JP4619144B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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図1は、この発明にかかる基板処理装置の第1実施形態を示す図である。図2は、図1の基板処理装置の部分断面図である。また、図3は、図1の基板処理装置の部分平面図である。この基板処理装置は、半導体ウエハ等の基板表面Wfの周縁部および裏面Wbからメタル層やフォトレジスト層などの薄膜TFをエッチング除去する装置である。具体的には、その表面Wfに薄膜が形成された基板Wの周縁部(本発明の「処理領域」に相当)に対して化学薬品または有機溶剤等の薬液や純水またはDIW等のリンス液(以下、「処理液」という)を供給することで該表面周縁部から薄膜TFをエッチング除去するとともに、基板裏面Wbに処理液を供給して裏面Wb全体を洗浄する装置である。
図5は、この発明にかかる基板処理装置の第2実施形態を示す要部断面図である。この第2実施形態が第1実施形態と大きく相違する点は、カバーリンスノズルからのリンス液を遮断板5上に供給するのではなく、基板表面Wfの非処理領域NTR(非対向部位NTR2)に直接供給している点であり、その他の構成および動作は基本的に第1実施形態と同様である。したがって、以下においては相違点を中心に説明する。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、基板表面Wfの周縁部の処理領域TRに対して内側の非処理領域NTRのうち、中央部を対向部位NTR1として遮断板5で覆う一方、処理領域TRに隣接する円環状の非対向部位NTR2をリンス液で覆って保護しているが、これに限定されず、リンス液の接液によって影響を受ける部位を遮断板5で覆って、それ以外の部位をリンス液で覆って保護すればよい。ここで、遮断板5の形状は平面視において円形に限定されず、被保護領域の形状に応じて例えば三角形、四角形などの多角形、あるいは扇形などであってもよい。
3…下面側処理液ノズル(裏面洗浄手段)
4…制御ユニット(制御手段)
5…遮断板(遮断部材)
5a…(遮断部材の)対向面
7,8…カバーリンスノズル(カバーリンス手段)
9…周縁処理ノズル(エッチング手段)
13…チャック回転駆動機構(基板回転手段)
15…スピンベース(ベース部材)
17…支持ピン(支持部材)
41…メモリ(記憶部)
53…ガス供給路(押圧機構)
55…ガスノズル(押圧機構)
61…遮断板回転駆動機構(遮断部材回転手段)
91…ノズル駆動機構(駆動手段)
D1…(遮断部材の対向面の)平面サイズ
D2…(非処理領域の)平面サイズ
EH…周縁エッチング幅
NTR…非処理領域
NTR1…対向部位
NTR2…非対向部位
TR…処理領域
W…基板
Wb…基板裏面
Wf…基板表面
Claims (12)
- 基板を保持し回転させる基板保持手段と、
その表面周縁部に処理領域と該処理領域に対して内側に非処理領域とを有する前記基板表面の前記非処理領域に対向可能に構成され前記非処理領域の平面サイズよりも小さな平面サイズを有する対向面を有し、該対向面を前記非処理領域に近接させることで前記対向面により前記非処理領域を覆う遮断部材と、
回転する前記基板表面の前記遮断部材の対向面で覆われていない非対向部位に対し、前記遮断部材の側壁面の外側に位置決めしたノズルからリンス液を供給することによって該非対向部位を前記リンス液で覆うカバーリンス手段と
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記遮断部材の対向面の平面サイズは前記基板表面の非処理領域に形成された回路形成領域の平面サイズと同等の大きさを有する請求項1記載の基板処理装置。
- 前記カバーリンス手段は前記非処理領域のうち前記処理領域に隣接する前記非対向部位に対してリンス液を供給する請求項1または2記載の基板処理装置。
- 前記処理領域に薬液を供給して前記表面周縁部から不要物をエッチング除去するエッチング手段をさらに備える請求項1ないし3のいずれかに記載の基板処理装置。
- その表面周縁部に処理領域と該処理領域に対して内側に非処理領域とを有する基板に処理液を供給して前記処理領域に対して所定の処理を施す基板処理装置において、
基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段を回転させることで基板を回転させる基板回転手段と、
前記基板表面の非処理領域に対向可能に構成され前記非処理領域の平面サイズよりも小さな平面サイズを有する対向面を有し、該対向面を前記非処理領域に近接させることで前記対向面により前記非処理領域を覆う遮断部材と、
前記非処理領域のうち前記処理領域に隣接し、前記遮断部材の対向面で覆われていない非対向部位に対し、前記遮断部材の側壁面の外側に位置決めしたノズルから前記処理液としてリンス液を供給することによって該非対向部位を前記リンス液で覆うカバーリンス手段と、
前記カバーリンス手段に対して前記基板の径方向外側に配置され、前記基板表面の周縁部に前記処理液として薬液を供給して該表面周縁部から不要物をエッチング除去するエッチング手段と
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記遮断部材を回転させる遮断部材回転手段をさらに備える請求項5記載の基板処理装置。
- 前記エッチング手段を駆動して前記基板の径方向に沿って移動させる駆動手段と、前記駆動手段を制御して前記基板表面の周縁部に対する前記エッチング手段の相対位置を調整し、前記基板表面の周縁部における前記薬液によるエッチング幅を制御する制御手段とをさらに備える請求項5または6記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記エッチング処理の内容を規定する処理レシピとエッチング幅とを関連付けたジョブデータを複数個記憶する記憶部を備え、前記複数の処理レシピから選択された処理レシピで規定されるエッチング処理を実行する請求項7記載の基板処理装置であって、
前記制御手段は、選択された処理レシピに対応するジョブデータを前記記憶部から読出し、該ジョブデータに基づき前記エッチング手段を移動させてエッチング幅を制御する基板処理装置。 - 前記カバーリンス手段は前記非対向部位に前記リンス液が落下するように前記遮断部材上にリンス液を供給する請求項6ないし8のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記カバーリンス手段は前記非対向部位に向けて下向きかつ前記基板の径方向外向きに前記リンス液を供給する請求項5ないし8のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記基板裏面に処理液を供給して該基板裏面を洗浄する裏面洗浄手段をさらに備える請求項5ないし10のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記基板保持手段は、回転自在に設けられたベース部材と、前記基板裏面に当接して該基板を前記ベース部材から離間させて支持する複数の支持部材と、前記基板表面に気体を供給することによって前記基板を前記支持部材に押圧させて前記ベース部材に保持させる押圧機構とを有する請求項5ないし11のいずれかに記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005019596A JP4619144B2 (ja) | 2005-01-27 | 2005-01-27 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005019596A JP4619144B2 (ja) | 2005-01-27 | 2005-01-27 | 基板処理装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008014639A Division JP2008177584A (ja) | 2008-01-25 | 2008-01-25 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006210580A JP2006210580A (ja) | 2006-08-10 |
JP4619144B2 true JP4619144B2 (ja) | 2011-01-26 |
Family
ID=36967092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005019596A Expired - Fee Related JP4619144B2 (ja) | 2005-01-27 | 2005-01-27 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4619144B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4708286B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2011-06-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP4755573B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2011-08-24 | 東京応化工業株式会社 | 処理装置および処理方法、ならびに表面処理治具 |
JP4936878B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-05-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP4854597B2 (ja) * | 2007-05-29 | 2012-01-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP4931699B2 (ja) * | 2007-05-29 | 2012-05-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP5227441B2 (ja) * | 2011-04-18 | 2013-07-03 | 東京応化工業株式会社 | 処理装置 |
KR102054367B1 (ko) | 2013-05-06 | 2019-12-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유체 도포 장치 |
TWI569349B (zh) | 2013-09-27 | 2017-02-01 | 斯克林集團公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
TWI597770B (zh) | 2013-09-27 | 2017-09-01 | 斯克林集團公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
JP6672091B2 (ja) | 2016-06-24 | 2020-03-25 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
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2005
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JP2004214695A (ja) * | 2004-03-22 | 2004-07-29 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
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JP2006210580A (ja) | 2006-08-10 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101026 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131105 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131105 Year of fee payment: 3 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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