JP2007178230A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ステージ14と、X線測定光学系13と、ステージ14やX線検出器12を移動する駆動機構部16、17と、ステージ14やX線検出器12の現在位置を検出する位置検出手段18と、検出された現在位置と移動限界位置との位置関係を判定する位置判定部35と、ステージ14またはX線検出器12を移動するためのスイッチ手段24e〜24gを含む操作画面24cを表示装置のモニタ画面24aに表示する操作画面表示制御部33と、現在位置と移動限界位置との位置関係の判定結果に基づいて操作画面中のスイッチ手段の表示内容を変更するスイッチ手段表示変更部36とを備える。
【選択図】図1
Description
これらのX線検査装置は、X線源とX線検出器との間に、ステージを配置し、この上に被測定物を載置して位置を調整し、透視X線像を撮影する。また、ステージの他にX線検出器を傾動できるようにして(あるいはX線検出器とX線源とを一体で傾動できるようにして)、斜め方向からの透視X線像を撮影するようにしたものも利用されている。
マウスのクリック操作により、ステージの移動制御を行うことができるようにしたものも利用されている。例えば、図7に示すように、モニタ画面53上に透視X線画像54とともに操作画面55が表示されており、操作画面上の特定領域(選択ボタン)をクリック操作することにより、予めその位置に対応して登録してある制御信号により、ステージ移動機構や傾動機構を制御するようにしてある。
そのため、いつまでもボタンを押し続けることがあり、操作性がよくなかった。リミット位置に達することでモータの安全スイッチが働き停止する場合はまだしも、そうでない場合はモータに過負荷がかかり、モータを損傷することもあった。
上記発明において、スイッチ手段には、移動方向を示すための矢印マークが付され、スイッチ手段表示変更部は前記判定結果に基づいて矢印マークの色を変化させるようにしてもよい。また、スイッチ手段には、移動限界位置までの距離を指示値バー長さで表示するインジケータが表示され、スイッチ手段表示変更部は前記判定結果に基づいてインジケータ中の指示値バー長さと色とを変化させるようにしてもよい。また、スイッチ手段には、移動方向を示すための矢印マークとともに移動限界を表現する限界マーカが表示され、スイッチ手段表示変更部は前記判定結果に基づいて限界マーカの表示色を変化させるようにしてもよい。
ステージ駆動機構16は、ステージ14をXYZ方向に並進移動するとともにZ方向軸に対して回転移動する。すなわち、図2に示すように、前後移動および左右移動(XY並進)、上下移動(Z並進)、Z軸回転(α回転)の4種類の移動を行うことができるようにしてある。
X線検出器12を傾動させる傾動機構17は、図2に示すように、ステージ14に対してXZ面内回転(β傾動)の移動を行うことができるようにしてある。
そして、上記の5種類の移動に対して、それぞれ駆動方向に並進又は回転するためのモータが搭載されており、モータの回転方向(正回転、負回転)に基づいて移動方向が決定されることになる。
11: X線発生装置(X線源)
12: X線検出器
13: X線測定光学系
14: ステージ
16: ステージ駆動機構
17: 傾動機構
18: 位置センサ(位置検出手段)
20: 制御系
23: マウス
24: 表示装置
24a: モニタ画面
24c: 操作画面
24e〜24g:ボタン
24h: インジケータ
33: 操作画面表示制御部
34: 駆動信号発生部
35: 位置判定部
36: スイッチ手段表示変更部
P: 矢印マーク
Q: 限界マーカ
R: 指示バー
Claims (4)
- 被測定物を載置するステージと、
透視用X線を照射するX線源と被測定物の透視X線像を撮影するX線検出器とからなるX線測定光学系と、
少なくともステージまたはX線検出器のいずれかを移動する駆動機構部と、
駆動機構部により移動されるステージまたはX線検出器の現在位置を検出する位置検出手段と、
検出された現在位置と移動限界位置との位置関係を判定する位置判定部と、
前記ステージまたはX線検出器を移動するためのスイッチ手段を含む操作画面を表示装置のモニタ画面に表示する操作画面表示制御部と、
現在位置と移動限界位置との位置関係の判定結果に基づいて操作画面中のスイッチ手段の表示内容を変更するスイッチ手段表示変更部とを備えたことを特徴とするX線検査装置。 - スイッチ手段には、移動方向を示すための矢印マークが付され、スイッチ手段表示変更部は前記判定結果に基づいて矢印マークの色を変化させることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- スイッチ手段には、移動限界位置までの距離を指示値バー長さで表示するインジケータが表示され、スイッチ手段表示変更部は前記判定結果に基づいてインジケータ中の指示値バー長さと色とを変化させることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- スイッチ手段には、移動方向を示すための矢印マークとともに移動限界を表現する限界マーカが表示され、スイッチ手段表示変更部は前記判定結果に基づいて限界マーカの表示色を変化させることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
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