KR102054367B1 - 유체 도포 장치 - Google Patents

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Abstract

기판에 유체를 도포하는 유체 도포 장치는 상기 기판 상에 위치하며, 상기 기판에 상기 유체를 도포하는 노즐, 및 상기 기판과 상기 노즐 사이에 선택적으로 위치하는 차단판을 포함한다.

Description

유체 도포 장치{APPARATUS FOR DISPENSING FLUID}
본 발명은 유체 도포 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 유체를 도포하는 유체 도포 장치에 관한 것이다.
유체 도포 장치는 유체를 도포하는 장치로서, 최근 유기 물질을 포함하는 절연층을 기판에 형성할 때 이용되고 있다.
유체 도포 장치는 유기 물질을 포함하는 유체를 기판으로 도포하는 노즐을 포함한다.
그런데, 종래의 유체 도포 장치는 기판에 대한 유체의 도포를 차단할 때, 기판으로부터 노즐까지 유체가 선형으로 연장되어 있음으로써, 차단하고자 하는 양보다 많은 양이 기판에 도포되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판에 대한 유체의 도포를 용이하게 차단하는 유체 도포 장치를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면은 기판에 유체를 도포하는 유체 도포 장치에 있어서, 상기 기판 상에 위치하며, 상기 기판에 상기 유체를 도포하는 노즐, 및 상기 기판과 상기 노즐 사이에 선택적으로 위치하는 차단판을 포함하는 유체 도포 장치를 제공한다.
상기 차단판은, 차단판 본체, 및 상기 차단판 본체의 단부 상에 위치하며, 상기 차단판 본체의 표면으로부터 상측 방향으로 절곡 연장된 제1 경사면을 포함하는 돌출부를 포함할 수 있다.
상기 돌출부는 상기 제1 경사면의 단부로부터 상기 차단판 본체 방향으로 절곡 연장된 제2 경사면을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 경사면의 단부는 상기 차단판 본체의 단부 대비 외측으로 돌출될 수 있다.
상기 차단판 및 상기 노즐 중 어느 하나와 연결되며, 상기 어느 하나에 음전위를 발생시키는 음전위 공급부, 및 상기 차단판 및 상기 노즐 중 다른 하나와 연결되며, 상기 다른 하나에 양전위를 발생시키는 양전위 공급부를 포함할 수 있다.
상기 노즐과 상기 차단판 사이를 연결하며, 선택적으로 상기 유체와 접촉하는 연결부를 더 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 기판에 대한 유체의 도포를 용이하게 차단하는 유체 도포 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유체 도포 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유체 도포 장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유체 도포 장치를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 제4 실시예에 따른 유체 도포 장치를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 유체 도포 장치를 설명한다. 이하에서, 유체는 유기 물질, 금속 물질 또는 무기 물질 등을 포함하는 용액일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유체 도포 장치를 나타낸 도면이다.
도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유체 도포 장치(1000)는 안착판(10) 상에 안착된 기판(20) 등의 피도포체로 유체(F)를 도포하며, 노즐(100) 및 차단판(200)을 포함한다.
노즐(100)은 기판(20) 상에 위치하며, 기판(20)에 유체(F)를 도포한다. 기판(20)에 도포된 유체(F)는 절연층 또는 패턴부를 형성할 수 있다. 노즐(100)은 노즐(100)로 유체(F)를 공급하는 유체 공급부(미도시) 및 유체 공급부와 노즐(100) 사이에 위치하여 유체(F)를 노즐(100)로 펌핑(pumping)하는 유체 펌프(미도시)와 연결될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 유체(F)를 노즐(100)로 공급하는 어떠한 구성과도 연결될 수 있다.
차단판(200)은 기판(20) 상에 위치하고 있으며, 선택적으로 기판(20)과 노즐(100) 사이에 위치할 수 있다. 차단판(200)은 다양한 구성에 의해 슬라이딩(sliding)하여 선택적으로 기판(20)과 노즐(100) 사이에 위치할 수 있다. 일례로, 차단판(200)의 양 단부 측에는 차단판(200)의 슬라이딩 운동을 위한 전자석이 배치될 수 있으며, 다른 예로, 차단판(200)의 슬라이딩을 위한 슬라이딩 가이드부가 차단판(200)을 지지할 수 있다.
차단판(200)은 차단판 본체(210) 및 돌출부(220)를 포함한다.
차단판 본체(210)는 판 형태이며, 다양한 구성에 의해 슬라이딩하여 선택적으로 기판(20)과 노즐(100) 사이에 위치할 수 있다.
돌출부(220)는 차단판 본체(210)의 단부 상에 위치하며, 차단판 본체(210)로부터 상측으로 돌출되어 있다. 돌출부(220)는 차단판 본체(210)의 표면으로부터 상측 방향으로 절곡 연장된 제1 경사면(221)을 포함한다. 제1 경사면(221)은 노즐(100) 방향으로 경사져 연장되어 있다.
도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유체 도포 장치(1000)는 기판(20)에 대한 유체(F)의 도포를 차단할 때, 기판(20)과 노즐(100) 사이로 차단판(200)을 위치시킴으로써, 기판(20)에 대한 유체(F)의 도포를 즉시 차단할 수 있다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유체 도포 장치(1000)는 차단판(200)이 단부에 노즐(100) 방향으로 경사져 연장된 제1 경사면(221)을 포함하는 돌출부(220)를 포함함으로써, 차단판(200)이 노즐(100)과 기판(20) 사이에 위치할 때, 유체(F)가 차단판(200)에 의해 튀지 않고 제1 경사면(221)을 따라 차단판(200)에 의해 차단된다. 즉, 유체(F)가 차단판(200)에 의해 튀어 의도치 않게 기판(20)으로 도포되는 것이 억제된다.
즉, 기판(20)에 대한 유체(F)의 도포를 용이하게 차단하는 유체 도포 장치(1000)가 제공된다.
이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 유체 도포 장치를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제2 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유체 도포 장치를 나타낸 도면이다.
도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유체 도포 장치(1002)의 돌출부(220)는 제1 경사면(221)의 단부로부터 차단판 본체(210) 방향으로 절곡 연장된 제2 경사면(222)을 포함한다. 즉, 돌출부(220)가 제1 경사면(221) 및 제1 경사면(221)으로부터 절곡 연장된 제2 경사면(222)을 포함함으로써, 제1 경사면(221)의 단부는 차단판 본체(210)의 단부 대비 외측으로 돌출되어 있다.
도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유체 도포 장치(1002)는 돌출부(220)가 제1 경사면(221) 및 제2 경사면(222)을 포함함으로써, 차단판(200)이 노즐(100)과 기판(20) 사이에 위치할 때, 유체(F)가 차단판(200)에 의해 튀지 않고 제1 경사면(221)을 따라 차단판(200)에 의해 차단된다. 즉, 유체(F)가 차단판(200)에 의해 튀어 의도치 않게 기판(20)으로 도포되는 것이 억제된다.
또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유체 도포 장치(1002)는 돌출부(220)가 제1 경사면(221) 및 제2 경사면(222)을 포함함으로써, 차단판(200)이 노즐(100)과 기판(20) 사이에 위치하여 최초 돌출부(220)가 유체(F)와 접촉할 때, 유체(F)가 제2 경사면(222)을 따라 기판(20)으로 흐르는 것이 억제된다.
즉, 기판(20)에 대한 유체(F)의 도포를 용이하게 차단하는 유체 도포 장치(1002)가 제공된다.
이하, 도 3을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 유체 도포 장치를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제3 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유체 도포 장치를 나타낸 도면이다.
도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 유체 도포 장치(1003)는 노즐(100), 차단판(200), 음전위 공급부(300) 및 양전위 공급부(400)를 포함한다.
음전위 공급부(300)는 차단판(200)과 연결되며, 차단판(200)에 음전위를 발생시킨다. 음전위 공급부(300)는 차단판(200)으로 전류, 전기장 또는 자기장 등을 공급하여 차단판(200)에 음전위를 발생시킬 수 있다.
양전위 공급부(400)는 노즐(100)과 연결되며, 노즐(100)에 양전위를 발생시킨다. 노즐(100)에 양전위가 발생됨으로써, 노즐(100)을 통해 기판(20)으로 도포되는 유체(F)에도 양전위가 발생된다. 양전위 공급부(400)는 노즐(100)로 전류, 전기장 또는 자기장 등을 공급하여 노즐(100)에 음전위를 발생시킬 수 있다.
다른예로, 음전위 공급부(300)는 노즐(100)과 연결될 수 있으며, 양전위 공급부(400)는 차단판(200)과 연결될 수 있다. 즉, 차단판(200) 및 노즐(100) 중 어느 하나는 음전위 공급부(300)와 연결되며, 다른 하나는 양전위 공급부(400)와 연결될 수 있다.
도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 유체 도포 장치(1003)는 기판(20)에 대한 유체(F)의 도포를 차단할 때, 음전위 공급부(300) 및 양전위 공급부(400) 각각에 의해 차단판(200) 및 노즐(100) 각각에 음전위 및 양전위 각각을 발생시킴으로써, 차단판(200)이 노즐(100)과 기판(20) 사이에 위치하거나 또는 위치하지 않더라도, 전위차를 이용해 노즐(100)로부터 기판(20)으로 도포되는 유체(F)를 차단판(200) 측으로 흐르도록 제어할 수 있다. 이로 인해, 유체(F)가 차단판(200)에 의해 튀어 의도치 않게 기판(20)으로 도포되는 것이 억제된다.
즉, 기판(20)에 대한 유체(F)의 도포를 용이하게 차단하는 유체 도포 장치(1003)가 제공된다.
이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 유체 도포 장치를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제4 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 제4 실시예에 따른 유체 도포 장치를 나타낸 도면이다.
도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 유체 도포 장치(1004)는 노즐(100), 차단판(200), 및 연결부(500)를 포함한다.
연결부(500)는 노즐(100)과 차단판(200) 사이를 연결하며, 선택적으로 유체(F)와 접촉한다. 연결부(500)는 실, 플라스틱, 또는 철사일 수 있다.
도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 유체 도포 장치(1004)는 기판(20)에 대한 유체(F)의 도포를 차단할 때, 연결부(500)를 유체(F)와 접촉시킴으로써, 차단판(200)이 노즐(100)과 기판(20) 사이에 위치하거나 또는 위치하지 않더라도, 연결부(500)의 표면장력을 이용해 노즐(100)로부터 기판(20)으로 도포되는 유체(F)를 연결부(500)를 통해 차단판(200) 측으로 흐르도록 제어할 수 있다. 이로 인해, 유체(F)가 차단판(200)에 의해 튀어 의도치 않게 기판(20)으로 도포되는 것이 억제된다.
즉, 기판(20)에 대한 유체(F)의 도포를 용이하게 차단하는 유체 도포 장치(1004)가 제공된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
기판(20), 유체(F), 노즐(100), 차단판(200)

Claims (6)

  1. 기판에 유체를 도포하는 유체 도포 장치에 있어서,
    상기 기판 상에 위치하며, 상기 기판에 상기 유체를 도포하는 노즐; 및
    상기 기판과 상기 노즐 사이에 선택적으로 위치하는 차단판
    을 포함하며,
    상기 차단판은
    차단판 본체; 및
    상기 차단판 본체의 단부 상에 위치하며, 상기 차단판 본체의 표면으로부터 상측 방향으로 절곡 연장된 제1 경사면을 포함하는 돌출부
    를 포함하는 유체 도포 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에서,
    상기 돌출부는 상기 제1 경사면의 단부로부터 상기 차단판 본체 방향으로 절곡 연장된 제2 경사면을 더 포함하는 유체 도포 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 제1 경사면의 단부는 상기 차단판 본체의 단부 대비 외측으로 돌출된 유체 도포 장치.
  5. 기판에 유체를 도포하는 유체 도포 장치에 있어서,
    상기 기판 상에 위치하며, 상기 기판에 상기 유체를 도포하는 노즐;
    상기 기판과 상기 노즐 사이에 선택적으로 위치하는 차단판;
    상기 차단판 및 상기 노즐 중 어느 하나와 연결되며, 상기 어느 하나에 음전위를 발생시키는 음전위 공급부; 및
    상기 차단판 및 상기 노즐 중 다른 하나와 연결되며, 상기 다른 하나에 양전위를 발생시키는 양전위 공급부
    를 포함하는 유체 도포 장치.
  6. 기판에 유체를 도포하는 유체 도포 장치에 있어서,
    상기 기판 상에 위치하며, 상기 기판에 상기 유체를 도포하는 노즐;
    상기 기판과 상기 노즐 사이에 선택적으로 위치하는 차단판; 및
    상기 노즐과 상기 차단판 사이를 연결하며, 선택적으로 상기 유체와 접촉하는 연결부
    를 포함하는 유체 도포 장치.
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