JP2007142076A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 33
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005332567A JP4632934B2 (ja) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005332567A JP4632934B2 (ja) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | 基板処理装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007142076A JP2007142076A (ja) | 2007-06-07 |
| JP2007142076A5 true JP2007142076A5 (enExample) | 2008-10-23 |
| JP4632934B2 JP4632934B2 (ja) | 2011-02-16 |
Family
ID=38204603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005332567A Expired - Fee Related JP4632934B2 (ja) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4632934B2 (enExample) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4841451B2 (ja) | 2007-01-31 | 2011-12-21 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
| JP5480617B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-04-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP5706981B2 (ja) * | 2014-02-13 | 2015-04-22 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002086039A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-26 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
| JP2003015529A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Hitachi Ltd | プラズマディスプレイパネル表示装置 |
| JP4179593B2 (ja) * | 2002-08-21 | 2008-11-12 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板周縁処理装置および基板周縁処理方法 |
| JP4112996B2 (ja) * | 2003-01-28 | 2008-07-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP4398215B2 (ja) * | 2003-10-10 | 2010-01-13 | エス・イー・エス株式会社 | ベベルエッチング処理法および処理装置 |
| JP4191009B2 (ja) * | 2003-11-05 | 2008-12-03 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
| JP4409312B2 (ja) * | 2004-02-18 | 2010-02-03 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板周縁処理装置および基板周縁処理方法 |
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2005
- 2005-11-17 JP JP2005332567A patent/JP4632934B2/ja not_active Expired - Fee Related