JP2007146262A - 薄膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭素源を含む原料ガスを含む雰囲気下で100〜1600Torrの圧力下において基盤電極5とこの基盤電極5に対向する対向電極7との間にパルス電圧を印加することにより放電プラズマを生じさせ、薄膜6を生成させる。パルス電圧のパルス継続時間が10〜1000nsecである。パルス電圧の印加方向Wと交差する方向Eへと向かって、対向電極5を基盤電極5に対して相対的に移動させながら薄膜6を生成させる。
【選択図】 図2
Description
メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン等のアルカン
エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテン等のアルケン
ペンタジエン、ブタジエン等のアルカジエン
アセチレン、メチルアセチレン等のアルキン、
ベンゼン、トルエン、キシレン、インデン、ナフタレン、フェナントレン等の芳香族炭化水素
シクロプロパン、シクロヘキサン等のシクロアルカン
シクロペンテン、シクロヘキセン等のシクロアルケン
(b) 水素ガス
酸素や水素は放電中に原子状となり、ダイヤモンドと同時に生成するグラファイトを除去する効果を有する。
(d) 希釈ガス
図2を参照しつつ説明した装置を使用し、ダイヤモンド状炭素の薄膜を製造した。電源3としては静電誘導サイリスタ素子を用いた電源を用いた。チャンバー1はアクリル製である。基盤電極5の直径はφ100mmである。基盤電極5の表面に誘電体は被覆されていない。基盤電極5上にシリコン基板(縦50mm、横20mm、厚さ0.5mm)からなる基材4を配置した。基材4の表面から1mm上方に対向電極7を配置した。対向電極7の表面は、直径が5mmであり、ガス吹き出し用に内径3mmの円筒パイプ構造になっている。
比較例と同様にしてダイヤモンド状炭素薄膜を形成した。ただし、図3、図4に示すように対向電極7を縦横に移動させた。対向電極の移動速度は0.05mm/secとし、成膜時間は10分とした。最終的に得られた薄膜の寸法は、幅が約5mm×約40mmである。また、図8に示すような目立った薄膜欠陥は見られなかった(図9)。薄膜を採取し、ラマン分光装置(日本分光社製、「NRS−1000」)を使用して、ラマン分光分析を行った。この結果、波数1350〜1450cm−1にショルダーピークを確認できるのと共に、1580cm−1周辺にメインピークを確認でき、膜品質が良好であることが判明した。
Claims (6)
- 炭素源を含む原料ガスを含む雰囲気下で100〜1600Torrの圧力下において、基盤電極とこの基盤電極に対向する対向電極との間にパルス電圧を印加することにより放電プラズマを生じさせ、薄膜を生成させるのに際して、前記パルス電圧のパルス継続時間が10〜1000nsecであり、前記パルス電圧の印加方向と交差する方向へと向かって前記対向電極と前記基盤電極との少なくとも一方を移動させながら前記薄膜を生成させることを特徴とする、薄膜の製造方法。
- 前記薄膜が実質的にダイヤモンド状炭素からなることを特徴とする、請求項1記載の薄膜の製造方法。
- 前記対向電極に、前記原料ガスの吹き出し口が設けられていることを特徴とする、請求項1または2記載の薄膜の製造方法。
- 前記基盤電極上に誘電体基板を設置し、誘電体基板上に前記薄膜を形成することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の薄膜の製造方法。
- 前記基盤電極上に前記薄膜を形成することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の薄膜の製造方法。
- 前記基盤電極の表面が湾曲面または傾斜面を含むことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載の薄膜の製造方法。
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