JP2007109869A - 転着装置及び転着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のリングフレーム20に張設されたダイシングテープDT上の多数のチップCを第2のリングフレーム24に張設された転着用シートSに転着させるための転着装置10。この転着装置10は、転着用シートSを押圧する押圧部材15と、この押圧部材15を支持する移動装置16とを備えている。押圧部材15は、平面内で円を描くように移動しながら転着用シートSを押圧するように前記移動装置16によって移動制御される。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、半導体チップ等の転着対象物を精度良く転着することのできる転着装置及び転着方法を提供することにある。
第1の保持装置50は、図1に示されるように、前記上部プレート48を貫通して上下方向に延びる4本のねじ軸54と、前記上部プレート48の下面にプーリ58が回転可能に固定されるとともに当該プーリ58の回転により各ねじ軸54を昇降可能に支持する軸受部55と、前記ねじ軸54が2本ずつ固定された左右一対の第1のフレームホルダ56とにより構成されている。また、各プーリ58は、エンドレスベルト59によってモータM1の出力軸に固定された駆動用プーリ61に掛け回されている(図3参照)。これにより、モータM1の回転によって前記第1のフレームホルダ56に支持された第1の支持体11が昇降可能となっている。なお、前記モータM1は前記上部プレート48の下面側に吊持されている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 第1の支持体
12 第2の支持体
15 押圧部材
15A 押圧面
16 移動装置
20 第1のリングフレーム
24 第2のリングフレーム
44 エキスパンド装置
DT ダイシングテープ
S 転着用シート
C チップ(転着対象物)
Claims (5)
- 支持体に支持された転着対象物の上面側に転着用シートを配置して当該転着用シートに転着対象物を転着させる転着装置において、
前記転着用シートを押圧して転着対象物に転着させる押圧部材を含み、当該押圧部材は、前記転着対象物の面積よりも小さな押圧面を備えているとともに、平面内で円を描くように移動しながら前記転着用シートを押圧して当該転着用シートに転着対象物を転着させる移動手段に支持されていることを特徴とする転着装置。 - 支持体に支持された転着対象物の上面側に転着用シートを配置して当該転着用シートに転着対象物を転着させる転着装置において、
前記転着用シートを押圧して転着対象物に転着させる押圧部材を含み、当該押圧部材は、前記転着対象物の面積よりも小さな押圧面を備えているとともに、上下往復動作を伴って所定方向へ移動することで前記転着用シートを断続的に押圧して当該転着用シートに転着対象物を転着させる移動手段に支持されていることを特徴とする転着装置。 - 前記転着対象物はダイシングテープに支持され、個片化された多数の電子部品であるとともに、前記転着対象物の面積は前記電子部品の集合体の総面積であり、これら電子部品の端縁間に隙間を形成するように前記ダイシングテープをエキスパンドするエキスパンド装置を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の転着装置。
- 支持体に支持された転着対象物の上面側に転着用シートを配置して当該転着用シートに転着対象物を転着させる転着方法において、
前記転着対象物の上面側に転着用シートを配置し、
前記転着用シートの上方に前記転着対象物の面積よりも小さな押圧面を備えた押圧部材を位置させた状態とし、
次いで、前記押圧部材を平面内で円を描くように移動させながら前記転着用シートを押圧することで前記転着対象物を転着用シートに転着させることを特徴とする転着方法。 - 支持体に支持された転着対象物の上面側に転着用シートを配置して当該転着用シートに転着対象物を転着させる転着方法において、
前記転着対象物の上面側に転着用シートを配置し、
前記転着用シートの上方に前記転着対象物の面積よりも小さな押圧面を備えた押圧部材を位置させた状態とし、
次いで、前記押圧部材の上下往復動作と平面内における所定方向移動とを伴わせて前記転着用シートを断続的に押圧することで前記転着対象物を転着用シートに転着させることを特徴とする転着方法。
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