JP2005214254A - 転がり支持装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 腐食環境下で使用される転がり支持装置において、優れた耐久性及び耐食性を得る。
【解決手段】 転がり軸受10の内輪1、外輪2、及び玉3の少なくとも一つを、Cr−Al−Ni合金製とし、軌道面1a、2a及び玉3の表面の硬さをビッカース硬さでHv500以上とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 転がり軸受10の内輪1、外輪2、及び玉3の少なくとも一つを、Cr−Al−Ni合金製とし、軌道面1a、2a及び玉3の表面の硬さをビッカース硬さでHv500以上とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、転がり軸受、ボールねじ、及びリニアガイド等の転がり支持装置に関する。
半導体製造設備や食品機械等の腐食環境下で使用される機械・装置用の転がり軸受には、耐久性に加えて耐食性も要求される。
このため、以下に示す特許文献1では、耐久性及び耐食性の両方に優れた転がり軸受を得るために、内輪、外輪、及び転動体の少なくとも一つを、ステンレス鋼製とするだけでなく、表面にクロムオキシカーバイト被膜を形成することが提案されている。
特開2003−42164号公報
このため、以下に示す特許文献1では、耐久性及び耐食性の両方に優れた転がり軸受を得るために、内輪、外輪、及び転動体の少なくとも一つを、ステンレス鋼製とするだけでなく、表面にクロムオキシカーバイト被膜を形成することが提案されている。
しかしながら、上述した特許文献1に記載の技術では、クロムオキシカーバイト被膜の脱落によって耐久性及び耐食性が不十分になる場合がある。
そこで、本発明は、転がり支持装置の構成部材に被膜を施さない方法で、優れた耐久性及び耐食性が得られるようにすることを課題としている。
そこで、本発明は、転がり支持装置の構成部材に被膜を施さない方法で、優れた耐久性及び耐食性が得られるようにすることを課題としている。
このような課題を解決するために、本発明は、互いに対向配置される軌道面を備えた第一部材及び第二部材と、前記第一部材及び第二部材間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を備え、前記転動体が転動することにより前記第一部材が前記第二部材に対して相対運動する転がり支持装置において、前記第一部材、第二部材、及び転動体の少なくとも一つは、Cr−Al−Ni合金製で、転がり面の硬さがビッカース硬さでHv500以上となっていることを特徴とする転がり支持装置を提供する。
本発明はまた、互いに対向配置される軌道面を備えた第一部材及び第二部材と、前記第一部材及び第二部材間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を備え、前記転動体が転動することにより前記第一部材が前記第二部材に対して相対運動する転がり支持装置において、前記第一部材及び第二部材の少なくとも一つは、Cr−Al−Ni合金製で、転がり面の硬さがビッカース硬さでHv500以上となっており、前記転動体は、セラミックス製であることを特徴とする転がり支持装置を提供する。
本発明で使用するCr−Al−Ni合金としては、例えば、東芝製のCAN合金(Crの含有率:38質量%、Alの含有率:3.8質量%、Niの含有率:58.2質量%)が挙げられる。
また、本発明で使用するセラミックスとしては、例えば、シリコンナイトライド(窒化ケイ素)、ジルコニア(酸化ジルコニウム)、アルミナ(酸化アルミニウム)、シリコンカーバイト(炭化ケイ素)が挙げられる。
また、本発明で使用するセラミックスとしては、例えば、シリコンナイトライド(窒化ケイ素)、ジルコニア(酸化ジルコニウム)、アルミナ(酸化アルミニウム)、シリコンカーバイト(炭化ケイ素)が挙げられる。
なお、本発明の転がり支持装置とは、転がり軸受、ボールねじ、及びリニアガイド等を指す。ここで、転がり支持装置が転がり軸受の場合には、第一部材及び第二部材は内輪及び外輪を指し、転がり支持装置がボールねじの場合には、第一部材及び第二部材はねじ軸及びナットを指し、転がり支持装置がリニアガイドの場合には、第一部材及び第二部材は案内レール及びスライダを指す。
本発明によれば、転がり支持装置の構成部材のうち少なくとも一つを、耐食性に優れた特定の合金製とし、且つ、転がり面の硬さを特定することによって、優れた耐久性及び耐食性が得られる。
また、軌道面を備えた第一部材及び第二部材の少なくとも一つを、耐食性に優れた特定の合金製とし、且つ、転がり面の硬さを特定するとともに、転動体をセラミックス製とすることによって、転動体と他の部材との転がり面における摩耗及び摩擦が軽減するため、さらに優れた耐久性が得られる。
すなわち、本発明によれば、転がり支持装置の構成部材に被膜を施さない方法で、優れた耐久性及び耐食性が得られる。
また、軌道面を備えた第一部材及び第二部材の少なくとも一つを、耐食性に優れた特定の合金製とし、且つ、転がり面の硬さを特定するとともに、転動体をセラミックス製とすることによって、転動体と他の部材との転がり面における摩耗及び摩擦が軽減するため、さらに優れた耐久性が得られる。
すなわち、本発明によれば、転がり支持装置の構成部材に被膜を施さない方法で、優れた耐久性及び耐食性が得られる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の転がり支持装置の一例である転がり軸受を示す断面図である。
この転がり軸受10は、内輪(第一部材)1、外輪(第二部材)2、玉(転動体)3、及び保持器4からなる玉軸受である。
本実施形態では、図1に示す構造の転がり軸受10として、呼び番号6001(内径12mm、外径28mm、幅8mm)の深溝玉軸受を、表1に示す各構成で作製した。
図1は、本発明の転がり支持装置の一例である転がり軸受を示す断面図である。
この転がり軸受10は、内輪(第一部材)1、外輪(第二部材)2、玉(転動体)3、及び保持器4からなる玉軸受である。
本実施形態では、図1に示す構造の転がり軸受10として、呼び番号6001(内径12mm、外径28mm、幅8mm)の深溝玉軸受を、表1に示す各構成で作製した。
Cr−Al−Ni合金からなる内輪1、外輪2、玉3は、次のようにして作製した。先ず、内輪1、外輪2、玉3用の素材として、CAN合金(東芝製、Crの含有率:38質量%、Alの含有率:3.8質量%、Niの含有率:58.2質量%)からなる環状体及び球状体を用意し、各素材に対して1200℃で容体化処理を行った後、内輪1、外輪2、及び玉3の形状に加工した。次に、これらに580〜800℃の範囲の各温度で5時間の時効硬化処理を行った。次に、研磨処理を行った。
また、窒化ケイ素からなる外輪2及び玉3と、アルミナからなる玉3は、次のようにして作製した。先ず、焼結助剤が混合された窒化ケイ素粉末又はアルミナ粉末を外輪2及び玉3の各形状に成形した後に焼結することにより、外輪2及び玉3の形状に加工した。次に、研磨処理を行った。
さらに、析出硬化系ステンレス鋼(SUS630)からなる内輪1及び外輪2と、高炭素クロム軸受鋼二種(SUJ2)からなる内輪1、外輪2、及び玉3は、次のようにして作製した。
さらに、析出硬化系ステンレス鋼(SUS630)からなる内輪1及び外輪2と、高炭素クロム軸受鋼二種(SUJ2)からなる内輪1、外輪2、及び玉3は、次のようにして作製した。
SUS630からなる内輪1及び外輪2は、先ず、内輪1及び外輪2用の素材として、SUS630からなる環状体を用意し、各素材に対して所定の容体化処理を行った後、内輪1及び外輪2の形状に加工した。次に、これらに所定の時効硬化処理を行った。次に、研磨処理を行った。
SUJ2からなる内輪1、外輪2、及び玉3は、先ず、SUJ2からなる素材を、内輪1、外輪2、及び玉3の各形状に加工した。次に、これらに所定の焼入れ処理及び焼戻し処理を行った。次に、研磨処理を行った。
SUJ2からなる内輪1、外輪2、及び玉3は、先ず、SUJ2からなる素材を、内輪1、外輪2、及び玉3の各形状に加工した。次に、これらに所定の焼入れ処理及び焼戻し処理を行った。次に、研磨処理を行った。
このようにして得られた内輪1、外輪2、及び玉3の各転がり面(内輪軌道面1a、外輪軌道面2a、玉3の表面)を研磨して鏡面とし、これらの鏡面に対して、荷重1kgでJIS Z 2244に規定されたビッカース硬さ試験を行った。この結果は、表1に併せて示す。
そして、得られた内輪1、外輪2、玉3と、フッ素樹脂(ETFE)製の保持器4とを用いて、表1に示す組み合わせでNo.1〜No.8の深溝玉軸受10を組み立てた。
そして、得られた内輪1、外輪2、玉3と、フッ素樹脂(ETFE)製の保持器4とを用いて、表1に示す組み合わせでNo.1〜No.8の深溝玉軸受10を組み立てた。
次に、これらの深溝玉軸受10を図2に示す耐久試験装置に組み込んで、以下に示す条件で耐久性の評価を行った。この耐久試験装置20は、図2に示すように、スピンドルモータ21の回転軸22に深溝玉軸受10を組み込み、水が入った容器25内で回転させることで、耐久試験を行うようになっている。この深溝玉軸受10には、付与する荷重に応じたおもり24が取り付けられたワイヤ23により、ラジアル荷重が付与されるようになっている。
この耐久試験は、深溝玉軸受10に取り付けられた振動計26の振動値をモニタし、振動値が初期振動値の10倍に達するまで行った。この試験は、各組み合わせについてそれぞれ10個の深溝玉軸受10を用意して試験を行った。この結果は、初期振動値の10倍に達するまでの回転時間の平均値を寿命とし、No.7の寿命を1とした場合の比で表1に併せて示す。
〔耐久試験条件〕
回転速度:1000min-1
ラジアル荷重:300N
試験環境:水中
次いで、これらの深溝玉軸受10について、JIS Z 2371に規定された塩水噴霧試験を168時間行うことにより、耐食性の評価を行った。この結果は、試験後の内輪1又は外輪2に錆が全く発生しなかった場合は耐食性を「○」とし、錆が発生した場合は耐食性を「×」として、表1に併せて示す。
回転速度:1000min-1
ラジアル荷重:300N
試験環境:水中
次いで、これらの深溝玉軸受10について、JIS Z 2371に規定された塩水噴霧試験を168時間行うことにより、耐食性の評価を行った。この結果は、試験後の内輪1又は外輪2に錆が全く発生しなかった場合は耐食性を「○」とし、錆が発生した場合は耐食性を「×」として、表1に併せて示す。
表1から分かるように、内輪1、外輪2、及び玉3が本発明の範囲を満たす構成(素材、転がり面の硬さがHv500以上)のNo.1〜5の深溝玉軸受10は、内輪1、外輪2、及び玉3の少なくとも一つが本発明の範囲から外れるNo.6〜8の深溝玉軸受10と比較して、長寿命であった。
No.1〜5のうち、内輪1及び外輪2をCr−Al−Ni合金製とし、玉3を窒化ケイ素製としたNo.2は、内輪1、外輪2、及び玉3を全てNo.2の内輪1及び外輪2と同じ硬さのCr−Al−Ni合金製としたNo.4よりも長寿命であった。これにより、内輪1及び外輪2をCr−Al−Ni合金製とし、玉3をセラミックス製とすることで、より長寿命が得られることが分かった。
No.1〜5のうち、内輪1及び外輪2をCr−Al−Ni合金製とし、玉3を窒化ケイ素製としたNo.2は、内輪1、外輪2、及び玉3を全てNo.2の内輪1及び外輪2と同じ硬さのCr−Al−Ni合金製としたNo.4よりも長寿命であった。これにより、内輪1及び外輪2をCr−Al−Ni合金製とし、玉3をセラミックス製とすることで、より長寿命が得られることが分かった。
また、内輪1、外輪2、及び玉3を全てCr−Al−Ni合金製とし、これらの転がり面の硬さのみが異なるNo.3とNo.4では、転がり面が硬いNo.3の方が長寿命であった。
さらに、内輪1をCr−Al−Ni合金製とし、外輪2を窒化ケイ素製とし、さらに玉3をアルミナ製としたNo.5は、内輪1及び外輪2をCr−Al−Ni合金製とし、玉3を窒化ケイ素製としたNo.1及び2や、内輪1、外輪2、及び玉3を全てCr−Al−Ni合金製としたNo.3及び4よりも長寿命であった。
さらに、内輪1をCr−Al−Ni合金製とし、外輪2を窒化ケイ素製とし、さらに玉3をアルミナ製としたNo.5は、内輪1及び外輪2をCr−Al−Ni合金製とし、玉3を窒化ケイ素製としたNo.1及び2や、内輪1、外輪2、及び玉3を全てCr−Al−Ni合金製としたNo.3及び4よりも長寿命であった。
一方、No.6では、内輪1及び外輪2をCr−Al−Ni合金製とし、玉3を窒化ケイ素製としたが、転がり面の硬さがHv500未満であったため、No.1〜5よりも短寿命であった。これにより、Cr−Al−Ni合金製の構成部材の転がり面の硬さは、Hv500以上にする必要があることが分かった。
また、No.7では、内輪1及び外輪2をSUS630製とし、玉3を窒化ケイ素製としたが、転がり面の硬さがHv500未満であったため、短寿命であった。
また、No.7では、内輪1及び外輪2をSUS630製とし、玉3を窒化ケイ素製としたが、転がり面の硬さがHv500未満であったため、短寿命であった。
さらに、No.8では、内輪1、外輪2、及び玉3を全てSUJ2製とし、且つ、転がり面の硬さをHv500以上としたが、耐食性が不十分であったため、耐久性の評価は行わなかった。
次いで、Cr−Al−Ni合金製の内輪1及び外輪2と、窒化ケイ素製の玉3と、フッ素樹脂(ETFE)製の保持器4とからなる深溝玉軸受10を用意して、内輪1及び外輪2の両軌道面1a、2aの硬さを変更して上述と同様の条件で耐久性の評価を行った。この結果は、表1に示すNo.7の寿命を1とした場合の比で、図3のグラフに示す。
次いで、Cr−Al−Ni合金製の内輪1及び外輪2と、窒化ケイ素製の玉3と、フッ素樹脂(ETFE)製の保持器4とからなる深溝玉軸受10を用意して、内輪1及び外輪2の両軌道面1a、2aの硬さを変更して上述と同様の条件で耐久性の評価を行った。この結果は、表1に示すNo.7の寿命を1とした場合の比で、図3のグラフに示す。
図3のグラフから、Cr−Al−Ni合金製の内輪1及び外輪2の両軌道面1a、2aのビッカース硬さは、実施例のHv680までの範囲内において硬くするほど、耐久性が高くなっていることが分かる。
このとき、両軌道面1a、2aの硬さがHv580以上では、寿命比が10以上となっている。また、両軌道面1a、2aの硬さがHv480の場合には、SUS630とほとんど同じ程度の耐久性しか示さないが、Hv500の場合には、寿命比が3となっており、十分長寿命である。さらに、両軌道面1a、2aの硬さがHv480の場合には、Hv500の場合よりも寿命比のばらつきが大きくなる傾向がある。
以上の結果から、深溝玉軸受10の内輪1、外輪2、及び玉3を本発明の構成とすることにより、優れた耐久性及び耐食性が得られることを確認できた。
このとき、両軌道面1a、2aの硬さがHv580以上では、寿命比が10以上となっている。また、両軌道面1a、2aの硬さがHv480の場合には、SUS630とほとんど同じ程度の耐久性しか示さないが、Hv500の場合には、寿命比が3となっており、十分長寿命である。さらに、両軌道面1a、2aの硬さがHv480の場合には、Hv500の場合よりも寿命比のばらつきが大きくなる傾向がある。
以上の結果から、深溝玉軸受10の内輪1、外輪2、及び玉3を本発明の構成とすることにより、優れた耐久性及び耐食性が得られることを確認できた。
1 内輪(第一部材)
2 外輪(第二部材)
3 玉 (転動体)
10 転がり軸受(転がり支持装置)
2 外輪(第二部材)
3 玉 (転動体)
10 転がり軸受(転がり支持装置)
Claims (2)
- 互いに対向配置される軌道面を備えた第一部材及び第二部材と、前記第一部材及び第二部材間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を備え、前記転動体が転動することにより前記第一部材が前記第二部材に対して相対運動する転がり支持装置において、
前記第一部材、第二部材、及び転動体の少なくとも一つは、Cr−Al−Ni合金製で、転がり面の硬さがビッカース硬さでHv500以上となっていることを特徴とする転がり支持装置。 - 互いに対向配置される軌道面を備えた第一部材及び第二部材と、前記第一部材及び第二部材間に転動自在に配設された複数個の転動体と、を備え、前記転動体が転動することにより前記第一部材が前記第二部材に対して相対運動する転がり支持装置において、
前記第一部材及び第二部材の少なくとも一つは、Cr−Al−Ni合金製で、転がり面の硬さがビッカース硬さでHv500以上となっており、
前記転動体は、セラミックス製であることを特徴とする転がり支持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004019935A JP2005214254A (ja) | 2004-01-28 | 2004-01-28 | 転がり支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004019935A JP2005214254A (ja) | 2004-01-28 | 2004-01-28 | 転がり支持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005214254A true JP2005214254A (ja) | 2005-08-11 |
Family
ID=34904010
Family Applications (1)
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JP2004019935A Pending JP2005214254A (ja) | 2004-01-28 | 2004-01-28 | 転がり支持装置 |
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JP (1) | JP2005214254A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010134602A1 (ja) * | 2009-05-21 | 2010-11-25 | 日本精工株式会社 | 転がり軸受及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-01-28 JP JP2004019935A patent/JP2005214254A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2010134602A1 (ja) * | 2009-05-21 | 2010-11-25 | 日本精工株式会社 | 転がり軸受及びその製造方法 |
CN102138016A (zh) * | 2009-05-21 | 2011-07-27 | 日本精工株式会社 | 滚动轴承及其制造方法 |
JPWO2010134602A1 (ja) * | 2009-05-21 | 2012-11-12 | 日本精工株式会社 | 転がり軸受及びその製造方法 |
JP5601320B2 (ja) * | 2009-05-21 | 2014-10-08 | 日本精工株式会社 | 転がり軸受及びその製造方法 |
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