JP2007116388A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】レベルシフト回路に供給される電源が低い場合に、負荷に流れる出力電流を抑え、負荷の誤動作を防止できる半導体装置を提供することができる。
【解決手段】
本発明にかかる半導体装置1は、ゲートに入力されるゲート信号S1に応じて、L負荷2に流れる電流を制御する出力MOSトランジスタM0と、Vcc端子の電源電圧に基づいて、入力信号のレベルをシフトしゲート信号を生成するレベルシフト回路12と、電源電圧に基づいて、L負荷2と出力MOSトランジスタM0との間の出力電圧を検出し、ゲート信号のレベルを調整する制御信号調整回路と、を備えるものである。
【選択図】 図2

Description

本発明は、半導体装置に関し、特にスイッチング素子の制御信号を駆動する駆動回路を有する半導体装置に関する。
近年、自動車電装用のエンジンコントロールユニット等に用いられているリレーは無接点化を目的としてパワーMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)等の半導体デバイスに置き換えられている。最近では、このパワーMOSFETに電流制限回路や過熱検知回路を内蔵したIPD(Inteligent Power Device)が用いられるようになっている。
図5は、従来のIPDの一例を示している。この従来のIPD900は、出力耐圧60Vクラスで5V駆動可能なIPDである。図に示されるように、従来のIPD900は、OUT端子とGND端子の間に出力MOSトランジスタM90が接続され、出力MOSトランジスタM90のゲートには、IN端子が接続されている。従来のIPD900は、マイコン(マイクロコンピュータ)の制御信号により駆動され、IN端子にはマイコンから5V系の駆動信号S0が入力される。従来のIPD900は、IN端子とGND端子の間に電流制限回路や過熱検知回路を含む保護回路91設けて、出力MOSトランジスタM90を過電流や過熱から保護している。
また、OUT端子にはインダクタンス成分を含む負荷(L負荷)が接続され、出力MOSトランジスタM90をオン/オフすることで負荷を駆動する。この例では、電源とスイッチの間に負荷が接続され、負荷の低電位側にスイッチが設けられるため、IPDはローサイドスイッチとして動作する。
図6は、従来のIPDの他の例を示している。この従来のIPD901は出力耐圧100V以上のIPDである。従来のIPD901は、高耐圧化したことにより、出力MOSトランジスタM90のオン抵抗特性が悪化するため、できるだけ高いゲート電圧で出力MOSトランジスタM90を駆動する必要がある。そこで、従来のIPD901では、5V系の駆動信号S0をバッテリ電圧の14V系のゲート信号S1に変換するレベルシフト回路92を内蔵している。
レベルシフト回路92は、Vcc端子とGND端子の間に、抵抗R91とMOSトランジスタN91、抵抗R92とMOSトランジスタN92を有している。レベルシフト回路92は、IN端子に入力された駆動信号S0をVcc端子に供給された電圧へレベルシフトし、レベルシフトしたゲート信号S1を出力MOSトランジスタM90のゲートへ出力する。
図7は、従来のIPD901において、Vcc端子に電圧が印加されていない場合の波形を示している。図7(a)はOUT端子の電圧を示し、図7(b)は出力MOSトランジスタM90のゲート電圧を示し、図7(c)はOUT端子の電流を示している。
従来のIPD901では、Vcc端子に電圧が印加されていない場合、レベルシフト回路92からもゲート信号S1が出力されないため、出力MOSトランジスタM90のゲート電圧は0Vである。そして、図7(a)のように、時間t1にOUT端子に急峻なステップ状の電圧が印加されると、出力MOSトランジスタM90の寄生容量C91,C92によって、図7(b)のように、出力MOSトランジスタM90のゲート電圧が上昇する。そうすると、出力MOSトランジスタM90が一時的にオンするため、図7(c)のように、OUT端子に電流が流れてしまう。
すなわち、従来のIPD901では、Vcc端子に電圧が印加されていない状態で、出力端子に急峻なステップ状の電圧が印加されると、出力端子に電流が流れてしまうという問題があった。
同様の問題を解決する従来技術として、出力トランジスタの貫通電流を低減する半導体装置が特許文献1に記載されている。特許文献1では、プリドライバに電源が供給されていない場合に、出力ドライバの出力インピーダンスを大きくして、出力ドライバに流れる貫通電流等を防いでいる。
図8は、特許文献1に記載のプッシュプル構成の半導体装置を、オープンドレイン構成のローサイドIPDに適用した場合の例を示している。
この従来のIPD902では、プリドライバ911の出力をレベルシフタ912でシフトし、インバータ918で反転させて出力MOSトランジスタ920をオン/オフし、L負荷919を駆動している。さらに、従来のIPD902は、電源端子LVDDの電位を検出する電源電位検出回路930を有している。
電源電位検出回路930は、プリドライバ911の電源端子LVDDに電源が供給されていない場合に、出力MOSトランジスタ920をカットオフする。電源端子LVDDに電源が供給されていない場合、電源電位検出回路930のNch型のMOSトランジスタ915がオフする。そして、電源端子HVDDとL負荷919間の電位にしたがってインバータ916はローレベルを出力し、Pch型のMOSトランジスタ917がオンし、インバータ918はローレベルを出力するため、出力MOSトランジスタ920はカットオフする。
しかしながら、この従来のIPD902では、HVDD端子に電源が供給されていない場合には、電源電位検出回路930は動作せず、またインバータ918の出力も不定となってしまう。したがって、電源電圧が低くインバータが不安定な状態では、L負荷919を介してOUT端子に電圧が印加された場合、図7と同様に、出力MOSトランジスタ920のゲートが浮いてオンしてしまうため、L負荷919に電流が流れるという問題を解決することができない。
特開2002−185299号公報
上記のように、従来のIPD等の半導体装置では、Vcc端子に電圧が印加されていない場合に、出力端子に急峻なステップ状の電圧が印加されると、出力MOSトランジスタの寄生容量により出力端子のゲート電位が上昇し、出力端子に電流が流れてしまうという問題点があった。
OUT端子とVcc端子に接続される電源は同じバッテリ電圧であっても、別々の電源スイッチを介して電源の供給が制御される場合がある。このような場合に、それらの電源スイッチがオンするタイミングのずれによって、レベルシフト回路に電源が与えられていない状態でL負荷を介してOUT端子に電圧が印加される恐れがあり、上記の問題が生じる。
通常、IPDに接続されるL負荷は、電磁リレーをオンオフさせるコイルであったり、燃料をエンジンに噴射するインジェクタに使用されているコイルであり、このコイルに電流が流れることにより、電磁リレーやインジェクタが誤動作することになり、安全を第一とする自動車電装用のエンジンコントロールユニットに使用される部品としては信頼性の面で大きな問題となる。
本発明にかかる半導体装置は、制御端子に入力される制御信号に応じて、負荷に流れる電流を制御するスイッチング素子と、電源電圧に基づいて、入力信号のレベルをシフトし前記制御信号を生成するレベルシフト回路と、前記電源電圧に基づいて、前記負荷と前記スイッチング素子との間の出力電圧を検出し、前記制御信号のレベルを調整する制御信号調整回路と、を備えるものである。
この半導体装置によれば、レベルシフト回路の電源電圧が低く、スイッチング素子に高電圧が印加されるような場合に、制御信号の上昇を抑え、スイッチング素子の状態を維持することができる。したがって、負荷に流れる出力電流を低減し、負荷の誤動作を防止することができる。また、負荷とスイッチング素子間の電圧を検出し、スイッチング素子に入力される制御信号を直接調整することにより、スイッチング素子の状態を精度よく制御することができる。
本発明にかかる半導体装置は、負荷を接続する出力端子と低電位端子との間に接続された出力トランジスタと、高電位端子と低電位端子との間に接続され、入力信号をレベルシフトした制御信号を前記出力トランジスタの制御端子に入力するレベルシフト回路と、前記出力端子と前記低電位端子との間に接続され、前記高電位端子の電圧に応じて導通制御する第1の電圧検出トランジスタと、前記出力トランジスタの制御端子と前記低電位端子との間に接続され、前記出力端子の電圧に応じて導通制御する第2の電圧検出トランジスタと、を備えるものである。
この半導体装置によれば、高電位端子の電圧が低く、出力トランジスタに高電圧が印加されるような場合に、制御信号の上昇を抑え、出力トランジスタの状態を維持することができる。したがって、負荷に流れる出力電流を低減し、負荷の誤動作を防止することができる。また、負荷と出力トランジスタ間の出力端子の電圧に応じて、出力トランジスタの制御端子の導通制御することにより、出力トランジスタの状態を精度よく制御することができる。
本発明によれば、レベルシフト回路などの制御回路に供給される電源が低い場合に、負荷に流れる出力電流を抑え、負荷の誤動作を防止できる半導体装置を提供することができる。
発明の実施の形態1.
まず、本発明の実施の形態1にかかる半導体装置について説明する。本実施形態にかかる半導体装置は、レベルシフト回路に電源が供給されていない場合、OUT端子に印加された電圧を利用することにより、OUT端子に流れ込む電流を低減し、接続されている負荷の誤動作を防止することを特徴としている。
図1を用いて、本実施形態にかかる半導体装置を含むシステムの構成について説明する。このシステムは、自動車電装システムなどで用いられ、L負荷2に流れる電流を制御するシステムである。このシステムは、図に示すように、半導体装置1、L負荷2、電源3及びマイコン4を備えている。半導体装置1とマイコン4は、例えば、それぞれワンチップの半導体集積回路であるが、任意の数のチップであってもよい。
マイコン4は、半導体装置1と接続されており、L負荷2の電流制御するための駆動信号S0を半導体装置1へ出力する。例えば、マイコン4は、5V系の駆動信号S0を出力する。
半導体装置1は、IPDであり、マイコン4から入力される駆動信号S0に応じてL負荷2へ流れる電流を制御する。半導体装置1は、IN端子(入力端子)がマイコン4に接続され、OUT端子(出力端子)がL負荷の一端に接続され、GND端子が接地されている。半導体装置1は、L負荷2の低電位側(電源電位よりGND電位側)に接続されるため、ローサイドスイッチとして動作する。例えば、半導体装置1は、出力耐圧が100V以上であり14V系で駆動する。したがって、半導体装置1のVcc端子に、電源3から14Vの電源電圧が電源スイッチ4bを介して供給される。
L負荷2は、一端が半導体装置1と接続され、他端が電源スイッチ4aを介して電源3に接続される。L負荷2は、インダクタンス成分を有する負荷であり、コイルなどのアクチュエータである。L負荷2は、半導体装置1により制御された電流が流れると、この電流を機械動作へ変換する。
電源スイッチ4aは、L負荷2への電源供給をオン/オフするスイッチであり、電源スイッチ4bは、半導体装置1への電源供給をオン/オフするスイッチである。ここでは、L負荷2の電源スイッチと半導体装置1の電源スイッチを別のスイッチとしているため、L負荷2と半導体装置1に電源供給されるタイミングがずれる可能性が高い。尚、1つの電源スイッチによって、L負荷2と半導体装置1への電源供給を制御してもよい。1つの電源スイッチであっても、電源スイッチから半導体装置1やL負荷2までの距離や容量成分等の違いにより、電源供給のタイミングがずれる場合がありうる。
次に、図2の回路図を用いて、本実施形態にかかる半導体装置の構成について説明する。図に示されるように、半導体装置1は、出力MOSトランジスタM0、保護回路11、レベルシフト回路12、ゲートプルダウン回路13を備えている。
出力MOSトランジスタM0は、L負荷2に流れる電流を制御するスイッチング素子であり、高電力の動作が可能な縦型MOSトランジスタである。出力MOSトランジスタM0は、ゲートに入力されるゲート信号(制御信号)S1に応じてオン/オフしL負荷2の電流を制御する。出力MOSトランジスタM0は、Nch型でもPch型でもよいが、ここではNch型として説明する。出力MOSトランジスタM0は、OUT端子とGND端子の間に設けられており、ドレインがOUT端子(出力端子)に接続され、ソースがGND端子(低電位端子)に接続され、ゲート(制御端子)がレベルシフト回路12、保護回路11、ゲートプルダウン回路13に接続されている。
レベルシフト回路12は、入力される信号よりも高い電圧の信号を出力する昇圧回路である。レベルシフト回路12は、IN端子(入力端子)に入力される駆動信号S0をレベルシフトしてゲート信号S1を生成し、出力MOSトランジスタM0のゲートへ出力する。ここで、レベルシフトされて生成されるゲート信号S1の電圧は、Vcc端子の電位から抵抗R2の分だけ降下した電圧であり、Vcc端子とほぼ等しい電圧である。
レベルシフト回路12は、Vcc端子(高電位端子)とGND端子との間に直列に接続された抵抗R1とNch型のMOSトランジスタN1、Vcc端子とGNDとの間に直列に接続された抵抗R2とNch型のMOSトランジスタN2を有している。抵抗R1とMOSトランジスタN1、抵抗R2とMOSトランジスタN2は、それぞれインバータにより構成することができる。MOSトランジスタN1は、ドレインが抵抗R1を介してVcc端子に接続され、ゲートがIN端子に接続され、ソースがGND端子に接続されている。MOSトランジスタN2は、ドレインが抵抗R2を介してVcc端子に接続され、ゲートが抵抗R1とMOSトランジスタN1間のノードに接続され、ソースがGND端子に接続されている。MOSトランジスタN2と抵抗R2間のノードが、ゲート信号S1の出力端となり出力MOSトランジスタM0のゲートに接続されている。
例えば、IN端子の電圧がMOSトランジスタN1の閾値より低い場合、MOSトランジスタN1はオフであり、抵抗R1とMOSトランジスタN1間のノード電位がGND電位よりも高くなるため、MOSトランジスタN2がオンして、ゲート信号S1はGND電位となる。また、IN端子の電圧がMOSトランジスタN1の閾値以上の場合、MOSトランジスタN1がオンし、抵抗R1とMOSトランジスタN1間のノード電位が下がるため、MOSトランジスタN2がオフして、ゲート信号S1がVcc端子の電位までシフトする。
保護回路11は、出力MOSトランジスタM0のゲートとGND端子の間に接続されている。保護回路11は、電流制限回路や過熱検知回路を含んでおり、出力MOSトランジスタM0を過電流や過熱から保護している。保護回路11は、過電流や過熱を検出すると、出力MOSトランジスタM0のゲートとGND端子間を短絡して出力MOSトランジスタM0のゲートの電荷をGND端子へ放電し、出力MOSトランジスタM0をオフすることで、出力MOSトランジスタの破壊を防止する。尚、半導体装置1において、出力MOSトランジスタM0の動作を制御する回路を制御回路といい、制御回路には、保護回路11やレベルシフト回路12が含まれる。
ゲートプルダウン回路13は、Vcc端子の電源電圧に基づいて、L負荷2と出力MOSトランジスタM0間のOUT端子の出力電圧を検出し、出力MOSトランジスタM0のゲート信号(制御信号)S1を調整する制御信号調整回路である。
ゲートプルダウン回路13は、OUT端子とGND端子との間に直列に接続された抵抗R3とNch型のMOSトランジスタN3(第1の電圧検出トランジスタ)、出力MOSトランジスタM0のゲートとGND端子との間に接続されたNch型のMOSトランジスタN4(第2の電圧検出トランジスタ)を備えている。
MOSトランジスタN3は、Vcc端子の電圧を検出する電源電圧検出回路であり、電源電圧が第1のレベル(MOSトランジスタN3の閾値)以下であることを検出する。MOSトランジスタN3は、ドレインが抵抗R3を介してOUT端子に接続され、ゲートがVcc端子に接続され、ソースがGND端子に接続されている。MOSトランジスタN3は、Vcc端子の電圧に応じて抵抗R3とGND端子間を導通/非導通にする。
MOSトランジスタN4は、MOSトランジスタN3による電源電圧の検出に基づいて、OUT端子の電圧を検出しゲート電圧を調整する(ゲート電荷を放電する)出力電圧検出回路である。つまり、MOSトランジスタN4は、Vcc端子の電源電圧が第1のレベル以下の場合に、OUT端子の出力電圧の検出動作を行い、出力電圧が第2のレベル(MOSトランジスタN4の閾値)以上の場合に、出力MOSトランジスタのゲート電圧を調整する。MOSトランジスタN4は、出力MOSトランジスタのオフ状態を維持させるために、出力MOSトランジスタのゲート電圧を少なくとも出力MOSトランジスタの閾値以下となるようにゲート電圧を低下させる。MOSトランジスタN4は、ドレインが出力MOSトランジスタM0のゲートに接続され、ゲートが抵抗R3とMOSトランジスタN3間のノードに接続され、ソースがGND端子に接続されている。MOSトランジスタN4は、抵抗R3とMOSトランジスタN3間のノードの電圧、つまり、OUT端子の電圧に応じて出力MOSトランジスタのゲートとGND端子間を導通/非導通にする。
例えば、Vcc端子の電圧がMOSトランジスタN3の閾値以上の場合、MOSトランジスタN3がオンし、抵抗R3とMOSトランジスタN3間のノード電位が下がるため、MOSトランジスタN4がオフする。よって、出力MOSトランジスタM0のゲートとGND端子が接続されないため、レベルシフト回路12の生成するゲート信号S1がそのまま出力MOSトランジスタM0のゲートに入力され、ゲート信号S1に応じて出力MOSトランジスタM0がオン/オフする。
ここで、図3のタイミングチャートを用いて、Vcc端子の電位が0Vまたは電源スイッチ4bがオープンの時における、ゲートプルダウン回路13によるゲート信号調整動作について説明する。図3は、Vcc端子に電圧が印加されていない場合の波形を示しており、図3(a)はOUT端子の電圧を示し、図3(b)は出力MOSトランジスタM0のゲート電圧を示し、図3(c)はOUT端子の電流を示している。
Vcc端子の電位が0Vまたは電源スイッチ4bがオープンの時、レベルシフト回路12からゲート信号S1が出力されないため、出力MOSトランジスタM0のゲート電圧は0V(接地レベル)である。また、Vcc端子の電圧がMOSトランジスタN3の閾値よりも低いため、MOSトランジスタN3がオフし、抵抗R3とMOSトランジスタN3間のノード電位は、OUT端子の電位に応じたレベルとなる。
このとき、図3(a)のように、時間t1にOUT端子に急峻なステップ状の電圧が印加されると、抵抗R3とMOSトランジスタN3間のノード電位も同様にステップ状に上昇する。このノード電位がMOSトランジスタN4の閾値以上になると、MOSトランジスタN4がオンする。そうすると、出力MOSトランジスタM0のゲートとGND端子が短絡され、ゲート電荷が放電されるため、図3(b)のように、ゲート電圧の上昇が抑制され(ゲート電圧がプルダウンされ)、0Vのままとなる。ゲート電圧が上昇しないため、出力MOSトランジスタM0がオフのままであり、図3(c)のように、出力電流も流れることがない。
本実施形態では、L負荷2と半導体装置1のOUT端子には電源スイッチ4aを介して電源電圧が印加され、半導体装置1のVcc端子には電源スイッチ4bを介して電源電圧が印加される。この電源スイッチ4a,4bのオンするタイミングがシステムにより数msのずれが生ずるため、図3のようにVcc端子に電圧が印加されない状態でOUT端子に急峻なステップ状電圧が印加される場合がある。この場合に、OUT電圧が上昇しても寄生容量によって出力MOSトランジスタM0が動作しL負荷へ流れる電流を抑止することができる。
以上のように、本実施形態では、Vcc端子に電源電圧が与えられていない場合でも、出力端子に印加された電圧を利用して、出力MOSトランジスタのゲートプルダウン回路を動作させることが可能である。このため、電源電圧Vccが与えられていない時でも、出力端子にステップ状の電圧が印加された場合に寄生容量によりゲート電位が上昇して出力MOSトランジスタがオンすることを防ぐことができる。したがって、負荷に不要な電流が流れることを防止し、負荷の誤動作を抑止することができる。
また、本実施形態では、図8の従来例と比べて、L負荷と電源の間ではなく、OUT端子の電位を直接参照しているため、出力MOSトランジスタM0にかかる電圧に応じて精度よくゲートプルダウン回路を動作させ、出力MOSトランジスタのゲート電圧の上昇を抑えることができる。従来例のようにゲートに接続されたインバータの入力信号を調整するのではなく、出力MOSトランジスタM0のゲート電圧を直接調整するため、ゲート電圧の上昇を確実に抑えることができる。
本発明の実施の形態2.
次に、本発明の実施の形態2にかかる半導体装置について説明する。本実施形態にかかる半導体装置は、実施の形態1と比べて、ゲートプルダウン回路の動作電圧の設定を可能とするものである。
図4は、本実施形態にかかる半導体装置の回路図である。図4において、図2と同一の符号を付されたものは同様の要素である。本実施形態では、レベルシフト回路12の抵抗R2を抵抗R21と抵抗R22に分割し、抵抗R21と抵抗R22間のノードにゲートプルダウン回路13のMOSトランジスタN3のゲートを接続している。つまり、Vcc端子の電圧を分圧した分圧電圧が第1のレベル(MOSトランジスタN3の閾値)以下の場合に、MOSトランジスタN4が出力電圧の検出動作を行う。
実施の形態1では、Vcc端子の電位がMOSトランジスタN3の閾値電圧Vtを超えたところでMOSトランジスタN3がオンし、MOSトランジスタN4がカットオフしてゲートプルダウン回路が遮断される。これに対し、本実施形態では、ゲートプルダウン回路が遮断される電圧は、(R2+R3)÷R2×Vtとなり、抵抗R21と抵抗R22の分圧比を調整することによりゲートプルダウン回路の遮断電圧を調整することができる。
尚、上述の実施の形態は一例であり、このほか、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形、実施が可能である。例えば、上述の例では、スイッチング素子をMOSトランジスタとしたが、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)等のその他のスイッチング素子でもよい。また、上記の回路においてトランジスタの導電型を変更して回路を構成してもよい。
本発明にかかる半導体装置を含むシステムの構成図である。 本発明にかかる半導体装置の構成を示す回路図である。 本発明にかかる半導体装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明にかかる半導体装置の構成を示す回路図である。 従来の半導体装置の構成を示す回路図である。 従来の半導体装置の構成を示す回路図である。 従来の半導体装置の動作を示すタイミングチャートである。 従来の半導体装置の構成を示す回路図である。
符号の説明
1 半導体装置
2 L負荷
3 電源
4a,4b 電源スイッチ
5 マイコン
11 保護回路
12 レベルシフト回路
13 ゲートプルダウン回路
M0 出力MOSトランジスタ
N1,N2,N3,N4 MOSトランジスタ
R1,R2,R3 抵抗

Claims (9)

  1. 制御端子に入力される制御信号に応じて、負荷に流れる電流を制御するスイッチング素子と、
    電源電圧に基づいて、入力信号のレベルをシフトし前記制御信号を生成するレベルシフト回路と、
    前記電源電圧に基づいて、前記負荷と前記スイッチング素子との間の出力電圧を検出し、前記制御信号のレベルを調整する制御信号調整回路と、を備える、
    半導体装置。
  2. 前記制御信号調整回路は、前記電源電圧が第1のレベル以下の場合に、前記出力電圧の検出動作を行う、
    請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記制御信号調整回路は、前記電源電圧を分圧した分圧電圧が第1のレベル以下の場合に、前記出力電圧の検出動作を行う、
    請求項1に記載の半導体装置。
  4. 前記制御信号調整回路は、前記出力電圧が第2のレベル以上の場合に、前記制御信号のレベルを調整する、
    請求項2又は3に記載の半導体装置。
  5. 前記制御信号調整回路は、前記スイッチング素子の閾値以下となるように前記制御信号を調整する、
    請求項1乃至4のいずれか一つに記載の半導体装置。
  6. 負荷を接続する出力端子と低電位端子との間に接続された出力トランジスタと、
    高電位端子と低電位端子との間に接続され、入力信号をレベルシフトした制御信号を前記出力トランジスタの制御端子に入力するレベルシフト回路と、
    前記出力端子と前記低電位端子との間に接続され、前記高電位端子の電圧に応じて導通制御する第1の電圧検出トランジスタと、
    前記出力トランジスタの制御端子と前記低電位端子との間に接続され、前記出力端子の電圧に応じて導通制御する第2の電圧検出トランジスタと、を備える、
    半導体装置。
  7. 前記第1の電圧検出トランジスタの制御端子は、前記高電位端子に接続されている、
    請求項6に記載の半導体装置。
  8. 前記高電位端子の電圧を分圧する分圧抵抗を有し、
    前記第1の電圧検出トランジスタの制御端子は、前記分圧抵抗に接続されている、
    請求項6に記載の半導体装置。
  9. 前記第1の電圧検出トランジスタと前記出力端子との間に接続された抵抗素子を有し、
    前記第2の電圧検出トランジスタの制御端子は、前記第1の電圧検出トランジスタと前記抵抗素子との間に接続されている、
    請求項6乃至8のいずれか一つに記載の半導体装置。

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