JP2007113714A - 転動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】深溝玉軸受の内輪1,外輪2,及び玉3は、その表面にショットブラスト処理が施された窒化ケイ素で構成されている。このショットブラスト処理により、直線状の転位組織が表面に均一に形成されていて、転位組織の転位密度は1×104 cm-2以上9×1013cm-2以下とされている。
【選択図】 図1
Description
また、半導体,液晶パネル,ハードディスク等の製造工程においては、電子線を利用した露光装置,描画装置,検査装置が使用されており、これらの装置においては、電子線が照射されるシリコンウエハの移動に転がり軸受,リニアガイド装置,ボールねじ等の転動装置が使用されている。このような転動装置に磁性材を用いると、転動装置の作動によって周辺の磁場が乱されて、測定精度や製造精度(描画精度)が低下するおそれがある。よって、このような装置に使用される転動装置には、作動によって周辺の磁場を乱さないことが要求される。
そこで、本発明は、前述のような従来技術が有する問題点を解決し、腐食性環境下や非磁性が要求される環境下においても使用可能であり、且つ、無潤滑条件等の厳しい潤滑条件下や高荷重下においても長寿命な転動装置を提供することを課題とする。
このような構成であれば、前記セラミックの耐食性や非磁性が優れているので、腐食性環境下や非磁性が要求される環境下においても使用可能である。また、低粘度の潤滑油の使用等により潤滑条件が厳しく固体接触が生じるような条件下や無潤滑条件下で使用されても、摩耗が生じにくく長寿命であるとともに、摩耗粉による外部環境の汚染が生じにくい。さらに、高荷重下で使用されても損傷が生じにくく長寿命である。
前記転位組織の転位密度が1×104 cm-2未満であると、セラミックの靱性や硬さが不十分である場合がある。一方、9×1013cm-2超過であると、チッピングが生じやすくなる。
図1は、本発明に係る転動装置の一実施形態である転がり軸受の構造を示す部分縦断面図である。この転がり軸受は、呼び番号6000の深溝玉軸受(内径10mm,外径26mm,幅8mm)であり、外周面に軌道面1aを有する内輪1と、軌道面1aに対向する軌道面2aを内周面に有する外輪2と、両軌道面1a,2a間に転動自在に配された複数の玉3と、内輪1と外輪2との間に複数の玉3を保持する保持器4と、を備えている。なお、本実施形態においては、回転輪である内輪1が本発明の構成要件たる可動子に相当し、固定輪である外輪2が本発明の構成要件たる支持体に相当する。
ショットブラスト処理は、被処理物(内輪1,外輪2,及び玉3)の表面に噴射材を噴射する処理であるが、処理時の環境温度は常温であることが好ましく、噴射材は窒化ケイ素よりも硬さが低く且つ表面が凸曲面でエッジを有していない微粒子(例えばアルミナ粒子)であることが好ましい。
噴射材の平均粒径:50μm以上100μm以下
噴射圧 :0.1MPa以上0.6MPa以下(より好ましくは0.2MPa以上0.5MPa以下)
噴射速度 :30m/s以上90m/s以下
噴射量 :200g/min以上800g/min以下
このような条件でショットブラスト処理を施せば、転位組織の転位密度をより好ましい値である1×1010cm-2以上1×1013cm-2以下とすることができる。
また、本実施形態においては、転動装置の例として深溝玉軸受をあげて説明したが、転がり軸受の種類は深溝玉軸受に限定されるものではなく、本発明は様々な種類の転がり軸受に対して適用することができる。例えば、アンギュラ玉軸受,自動調心玉軸受,円筒ころ軸受,円すいころ軸受,針状ころ軸受,自動調心ころ軸受等のラジアル形の転がり軸受や、スラスト玉軸受,スラストころ軸受等のスラスト形の転がり軸受である。さらに、本発明は、転がり軸受に限らず、他の種類の様々な転動装置に対して適用することができる。例えば、ボールねじ,リニアガイド装置,直動ベアリング等である。
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。まず、窒化ケイ素(Hv1500)製の試験片(幅10mm,長さ10mm,厚さ5mm)に、平均粒径100μmのアルミナ粒子(Hv1300)を噴射材として用いたショットブラスト処理を施して、表面に直線状の転位組織を均一に形成させ、それによる強靱化,高硬度化,及び表面粗さRaの変化の度合いをそれぞれ評価した。
ショットブラスト処理の条件及び評価結果を表1に示す。なお、ショットブラスト処理により形成された転位組織の転位密度は、透過型電子顕微鏡(TEM)観察により測定した。すなわち、TEM観察像から転位組織の長さを測定し、単位体積当たりの転位組織の長さを算出した。また、破壊靱性値は、JIS R 1607に規定された方法により測定した。
回転試験の結果を表2に示す。なお、表2に記載した耐久性は、比較例1の転がり軸受の寿命を1とした場合の相対値で示してある。
2 外輪
3 玉
Claims (2)
- 回転運動可能又は直線運動可能な可動子と、該可動子を回転運動可能又は直線運動可能に支持する支持体と、前記可動子と前記支持体との間に転動自在に配された複数の転動体と、を備える転動装置において、
前記可動子,前記支持体,及び前記転動体のうち少なくとも一つを、直線状の転位組織が表面に均一に分布したセラミックで構成したことを特徴とする転動装置。 - 前記セラミックの転位組織の転位密度を1×104 cm-2以上9×1013cm-2以下としたことを特徴とする請求項1に記載の転動装置。
Priority Applications (1)
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JP2005306691A JP2007113714A (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 転動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005306691A JP2007113714A (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 転動装置 |
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JP2007113714A true JP2007113714A (ja) | 2007-05-10 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005306691A Pending JP2007113714A (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 転動装置 |
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JP (1) | JP2007113714A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102278371A (zh) * | 2011-07-18 | 2011-12-14 | 浙江大学 | 磁性滚动轴承 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004136372A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-05-13 | Japan Science & Technology Agency | セラミックスの表面強靱化方法及びセラミックス製品 |
WO2005100283A1 (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Japan Science And Technology Agency | 耐熱衝撃性表面改質方法をその部材 |
-
2005
- 2005-10-21 JP JP2005306691A patent/JP2007113714A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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