JP2007103524A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n-型エピタキシャル層14と、n-型エピタキシャル層14の上面に形成され、内周側開口部及び外周側開口部を有する無機保護膜20と、無機保護膜20の内周側開口部と無機保護膜20における少なくとも内周側側壁とを覆うように形成された電極膜26と、無機保護膜20の外周側開口部と無機保護膜20における少なくとも外周側側壁とを覆うように、かつ、電極膜26と重ならないように形成された有機保護膜32とを備えることを特徴とする半導体装置1。
【選択図】図1
Description
また、電極膜と有機保護膜との間隔を100μm以下としたのは、これらの間隔が100μmを超えるように形成することとした場合には、必要以上に大きな無機保護膜を形成する必要が生じ、半導体装置としての電気的特性を向上するうえでの障害になってしまうからである。
図1は、実施形態1に係る半導体装置1を説明するために示す図である。図1(a)は半導体装置1の断面図であり、図1(b)は半導体装置1の上面図である。なお、図1(b)においては、p+型ガードリング層16及びn++型チャネルストッパ層18の図示を省略している。
電極膜26は、バリア金属膜28とバリア金属膜28上に形成された他の金属膜30(ともに図示せず。)とから構成された積層膜からなっている。バリア金属膜28としては、例えば、白金を好適に用いることができる。他の金属膜30としては、例えば、ニッケルを好適に用いることができる。
図6は、試験例で用いる半導体装置の構造を示す図である。図6(a)は実施例1に係る半導体装置1の構造を示す図であり、図6(b)は比較例1に係る半導体装置1bの構造を示す図であり、図6(c)は比較例2に係る半導体装置1cの構造を示す図であり、図6(d)は比較例3に係る半導体装置1dの構造を示す図である。
比較例1に係る半導体装置1bは、図6(b)に示すように、従来のショットキバリアダイオード801の場合と同様に、有機保護膜32bが無機保護膜20の外周側側壁を覆わないように形成された構造を有する半導体装置である。
比較例2に係る半導体装置1cは、図6(c)に示すように、従来の他のショットキバリアダイオード901の場合と同様に、有機保護膜32cが電極膜26の周辺部分及び無機保護膜20の全部を覆うように形成された構造を有する半導体装置である。
比較例3に係る半導体装置1dは、図6(d)に示すように、比較例2に係る半導体装置1cと同様の構造を有するが、有機保護膜32dが、比較例2に係る半導体装置1cにおける有機保護膜32cよりも、電極膜26の内周側まで覆うように形成された構造を有する半導体装置である。
図7は、実施形態2に係る半導体装置2の断面図である。なお、図7において、図1と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。また、図7においても、図1の場合と同様に、n+型半導体基板12の裏面に形成された電極膜38は、図示を省略してある。
図8は、実施形態3に係る半導体装置3の断面図である。なお、図8において、図1と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。また、図8においても、図1の場合と同様に、n+型半導体基板12の裏面に形成された電極膜38は、図示を省略してある。
図9は、実施形態4に係る半導体装置4の上面図である。
実施形態4に係る半導体装置4は、パワーMOSFETであって、図9に示すように、上面に、ソース電極膜26A及びゲート電極膜26Bが形成されている。
図10は、実施形態5に係る半導体装置5の上面図である。
実施形態5に係る半導体装置5は、IGBTであって、図10に示すように、上面に、エミッタ電極膜26C及びゲート電極膜26Dが形成されている。
図11及び図12は、実施形態6に係る半導体装置の製造方法を説明するために示す図である。図11(a)〜図11(c)及び図12(d)〜図12(f)は実施形態6に係る半導体装置の製造方法における各工程図である。
n+型シリコン基板12の上面に形成されたn-型エピタキシャル層14の表面に、p+型ガードリング層16及びn++型チャネルストッパ層18を形成する(図11(a)参照。)。このとき、n-型エピタキシャル層14の上面には、酸化珪素膜22が形成されている。
次に、酸化珪素膜22の上面に窒化珪素膜24を形成し、その後必要なパターンニングを行って、n-型エピタキシャル層14の表面に、内周側開口部及び外周側開口部を有する環状の無機保護膜20を形成する(図11(b)参照。)。このとき、無機保護膜20は、酸化珪素膜22と酸化珪素膜22上に形成された窒化珪素膜24とから構成された積層膜となっている。
次に、n-型エピタキシャル層14の上面に、無機保護膜20の内周側開口部と無機保護膜20における少なくとも内周側側壁とを覆うように電極膜26を形成する(図11(c)参照。)。電極膜26としては、バリア金属膜28としての白金とバリア金属膜28上に形成された他の金属膜30としてのニッケルとから構成された積層膜を用いる。この場合、他の金属膜30の最表面は、ニッケルである。
次に、n-型エピタキシャル層14の上面側を覆うように有機保護膜32を塗布する(図12(d)参照。)。
次に、無機保護膜20の外周側開口部と無機保護膜20における少なくとも外周側側壁とを覆うように、かつ、電極膜26と重ならないように、有機保護壁膜32をパターンニングする(図12(e)参照。)。
次に、電極膜26を構成する金属が酸化されない酸素濃度(0.1%)で有機保護膜32の熱硬化処理を行う(図12(f)参照。)。
次に、n+型シリコン基板12の裏面に、Ti及びNiの積層膜からなる電極膜38(図示せず。)を形成する。
図13は、実施形態7に係る半導体装置の製造方法を説明するために示す図である。図13(d)〜図13(f)は実施形態7に係る半導体装置の製造方法における各工程図である。なお、実施形態7に係る半導体装置の製造方法においては、工程の途中までは実施形態5に係る半導体装置の製造方法と同じであるため、図11(a)〜図11(c)を援用して説明することとする。
n+型シリコン基板12の上面に形成されたn-型エピタキシャル層14の表面に、p+型ガードリング層16及びn++型チャネルストッパ層18を形成する(図11(a)参照。)。このとき、n-型エピタキシャル層14の上面には、酸化珪素膜22が形成されている。
次に、酸化珪素膜22の上面に窒化珪素膜24を形成し、その後必要なパターンニングを行って、n-型エピタキシャル層14の表面に、内周側開口部及び外周側開口部を有する環状の無機保護膜20を形成する(図11(b)参照。)。このとき、無機保護膜20は、酸化珪素膜22と酸化珪素膜22上に形成された窒化珪素膜24とから構成された積層膜となっている。
次に、n-型エピタキシャル層14の上面に、無機保護膜20の内周側開口部と無機保護膜20における少なくとも内周側側壁とを覆うように電極膜26を形成する(図11(c)参照。)。電極膜26としては、バリア金属膜28としての白金とバリア金属膜28上に形成された他の金属膜30としてのニッケルとから構成された積層膜を用いる。この場合、他の金属膜30の最表面は、ニッケルである。
次に、n-型エピタキシャル層14の上面側を覆うように有機保護膜32を塗布する(図13(d)参照。)。
次に、有機保護膜32の熱硬化処理を行う(図13(e)参照。)。
次に、有機保護膜32を、無機保護膜20の外周側開口部と無機保護膜20における少なくとも外周側側壁とを覆うように、かつ、電極膜26と重ならないようにパターンニングする(図13(f)参照。)。
次に、n+型シリコン基板12の裏面に、Ti及びNiの積層膜からなる電極膜38(図示せず。)を形成する。
Claims (17)
- 第1導電型の半導体基体と、
前記半導体基体の上面に形成され、内周側開口部及び外周側開口部を有する無機保護膜と、
前記内周側開口部と前記無機保護膜における少なくとも内周側側壁とを覆うように形成された電極膜と、
前記外周側開口部と前記無機保護膜における少なくとも外周側側壁とを覆うように、かつ、前記電極膜と重ならないように形成された有機保護膜とを備えることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記無機保護膜は、酸化珪素膜と前記酸化珪素膜上に形成され前記酸化珪素膜よりも高い耐湿性を有する膜とから構成された積層膜からなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1又は2に記載の半導体装置において、
前記電極膜と前記有機保護膜とは、1μm〜100μmの間隔で離間して形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置において、
前記有機保護膜は、前記半導体基体の外周端部から少なくとも1μmの領域を除く領域に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置において、
前記有機保護膜は、上面から見て屈曲している部分が曲線部からなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記曲線部は、10μm〜1mmの曲率半径を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の半導体装置において、
前記有機保護膜は、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール又はベンゾシクロオレフィンからなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の半導体装置において、
前記電極膜における最表層は、ろう付けが可能である材料からなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の半導体装置において、
前記電極膜における最表層は、ワイヤボンディングが可能である材料からなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜9のいずれかに記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、ショットキバリアダイオードであって、
前記電極膜は、バリア金属膜と前記バリア金属膜上に形成された他の金属膜とから構成された積層膜からなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項10に記載の半導体装置において、
前記半導体基体の外周部に形成された第1導電型のチャネルストッパ層と、
前記半導体基体における前記チャネルストッパ層の内周側に形成された前記第1導電型とは反対の導電型である第2導電型のガードリング層とをさらに備え、
前記無機保護膜は、前記ガードリング層から前記チャネルストッパ層にかけて形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜9のいずれかに記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、pn接合ダイオードであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜9のいずれかに記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、パワーMOSFETであって、
前記電極膜は、ソース電極膜及び/又はゲート電極膜であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜9のいずれかに記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、IGBTであって、
前記電極膜は、エミッタ電極膜及び/又はゲート電極膜であることを特徴とする半導体装置。 - 第1導電型の半導体基体の上面に、内周側開口部及び外周側開口部を有する環状の無機保護膜を形成する無機保護膜形成工程と、
前記半導体基体の上面に、前記内周側開口部と前記無機保護膜における少なくとも内周側側壁とを覆うように電極膜を形成する電極膜形成工程と、
前記半導体基体の上面側を覆うように有機保護膜を形成する有機保護膜形成工程と、
前記有機保護膜を、前記外周側開口部と前記無機保護膜における少なくとも外周側側壁とを覆うように、かつ、前記電極膜と重ならないようにパターンニングする有機保護膜パターンニング工程と、
前記電極膜を構成する金属が酸化されない酸素濃度で前記有機保護膜の熱硬化処理を行う熱硬化工程とをこの順序で含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項15に記載の半導体装置の製造方法において、
前記熱硬化工程においては、酸素濃度が5%以下の条件で前記有機保護膜の熱硬化処理を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1導電型の半導体基体の上面に、内周側開口部及び外周側開口部を有する環状の無機保護膜を形成する無機保護膜形成工程と、
前記半導体基体の上面に、前記内周側開口部と前記無機保護膜における少なくとも内周側側壁とを覆うように電極膜を形成する電極膜形成工程と、
前記半導体基体の上面側を覆うように有機保護膜を形成する有機保護膜形成工程と、
前記有機保護膜の熱硬化処理を行う熱硬化工程と、
前記有機保護膜を、前記外周側開口部と前記無機保護膜における少なくとも外周側側壁とを覆うように、かつ、前記電極膜と重ならないようにパターンニングする有機保護膜パターンニング工程とをこの順序で含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP4840849B2 (ja) | 2011-12-21 |
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