JP4632934B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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また、この発明にかかる基板処理装置の第2態様は、基板の処理領域に処理液を供給して処理領域に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、上記目的を達成するため、処理液を吐出して処理領域に処理液を供給するノズルを有する供給機構と、供給機構を駆動して供給機構を処理領域から離間した離間位置と処理領域に処理液を供給可能な処理位置とに移動させる供給機構駆動手段と、処理領域に臨む空間に配置され、供給機構と当接可能な当接部材とを備え、当接部材は、基板表面に近接対向して配置されて基板表面を基板の周囲の外部雰囲気から遮断する遮断部材として機能するとともに、その周縁部にノズルが挿入可能な上下方向に貫通する貫通孔を有し、貫通孔の内壁には、ノズルの吐出口周囲のノズル先端面と当接可能な段差部が設けられ、供給機構駆動手段は、供給機構を駆動してノズルを貫通孔に挿入させることにより処理位置に移動させるとともに、ノズルの吐出口周囲のノズル先端面を貫通孔の内壁に設けられた段差部に押し付けることによりノズルを位置決めすることを特徴としている。
また、この発明にかかる基板処理装置の第3の態様は、基板を回転させながら基板に処理液を供給して所定の処理を施す基板処理装置であって、上記目的を達成するため、鉛直軸回りに回転自在に設けられた回転部材と、回転部材を回転させる回転手段と、回転部材に上方に向けて設けられ、基板の下面に当接して該基板を回転部材から離間させて支持する少なくとも3個以上の支持部材を有する支持手段と、基板の上面に近接対向して配置されて基板の上面を基板の周囲の外部雰囲気から遮断するとともに基板の上面に気体を供給することによって基板を支持部材に押圧させて基板を回転部材に保持させる遮断部材と、ノズル先端側の胴部の断面積がノズル後端側の胴部の断面積に対して小さくなるように、ノズル先端側の胴部とノズル後端側の胴部との間に段差面を有し、処理液を吐出して基板の処理領域に対して処理液を供給するノズルを有する供給機構とを備え、遮断部材は、周縁部にノズルが挿入可能な上下方向に貫通する貫通孔を有し、貫通孔の内壁には、ノズルの段差面と当接可能な段差部が設けられ、ノズルは貫通孔に挿入されることによりノズルの段差面が貫通孔の内壁に設けられた段差部に押し付けられることにより位置決めされることを特徴としている。
さらに、この発明にかかる基板処理装置の第4の態様は、基板を回転させながら基板に処理液を供給して所定の処理を施す基板処理装置であって、上記目的を達成するため、 鉛直軸回りに回転自在に設けられた回転部材と、回転部材を回転させる回転手段と、回転部材に上方に向けて設けられ、基板の下面に当接して該基板を回転部材から離間させて支持する少なくとも3個以上の支持部材を有する支持手段と、基板の上面に近接対向して配置されて基板の上面を基板の周囲の外部雰囲気から遮断するとともに基板の上面に気体を供給することによって基板を支持部材に押圧させて基板を回転部材に保持させる遮断部材と、処理液を吐出して基板の処理領域に対して処理液を供給するノズルを有する供給機構とを備え、遮断部材は、周縁部にノズルが挿入可能な上下方向に貫通する貫通孔を有し、貫通孔の内壁には、ノズルの吐出口周囲のノズル先端面と当接可能な段差部が設けられ、ノズルはノズルの吐出口周囲のノズル先端面を貫通孔の内壁に設けられた段差部に押し付けられることにより位置決めされることを特徴としている。
また、支持部材により基板の下面を保持するとともに、基板の上面に気体を供給することによって基板を支持部材に押圧させて基板を回転部材に保持させる場合、遮断部材の貫通孔にノズルを挿入して位置決めしてもよく、これによってノズルが遮断部材に位置決めすることができる。その結果、上記発明と同様の作用効果が得られる。
図1は、この発明にかかる基板処理装置の第1実施形態を示す図である。図2は、図1の基板処理装置の部分斜視図である。この基板処理装置は、半導体ウエハ等の基板表面Wfの周縁部からメタル層やフォトレジスト層などの薄膜をエッチング除去する装置である。具体的には、その表面Wf(デバイス形成面)に薄膜が形成された基板Wの周縁部TR(本発明の「処理領域」に相当)に対して化学薬品または有機溶剤等の薬液や純水またはDIW等のリンス液(以下、「処理液」という)を供給することで該表面周縁部TRから薄膜をエッチング除去するとともに、基板裏面Wbに処理液を供給して裏面Wb全体を洗浄する装置である。
図5は、第2実施形態にかかる基板処理装置の要部を示す図である。この第2実施形態が第1実施形態と大きく相違する点は、周縁処理ノズルの構造が相違する点である。第1実施形態では、周縁処理ノズル7が薬液とリンス液とにそれぞれ対応して、液供給路とその端部を構成する吐出口を有していた、すなわち、薬液に対して薬液供給路701と吐出口701aが設けられる一方、リンス液に対してリンス液供給路702と吐出口702aが設けられていた。これに対して、この第2実施形態では、周縁処理ノズル70は1つの処理液供給路700と、その端部を構成する1つの吐出口700aを有している。つまり、周縁処理ノズル70は処理液供給路700を介して吐出口700aから薬液とリンス液とが選択的に吐出されるように構成されている。なお、その他の構成および動作は基本的に第1実施形態と同様であり、同一構成については同一符号を付してその説明を省略する。
図7は、第3実施形態にかかる基板処理装置の構成を示す図である。この第3実施形態が第1および第2実施形態と大きく相違する点は、第1および第2実施形態では、チャックピン17により基板裏面Wbの周縁部を下方から支持しながら基板Wの端面をメカ的に押圧して基板Wを保持していたのに対して、この第3実施形態では、基板裏面Wbの周縁部を下方から支持ピンにより支持しながら遮断板50と基板表面Wfとで挟まれた空間にガスを供給することにより基板Wを上方から支持ピンに押圧させて保持させている点である。なお、周縁処理ノズルのノズル径を小さくするため、単一の処理液供給路700を介して薬液とリンス液とを選択的に供給する点は第2実施形態と同様である。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、遮断板5,50をノズルに当接可能な当接部材として、遮断板5,50の貫通孔502にノズル7,70を挿入させてノズル7,70を遮断板5,50に押し付けているが、本発明の当接部材はこれに限定されない。例えば、図13に示す当接部材を用いることができる(第4実施形態)。
5a…当接面
7,70…周縁処理ノズル(ノズル、供給機構)
7a,70a…ノズル先端面
7b,70b…段差面
8…位置決め部材(当接部材)
8a…当接面
9…ノズル
9a…ノズル先端面
13…チャック回転駆動機構(回転手段)
25…ガス供給ユニット(ガス供給手段)
71…ノズルアーム(供給機構)
73…駆動機構(供給機構駆動手段)
502…貫通孔
503…段差部
504…ガス導入部
703…ノズル先端側の胴部
704…ノズル後端側の胴部
P1…離間位置
P2…処理位置
TR…(基板の)表面周縁部(処理領域)
W…基板
Claims (8)
- 基板の処理領域に処理液を供給して前記処理領域に対して所定の処理を施す基板処理装置において、
処理液を吐出して前記処理領域に前記処理液を供給するノズルを有する供給機構と、
前記供給機構を駆動して前記供給機構を前記処理領域から離間した離間位置と前記処理領域に処理液を供給可能な処理位置とに移動させる供給機構駆動手段と、
前記処理領域に臨む空間に配置され、前記供給機構と当接可能な当接部材と
を備え、
前記ノズルは、ノズル先端側の胴部の断面積がノズル後端側の胴部の断面積に対して小さくなるように、前記ノズル先端側の胴部と前記ノズル後端側の胴部との間に段差面を有しており、
前記当接部材は、前記基板表面に近接対向して配置されて前記基板表面を前記基板の周囲の外部雰囲気から遮断する遮断部材として機能するとともに、その周縁部に前記ノズルが挿入可能な上下方向に貫通する貫通孔を有し、
前記貫通孔の内壁には、前記ノズルの段差面と当接可能な段差部が設けられ、
前記供給機構駆動手段は、前記供給機構を駆動して前記ノズルを前記貫通孔に挿入させることにより前記処理位置に移動させるとともに、前記ノズルの段差面を前記貫通孔の内壁に設けられた段差部に押し付けることにより前記ノズルを位置決めすることを特徴とする基板処理装置。 - 基板の処理領域に処理液を供給して前記処理領域に対して所定の処理を施す基板処理装置において、
処理液を吐出して前記処理領域に前記処理液を供給するノズルを有する供給機構と、
前記供給機構を駆動して前記供給機構を前記処理領域から離間した離間位置と前記処理領域に処理液を供給可能な処理位置とに移動させる供給機構駆動手段と、
前記処理領域に臨む空間に配置され、前記供給機構と当接可能な当接部材と
を備え、
前記当接部材は、前記基板表面に近接対向して配置されて前記基板表面を前記基板の周囲の外部雰囲気から遮断する遮断部材として機能するとともに、その周縁部に前記ノズルが挿入可能な上下方向に貫通する貫通孔を有し、
前記貫通孔の内壁には、前記ノズルの吐出口周囲のノズル先端面と当接可能な段差部が設けられ、
前記供給機構駆動手段は、前記供給機構を駆動して前記ノズルを前記貫通孔に挿入させることにより前記処理位置に移動させるとともに、前記ノズルの吐出口周囲のノズル先端面を前記貫通孔の内壁に設けられた段差部に押し付けることにより前記ノズルを位置決めすることを特徴とする基板処理装置。 - 前記ノズルでは前記段差面が前記基板表面に略平行に形成される一方、前記当接部材では前記ノズルと当接する当接面が前記基板表面に略平行に形成される請求項1記載の基板処理装置。
- 前記処理領域として前記基板表面の周縁部に処理液を供給して該基板表面の周縁部に所定の処理を施す請求項1ないし3のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記基板を回転させる回転手段をさらに備え、
前記処理位置に移動された前記供給機構から処理液を前記基板の径方向外側に向けて吐出して前記回転手段により回転される前記基板表面の周縁部に処理液を供給する基板処理装置。 - 前記貫通孔の内壁には、ガス導入部が開口され、
前記ガス導入部にガスを供給して前記貫通孔にガスを導入するガス供給手段をさらに備える請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記ガス導入部は前記貫通孔の内壁に設けられた段差部に対して、前記基板から離間する方向に開口されている請求項5記載の基板処理装置。
- 基板を回転させながら前記基板に処理液を供給して所定の処理を施す基板処理装置において、
鉛直軸回りに回転自在に設けられた回転部材と、
前記回転部材を回転させる回転手段と、
前記回転部材に上方に向けて設けられ、前記基板の下面に当接して該基板を前記回転部材から離間させて支持する少なくとも3個以上の支持部材を有する支持手段と、
前記基板の上面に近接対向して配置されて前記基板の上面を前記基板の周囲の外部雰囲気から遮断するとともに前記基板の上面に気体を供給することによって前記基板を前記支持部材に押圧させて前記基板を前記回転部材に保持させる遮断部材と、
ノズル先端側の胴部の断面積がノズル後端側の胴部の断面積に対して小さくなるように、前記ノズル先端側の胴部と前記ノズル後端側の胴部との間に段差面を有し、処理液を吐出して前記基板の処理領域に対して前記処理液を供給するノズルを有する供給機構とを備え、
前記遮断部材は、周縁部に前記ノズルが挿入可能な上下方向に貫通する貫通孔を有し、
前記貫通孔の内壁には、前記ノズルの段差面と当接可能な段差部が設けられ、
前記ノズルは前記貫通孔に挿入されることにより前記ノズルの段差面が前記貫通孔の内壁に設けられた段差部に押し付けられることにより位置決めされる
ことを特徴とする基板処理装置。 - 基板を回転させながら前記基板に処理液を供給して所定の処理を施す基板処理装置において、
鉛直軸回りに回転自在に設けられた回転部材と、
前記回転部材を回転させる回転手段と、
前記回転部材に上方に向けて設けられ、前記基板の下面に当接して該基板を前記回転部材から離間させて支持する少なくとも3個以上の支持部材を有する支持手段と、
前記基板の上面に近接対向して配置されて前記基板の上面を前記基板の周囲の外部雰囲気から遮断するとともに前記基板の上面に気体を供給することによって前記基板を前記支持部材に押圧させて前記基板を前記回転部材に保持させる遮断部材と、
処理液を吐出して前記基板の処理領域に対して前記処理液を供給するノズルを有する供給機構とを備え、
前記遮断部材は、周縁部に前記ノズルが挿入可能な上下方向に貫通する貫通孔を有し、
前記貫通孔の内壁には、前記ノズルの吐出口周囲のノズル先端面と当接可能な段差部が設けられ、
前記ノズルは前記ノズルの吐出口周囲のノズル先端面を前記貫通孔の内壁に設けられた段差部に押し付けられることにより位置決めされる
ことを特徴とする基板処理装置。
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