) | 2006-01-31 | 2007-01-31 | 划片方法和划片装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006022739A JP4885553B2 (ja) | 2006-01-31 | 2006-01-31 | ダイシング方法及びダイシング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007207865A true JP2007207865A (ja) | 2007-08-16 |
JP4885553B2 JP4885553B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=38320790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006022739A Expired - Fee Related JP4885553B2 (ja) | 2006-01-31 | 2006-01-31 | ダイシング方法及びダイシング装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7557016B2 (ja) |
JP (1) | JP4885553B2 (ja) |
KR (1) | KR20070079011A (ja) |
CN (1) | CN101013680B (ja) |
TW (1) | TWI405255B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009231555A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及びチップの生産方法 |
JP2012114196A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2015139860A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 株式会社ディスコ | 切削方法 |
TWI606844B (zh) * | 2016-06-08 | 2017-12-01 | 資生堂股份有限公司 | Eye cosmetic composition |
JP2018117091A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20090024408A (ko) * | 2007-09-04 | 2009-03-09 | 삼성전자주식회사 | 스크라이브 래인 내의 금속 버를 제거하는 노즐을 갖는웨이퍼 소잉 장치, 웨이퍼 소잉 방법 및 이를 이용하여제작된 반도체 패키지 |
US20100175834A1 (en) * | 2009-01-13 | 2010-07-15 | Shin-Kan Liu | Wafer splitting laminate mechanism |
KR101739943B1 (ko) * | 2010-07-07 | 2017-05-25 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 다이싱 블레이드 및 이를 포함하는 웨이퍼 다이싱 장비 |
FI10501U1 (fi) * | 2013-02-26 | 2014-05-27 | Nurmeksen Työstö Ja Tarvike Oy | Kivisaha |
JP6101140B2 (ja) * | 2013-04-18 | 2017-03-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN108724503B (zh) * | 2018-07-25 | 2023-09-08 | 胡才春 | 一种切割机机头壳 |
CN113498545A (zh) * | 2019-03-07 | 2021-10-12 | 三菱电机株式会社 | 半导体芯片制造装置以及半导体芯片制造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5942042A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-03-08 | ベ−エ−ヘ−−ハスインスチツ−ト・エヌ・ベ− | 触媒、その製法およびその使用方法 |
JPH01278310A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-08 | Nec Corp | 半導体ウェハーのダイシング方法 |
JPH06275712A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-09-30 | Nec Kansai Ltd | ダイシング装置 |
JPH11124815A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-05-11 | Masashi Ejima | 舗装路面切断機の円盤型カッター用キャスター付きカバー |
JP2000223445A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Lsiダイシング装置及びダイシング方法 |
JP2004103857A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Tokyo Electron Ltd | ダイシング装置およびダイシング方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5942042U (ja) * | 1982-09-13 | 1984-03-17 | 松下電器産業株式会社 | 基板加工装置 |
JPH07256479A (ja) * | 1994-03-23 | 1995-10-09 | Nippondenso Co Ltd | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
US6253757B1 (en) * | 1998-05-06 | 2001-07-03 | Walter J. Benson | Stone and tile table saw apparatus |
JP2003151924A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-05-23 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング方法およびダイシング装置 |
TWI240965B (en) * | 2003-02-28 | 2005-10-01 | Toshiba Corp | Semiconductor wafer dividing method and apparatus |
-
2006
- 2006-01-31 JP JP2006022739A patent/JP4885553B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-01-26 TW TW096103040A patent/TWI405255B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-01-30 KR KR1020070009316A patent/KR20070079011A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-01-30 US US11/699,794 patent/US7557016B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-01-31 CN CN200710086039XA patent/CN101013680B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5942042A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-03-08 | ベ−エ−ヘ−−ハスインスチツ−ト・エヌ・ベ− | 触媒、その製法およびその使用方法 |
JPH01278310A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-08 | Nec Corp | 半導体ウェハーのダイシング方法 |
JPH06275712A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-09-30 | Nec Kansai Ltd | ダイシング装置 |
JPH11124815A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-05-11 | Masashi Ejima | 舗装路面切断機の円盤型カッター用キャスター付きカバー |
JP2000223445A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Lsiダイシング装置及びダイシング方法 |
JP2004103857A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Tokyo Electron Ltd | ダイシング装置およびダイシング方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009231555A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及びチップの生産方法 |
JP2012114196A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2015139860A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 株式会社ディスコ | 切削方法 |
TWI606844B (zh) * | 2016-06-08 | 2017-12-01 | 資生堂股份有限公司 | Eye cosmetic composition |
JP2018117091A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4885553B2 (ja) | 2012-02-29 |
CN101013680A (zh) | 2007-08-08 |
TWI405255B (zh) | 2013-08-11 |
US7557016B2 (en) | 2009-07-07 |
US20070175466A1 (en) | 2007-08-02 |
KR20070079011A (ko) | 2007-08-03 |
CN101013680B (zh) | 2012-01-18 |
TW200741844A (en) | 2007-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4885553B2 (ja) | ダイシング方法及びダイシング装置 | |
US9314942B2 (en) | Ingot cutting apparatus and ingot cutting method | |
JP2007194469A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2008078581A (ja) | ウエーハのレーザー加工方法 | |
JP2010109228A (ja) | ウェーハ面取り部除去装置及びウェーハ面取り部の除去方法 | |
JP6302732B2 (ja) | 切削方法 | |
JP2010046792A (ja) | 切断装置と切断方法 | |
JP2010214545A (ja) | エンドミル | |
US7572168B1 (en) | Method and apparatus for high speed singulation | |
JP2007331059A (ja) | ダイヤモンドブレードのドレッシング方法 | |
JP2008135712A (ja) | 材料の分割のための装置および方法 | |
JP2008130929A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP2006302939A (ja) | 半導体ウェハーのダイシング方法 | |
JP2008218664A (ja) | 半導体ウエハのダイシング方法 | |
JP2018026397A (ja) | デバイスウエーハの加工方法 | |
JP2007273743A (ja) | 半導体基板のダイシング方法及び半導体基板 | |
JP2005057160A (ja) | ダイシング装置 | |
JP2005279837A (ja) | ワイヤソー用多溝滑車 | |
JP2006012966A (ja) | 切削方法 | |
JP2002319553A (ja) | ダイシング装置 | |
JP4528599B2 (ja) | エピタキシャル基板の製造方法 | |
JP2006059914A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
KR200400394Y1 (ko) | 알루미늄합금용 탈가스장치 | |
JP2009200077A (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
JPH0671563A (ja) | 高速回転式の外周刃ブレードダイサー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081209 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091105 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091113 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110601 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111206 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111208 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4885553 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |