JP2005172056A - 非磁性転がり軸受 - Google Patents
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Abstract
【課題】低コストで十分な耐久寿命と低発塵性を確保できる非磁性転がり軸受を提供することである。
【解決手段】内輪1と外輪2をCr:30〜45質量%、Al:1.5〜5質量%、残部が実質的にNiからなるNi−Cr−Al合金で形成して、その硬度をHRC55以上とするとともに、ボール3の表面に潤滑性の優れたPTFEの樹脂皮膜3aを形成することにより、低コストで十分な耐久寿命と低発塵性を確保できるようにした。
【選択図】図1
【解決手段】内輪1と外輪2をCr:30〜45質量%、Al:1.5〜5質量%、残部が実質的にNiからなるNi−Cr−Al合金で形成して、その硬度をHRC55以上とするとともに、ボール3の表面に潤滑性の優れたPTFEの樹脂皮膜3aを形成することにより、低コストで十分な耐久寿命と低発塵性を確保できるようにした。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体製造設備等に使用される非磁性転がり軸受に関する。
半導体製造設備の電子ビーム描画装置に使用される移動テーブルや搬送装置等の転がり軸受には、偏向電極による電子ビームの走査に残留磁気の悪影響が生じないように、内輪、外輪、転動体および保持器の各部品を非磁性材料で形成した非磁性転がり軸受が用いられている。また、この種の半導体製造設備用の非磁性転がり軸受は、密封真空下で使用されるので、その潤滑には固体潤滑剤が用いられていた。
近年、半導体の集積度が増すにつれて、電子ビーム描画装置で描画される回路パターンの線幅が微細化しており、軸受から発生する固体潤滑剤の微小な摩耗粉が描画の外乱とならないように、固体潤滑剤の替りに、内外輪の軌道面および転動体の転動面のうち、少なくとも転動体の転動面に、潤滑性の優れたポリテトラフルオロエチレン(PTFE)からなる樹脂皮膜を形成して、潤滑性と低発塵性を確保した非磁性転がり軸受もある(例えば、特許文献1参照。)。
特許文献1に記載の非磁性転がり軸受では、内外輪の形成材料としてオーステナイト系Mn−Cr合金鋼を推奨し、セラミックス、さらに、軽荷重であればSUS304等のオーステナイト系ステンレス鋼も用いることができるとしている。なお、転動体の形成材料としてはセラミックスを推奨し、保持器の形成材料としてはオーステナイト系ステンレス鋼や高分子材料を推奨している。
上述した特許文献1に記載の内外輪をオーステナイト系Mn−Cr合金鋼で形成した非磁性転がり軸受は、一般的なオーステナイト系ステンレス鋼SUS304で形成したものよりは寿命を延長できるが、硬度がHRC45〜50と低いので、未だ十分な耐久寿命を確保できない問題がある。また、PTFEの樹脂皮膜を転動体の転動面にのみ形成して、内外輪の軌道面には形成しない場合は、低発塵性を十分に確保できない。
なお、十分な耐久寿命と低発塵性を確保するためには、内外輪をセラミックスで形成すればよいが、内外輪は転動体に較べて形状が複雑で寸法が大きいので、非常に高価なものとなる問題がある。
そこで、本発明の課題は、低コストで十分な耐久寿命と低発塵性を確保できる非磁性転がり軸受を提供することである。
上記の課題を解決するために、本発明は、内輪、外輪、転動体および保持器を非磁性材料で形成した非磁性転がり軸受において、前記内輪と外輪を、Cr:30〜45質量%、Al:1.5〜5質量%、残部が実質的にNiからなるNi−Cr−Al合金で形成して、その硬度をHRC55以上とし、前記内輪の軌道面、外輪の軌道面、および転動体の転動面のうち、少なくとも転動体の転動面にポリテトラフルオロエチレン(PTFE)からなる樹脂皮膜を形成した構成を採用した。
すなわち、内輪と外輪を、Cr:30〜45質量%、Al:1.5〜5質量%、残部が実質的にNiからなるNi−Cr−Al合金で形成して、その硬度をHRC55以上とすることにより、十分な耐久寿命を確保するとともに、内外輪の軌道面および転動体の転動面のうち、少なくとも転動体の転動面に、潤滑性の優れたPTFEからなる樹脂皮膜を形成することにより、低コストで潤滑性と低発塵性を確保できるようにした。
前記樹脂皮膜を形成するポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の平均分子量は、40000±5000とするのが好ましい。特許文献1に記載のものでは、PTFEの平均分子量を5000以下とすることにより低発塵性の優れた潤滑皮膜を形成できるとしているが、本発明者は、さらに実験的検討を進めた結果、PTFEの平均分子量が40000±5000の領域で、より低発塵性の優れた潤滑皮膜を形成できることを確認した。
前記転動体をセラミックスで形成することにより、万が一、PTFEの樹脂皮膜が消滅しても、内外輪との金属同士の接触をなくして、スミアリング等の表面損傷を防止することができる。
前記保持器をオーステナイト系ステンレス鋼または高分子材料で形成することにより、保持器を安価に形成することができる。
本発明の非磁性転がり軸受は、内輪と外輪を、Cr:30〜45質量%、Al:1.5〜5質量%、残部が実質的にNiからなるNi−Cr−Al合金で形成して、その硬度をHRC55以上とするとともに、内外輪の軌道面および転動体の転動面のうち、少なくとも転動体の転動面にPTFEからなる樹脂皮膜を形成するようにしたので、低コストで潤滑性と低発塵性を確保することができる。
前記樹脂皮膜を形成するPTFEの平均分子量は、40000±5000とすることにより、低発塵性をより向上させることができる。
以下、図面に基づき、本発明の実施形態を説明する。この非磁性転がり軸受は、図1に示すように、内輪1と外輪2の軌道面間に、転動体としての複数のボール3が保持器4で保持された玉軸受であり、内輪1と外輪2がNi−Cr−Al合金で形成され、各ボール3はセラミックス(Si3N4)で形成されて、その表面(転動面)にPTFEの樹脂皮膜3aが形成されており、保持器4はオーステナイト系ステンレス鋼SUS304で形成されている。保持器4はポリイミド樹脂等の高分子材料で形成してもよい。
前記内輪1と外輪2を形成するNi−Cr−Al合金は、Cr:30〜45質量%、Al:1.5〜5質量%、残部が実質的にNiからなるものであり、不可避的不純物元素として若干のSi、Mn等を含む。内輪1と外輪2は、それぞれ旋削加工後に熱処理されてから仕上げ研削加工を施されており、その硬度はHRC55以上とされている。
前記セラミックスで形成された各ボール3は、平均分子量が約40000(分子量レンジ35000〜70000)のPTFEを分散させた処理液に浸漬されて、この平均分子量が約40000のPTFEにより樹脂皮膜3aを形成されている。
上述した実施形態では、ボールのみにPTFEの樹脂皮膜を形成したが、内外輪の軌道面にもPTFEの樹脂皮膜を形成してもよい。また、本発明に係る非磁性転がり軸受は、ころ軸受等の他の転がり軸受にも適用することができる。
実施例として、図1に示した、内外輪を、Cr:40質量%、Al:3質量%、残部が実質的にNiからなり、その硬度をHRC58〜61としたNi−Cr−Al合金で形成し、セラミックスで形成した各ボールの表面に平均分子量が約40000のPTFE樹脂皮膜を形成した非磁性転がり軸受を用意した。また、比較例として、特許文献1の実施例に記載された内外輪をオーステナイト系Mn−Cr合金鋼で形成し、セラミックス(Si3N4)で形成した各ボールの表面に平均分子量が5000以下のPTFE樹脂皮膜を形成した非磁性転がり軸受(比較例1)と、内外輪および各ボールをセラミックス(Si3N4)で形成した非磁性転がり軸受(比較例2)も用意した。実施例および各比較例の非磁性転がり軸受は、いずれも外径22mm、幅7mmのミニチュア玉軸受である。
上述した実施例と各比較例の非磁性転がり軸受について、いずれも真空中での耐久寿命試験と発塵測定試験を行った。各試験の概要と試験結果を以下に示す。
(1)耐久寿命試験
高真空軸受耐久寿命試験機の回転軸に試験用軸受を取り付け、アキシアル荷重を負荷しながら回転軸を回転させ、その摩擦トルクの変化を測定した。各試験用軸受のサンプル数は3個とし、耐久寿命は摩擦トルクの和が6×10-3N・mに達するまでの時間で評価した。試験条件は以下の通りである。
・アキシアル荷重:9.81N
・回転速度 :2500rpm
・真空度 :10-6Torr
高真空軸受耐久寿命試験機の回転軸に試験用軸受を取り付け、アキシアル荷重を負荷しながら回転軸を回転させ、その摩擦トルクの変化を測定した。各試験用軸受のサンプル数は3個とし、耐久寿命は摩擦トルクの和が6×10-3N・mに達するまでの時間で評価した。試験条件は以下の通りである。
・アキシアル荷重:9.81N
・回転速度 :2500rpm
・真空度 :10-6Torr
上記耐久寿命試験の結果を表1に示す。実施例および各比較例の耐久寿命は、3個のサンプルの平均値で表示した。内外輪をNi−Cr−Al合金で形成し、セラミックス製ボールの表面に平均分子量が約40000のPTFE樹脂皮膜を形成した実施例のものは、内外輪をオーステナイト系Mn−Cr合金鋼で形成し、セラミックス製ボールの表面に平均分子量が5000以下のPTFE樹脂皮膜を形成した比較例1の約1.7倍で、内外輪およびボールをセラミックスで形成した比較例2と同等の優れた耐久寿命を示している。
(2)発塵測定試験
真空発塵測定試験機の回転軸に試験用軸受を取り付けて、アキシアル荷重を負荷しながら所定時間負荷運転し、粒子径が0.20μmを超えるものの総発塵個数を測定した。各試験用軸受のサンプル数は2個とした。試験条件は以下の通りである。
・アキシアル荷重:9.81N
・回転速度 :50rpm
・運転時間 :150時間
・真空度 :10-6Torr
真空発塵測定試験機の回転軸に試験用軸受を取り付けて、アキシアル荷重を負荷しながら所定時間負荷運転し、粒子径が0.20μmを超えるものの総発塵個数を測定した。各試験用軸受のサンプル数は2個とした。試験条件は以下の通りである。
・アキシアル荷重:9.81N
・回転速度 :50rpm
・運転時間 :150時間
・真空度 :10-6Torr
上記発塵測定試験の結果を表1に併せて示す。この試験でも、実施例のものは、内外輪およびボールをセラミックスで形成した比較例2と同等以上の優れた低発塵性を示している。一方、比較例1のものは、ボールのみにPTFE樹脂皮膜を形成しただけでは、総発塵個数が実施例や比較例2のものの約1.5倍となっている。
1 内輪
2 外輪
3 ボール
3a 樹脂皮膜
4 保持器
2 外輪
3 ボール
3a 樹脂皮膜
4 保持器
Claims (4)
- 内輪、外輪、転動体および保持器を非磁性材料で形成した非磁性転がり軸受において、前記内輪と外輪を、Cr:30〜45質量%、Al:1.5〜5質量%、残部が実質的にNiからなるNi−Cr−Al合金で形成して、その硬度をHRC55以上とし、前記内輪の軌道面、外輪の軌道面、および転動体の転動面のうち、少なくとも転動体の転動面にポリテトラフルオロエチレンからなる樹脂皮膜を形成したことを特徴とする非磁性転がり軸受。
- 前記樹脂皮膜を形成するポリテトラフルオロエチレンの平均分子量を40000±5000とした請求項1に記載の非磁性転がり軸受。
- 前記転動体をセラミックスで形成した請求項1または2に記載の非磁性転がり軸受。
- 前記保持器をオーステナイト系ステンレス鋼または高分子材料で形成した請求項1乃至3のいずれかに記載の非磁性転がり軸受。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003410191A JP2005172056A (ja) | 2003-12-09 | 2003-12-09 | 非磁性転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003410191A JP2005172056A (ja) | 2003-12-09 | 2003-12-09 | 非磁性転がり軸受 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005172056A true JP2005172056A (ja) | 2005-06-30 |
Family
ID=34731340
Family Applications (1)
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JP2003410191A Pending JP2005172056A (ja) | 2003-12-09 | 2003-12-09 | 非磁性転がり軸受 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005172056A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100410555C (zh) * | 2006-09-28 | 2008-08-13 | 大连三环复合材料技术开发有限公司 | 不锈钢实体轴承保持架的制造方法 |
JP2009222139A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Nsk Ltd | 転がり軸受、調心輪付き転がり軸受 |
CN106321640A (zh) * | 2016-11-10 | 2017-01-11 | 无锡市明盛强力风机有限公司 | 一种固体润滑的滚珠轴承及其制备方法 |
-
2003
- 2003-12-09 JP JP2003410191A patent/JP2005172056A/ja active Pending
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