JP7401416B2 - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 266
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 179
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 61
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 61
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 56
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 30
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 28
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 15
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 28
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 8
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 5
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 3
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229960001730 nitrous oxide Drugs 0.000 description 1
- 235000013842 nitrous oxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/0611—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices
- H01L29/0615—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE]
- H01L29/0619—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE] with a supplementary region doped oppositely to or in rectifying contact with the semiconductor containing or contacting region, e.g. guard rings with PN or Schottky junction
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Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。さらに、本明細書と各図において、既出の図に関して説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、本実施形態に係る半導体装置を示す平面図である。図2は、図1の領域Aを示す拡大図である。図3は、図2に示すB-B’線による断面図である。図1~図3は、配線層が省略されている。図1、図2は、後述する第1低応力絶縁膜51が一点鎖線で示されている。図2は、後述する第2保護膜42の稜線が細線で示されている。
図1~図3に示すように、半導体装置101には、電流を制御するセル領域CEと、その周囲に設けられた終端領域EN1が設定されている。図1、図2に示すように、セル領域CEは、二点鎖線よりも内側の領域であり、終端領域EN1は、二点鎖線よりも外側の領域である。終端領域EN1においては、セル領域CE側をセル側CSとし、ダイシングラインがある外側を終端側TSとする。
第1電極21は、半導体装置101の底面全域に設けられ、略平坦な板形状である。第1電極21は、例えばカソード電極である。
第1半導体層11は、第1導電形であり、例えばn形である。第1半導体層11は、下層半導体層11aと、上層半導体層11bと、終端半導体層11cとを有する。下層半導体層11aは、セル領域CE及び終端領域EN1において第1電極21上に設けられ、第1電極21に接している。下層半導体層11aは、例えばn+形の半導体からなる。上層半導体層11bは、セル領域CE及び終端領域EN1において下層半導体層11a上に設けられている。上層半導体層11bは、例えばn-形の半導体からなる。終端半導体層11cは、終端領域EN1において上層半導体層11b上に設けられ、例えばn+形の半導体からなる。なお、「n-形」は、「n+形」よりもキャリア濃度が低いことを表す。終端半導体層11cは、平面視においてセル領域CEを囲む枠状に形成されている。終端半導体層11cは、半導体装置101の終端側TSに設けられ、例えば、終端側TSに沿って配置されている。
第3半導体層13は、例えばガードリング(Guard Ring)である。第3半導体層13は、終端領域EN1において上層半導体層11b上に、複数、例えば3つ設けられている。第3半導体層13は、第2導電形であり、例えばp+形である。第3半導体層13は、上方に設けられた第3電極23に接続されている。複数の第3半導体層13は、平面視において大きさが異なる略相似形の枠形状であり、セル領域CEを囲むように同心状に配置されている。
第1保護膜41は、終端絶縁膜31上に設けられ、終端絶縁膜31の上面を覆っている。これにより、第1保護膜41は、段差や屈曲部がほとんど無い略平坦な形状である。第1保護膜41は、シリコン及び窒素(N)を含み、例えばシリコン窒化物(SiN)を含んでいる。
端部22bは、本体部22aの上部から終端側TSに張り出している。端部22bは、終端領域EN1のセル側CSにおいて第1保護膜41上に配置され、下面が第1保護膜41に接している。
本体部28aは、第1保護膜41上に設けられている。本体部28aの下面は、第1保護膜41に接している。図3に示すように、本体部28aの終端側TSに面する側面28Dと、終端電極28の上面28Bがなす角度βは、例えば100度以上であることが好ましい。コンタクト部28bは、本体部28aから下に延び、終端半導体層11c上に設けられ、終端半導体層11cに接続されている。コンタクト部28bは、終端絶縁膜31と第1保護膜41を貫通している。終端電極28は、例えばアルミニウムを含んでいる。
尚、第1低応力絶縁膜51は、少なくとも、第2電極22の端部22bの側面と終端電極28のセル側CSの側面に接していればよい。
電極接触部42fは、側部42dの終端側TSに設けられ、終端電極28の本体部28a上に設けられている。電極接触部42fは、終端電極28の上面28B及び側面28D並びに第1保護膜41に接している。電極接触部42fの内面がなす角度は、角度βと略同一であり、例えば100度以上が好ましい。
図2に示すように、第1低応力絶縁膜51は、終端絶縁膜31、第1保護膜41、及び、第2保護膜42のいずれよりも厚い。上部51bの厚さは、例えば5μm以上であることが好ましい。また、第1低応力絶縁膜51の厚さは、第1保護膜41の厚さの約40倍以下であることが好ましい。
同様に、終端電極28の側面28Dと上面28Bがなす角度βは、例えば100度以上であることが好ましいが、これに限らず、90度以上でもよい。
本実施形態に係る半導体装置101は、封止樹脂内に配置される。封止樹脂は、例えばエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂またはシリコーン樹脂などのゲルであって、シリカフィラーを含む。
オフ状態において、例えばカソード電極である第1電極21は、例えば電源装置から正電位が印加される。例えばアノード電極である第2電極22は、例えば電源装置から負電位が印加される。終端電極28は、第1電極21に接する半導体部分10を介して第1電極21に接続されているため第1電極21と略同一の正の電位になる。これにより、終端領域EN1における半導体部分10のセル側CSは、負の電位になる。また、終端領域EN1の上層半導体層11bに発生する空乏層は、終端半導体層11cより終端側TSに伸びない。
先ず、半導体部分10は、例えばエピタキシャル成長によって形成する。半導体部分10の所定の部分にそれぞれ不純物を注入し、半導体部分10に第1半導体層11、第2半導体層12、第3半導体層13を形成する。半導体部分10に導電性の第1電極21を形成する。
次に、終端絶縁膜31上に、第1保護膜41を形成する。第1保護膜41は、略平坦な終端絶縁膜31上に形成されることにより、略平坦な膜になる。第1保護膜41は、例えば、プラズマを用いた化学気相成長(chemical vapor deposition:CVD)によって形成する。第1保護膜41は、例えば、水酸化ケイ素(SiH4、シラン)を含むガスと、アンモニア(NH3)を含むガスを使用する。具体的には、プラズマCVDは、キャリアガスに窒素を使用し、反応ガスにシラン及びアンモニアを使用する。
プラズマCVDによって、第2電極22と終端電極28の間に第1低応力絶縁膜51を形成する。CVD法によって形成するため、段差のある第1保護膜41から第2電極22、第3電極23、及び、終端電極28の上に、第1低応力絶縁膜51を精度良く形成できる。
次に、第1低応力絶縁膜51、第2電極22、及び、終端電極28の上に第2保護膜42を形成する。第2保護膜42は、例えば、プラズマCVDによって形成する。第2保護膜42は、第1保護膜41と同様のガスを使用する。
本実施形態に係る半導体装置101によれば、半導体部分10の略平坦な上面に、例えばシリコン酸化膜である終端絶縁膜31を形成し、終端絶縁膜31上に、例えばシリコン窒化物を含む第1保護膜41を形成する。これにより、第1保護膜41を、段差が少なく略平坦な膜にして、終端絶縁膜31上に設けている。よって、第1保護膜41は、クラックの生成を抑えられ、半導体部分10へのイオンの侵入を抑止できる。
第1保護膜41上において、第2電極22と終端電極28の間に第1低応力絶縁膜51
を設けている。第1低応力絶縁膜51は、下部51aを、第2電極22、第3電極23、及び、終端電極28の間に設け、上部51bを、第2電極22、第3電極23、及び、終端電極28の上に設けている。第1低応力絶縁膜51は内部応力が低い。よって、上部51bの厚さを、例えば、5μm以上であって第1保護膜41の厚さの40倍以下に設定しても、ウェーハを変形させ難い。これにより、終端領域EN1に厚い絶縁膜を設けて、絶縁性を高め、可動イオンによる耐圧低下を抑制し、半導体装置101の終端領域EN1の信頼性を向上できる。
また、第2保護膜42の電極接触部42fが終端電極28の上面28Bと側面28Dに接している。また、第2保護膜42の電極接触部42fの先端が、終端電極28よりも終端側TSにおいて第1保護膜41に接している。以上により、引き寄せられた負の可動イオンの侵入を効果的に抑止できる。
本実施形態に係る半導体装置102は、終端領域EN2における半導体部分10に、複数の第3半導体層13ではなく1つの第4半導体層14が設けられ、金属膜61、金属部材62、及び、第2低応力絶縁膜52(第2絶縁膜)を有する。第2低応力絶縁膜52は、シリコン、酸素、窒素及び水素を含み、例えば、シリコン酸窒化物と水素を含んでいる。第2低応力絶縁膜52は、シリコン窒化物を含む第1保護膜41または第2保護膜42よりも水素が多く、窒素が少ない。
図4は、本実施形態における半導体装置を示す拡大平面図である。図5は、図4に示すC-C’線による断面図である。図4は、第2保護膜42の稜線が細線によって示され、後述する第1低応力絶縁膜51、第2低応力絶縁膜52が一点鎖線で示されている。図4、図5は、配線層が省略されている。
第4半導体層14は、例えば、RESURF(Reduced Surface Field)である。第4半導体層14は、終端領域EN2において上層半導体層11b上に設けられ、第2半導体層12の終端側TSに接して設けられている。第4半導体層14は、第2導電形であり、例えばP-形の半導体からなる。第4半導体層14は、第2半導体層12と略同一電位となり、例えば略0Vである。第4半導体層14は、第2半導体層12と同様に、セル領域CEを囲む略枠形である。
終端電極29の本体部29aの上面29Bと側面29Dがなす角度は、約90度である。
第1低応力絶縁膜51の上部51bは、第2電極22の端部22bの上面と、終端電極29の本体部29aの上面に接している。また、第1低応力絶縁膜51の比誘電率は、4.8である。
上部52bは、終端電極29の本体部29a上に設けられている。上部52bは、終端電極29の上面29Bにおいて第1低応力絶縁膜51の上部51bと離隔している。上部52bは、上面52Bと、上面52Bに接したセル側CSの側面52Cと、終端側TSの側面52Dを有する。上部52bの側面52Cと上面52Bがなす角度α3は、例えば100度以上であることが好ましい。上部52bの側面52Dと上面52Bとがなす角度は、例えば約90度である。上部52bの側面52Cと終端電極29の上面29Bがなす角度は、角度α3と略同一である。
第2低応力絶縁膜52は、第1低応力絶縁膜51と略同一の物質を含み、例えば、第1低応力絶縁膜51と略同一の組成からなり、同一の特徴を有する。
第2保護膜42の電極接触部42gは、第2保護膜42の他の部分よりも膜厚が厚い。第2保護膜42の比誘電率は、7.0である。
本実施形態に係る半導体装置102は、封止樹脂内に配置され、第1電極21の下面が基板に接続され、金属部材62の上面が基板に接続される。これにより、半導体装置102は、第1電極21と金属部材62から放熱される。また、半導体装置102は、第1電極21と金属部材62の間で基板からの負荷を受ける。
また、例えばRESURFである第4半導体層14は、第2半導体層12と略同一の電位となり、終端領域EN2におけるオフ時の電界の集中を抑制する。
金属膜61は、可動イオンを通過させないので、効果的に可動イオンの侵入を抑止する。また、金属膜61が第1低応力絶縁膜51と第2保護膜42の間に設けられているので、仮に第2保護膜42の角部C3にクラックが発生したとしても、内側にある金属膜61が可動イオンの侵入を抑止する。
第1低応力絶縁膜51と第2低応力絶縁膜52を、第2電極22と終端電極29と第1保護膜41の上に、例えば第1実施形態と同様にプラズマCVDによって形成する。
金属膜61を、例えばスパッタリングによって第1低応力絶縁膜51上に形成する。
金属部材62は、例えば銅を含む金属によるめっきを重ねて形成する。
本実施形態に係る半導体装置102によれば、第1低応力絶縁膜51上に金属膜61を設け、金属膜61の先端部61bbを、終端電極29の本体部29a上に重ね、かつ、離隔させている。また、金属膜61の電極接触部61eを第2電極22に接続している。これにより、第1低応力絶縁膜51の上部51bが介在した金属膜61の先端部61bbと終端電極29の本体部29aは、第2電極22と第2半導体層12に並列接続されたコンデンサーCを構成している。したがって、コンデンサーCは、オフスイッチングの逆回復時に、第2電極22と第2半導体層12における電気的な発振を吸収できる。これにより、半導体装置102は、低コストで信頼性があるコンデンサーCを内蔵できる。
また、第2保護膜42と第1低応力絶縁膜51と第2低応力絶縁膜52は、金属膜61の先端部61bbから終端電極29への放電を抑制している。
本実施形態に係る半導体装置103は、IGBTである。半導体装置103は、セル領域CE3が、第1実施形態に係る半導体装置101のセル領域CEと異なり、終端領域EN3が、半導体装置101の終端領域EN1と略同一である。
図6は、本実施形態に係る半導体装置103を示す拡大断面図である。図6は、図3と同等箇所の断面図であり、配線層を省略している。
半導体装置103は、セル領域CE3において更に、チャネル層17、エミッタ層18a、エミッタコンタクト層18b、及び、絶縁層32、並びに、ゲート電極24、及び、ゲート絶縁膜24aがそれぞれ複数設けられている。
チャネル層17は、例えばp形の半導体からなり、エミッタ層18aは、例えばn形の半導体からなる。エミッタコンタクト層18bは、例えばp+の半導体からなり、積層したチャネル層17とエミッタ層18aにおいて下方に延びて設けられている。ゲート電極24は、上面以外をゲート絶縁膜24aに覆われている。終端側TSに配列されたゲート電極24は、ゲート絶縁膜24aを介して第2半導体層12Eに対向している。その他のゲート電極24は、ゲート絶縁膜24aを介して積層した上層半導体層11b、チャネル層17、及び、エミッタ層18aに対向している。絶縁層32は、第2電極22Eとゲート電極24の間に設けられている。
であり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
セル領域及び前記セル領域を囲む終端領域が設定された半導体装置であって、
第1電極と、
前記第1電極上に設けられた半導体部分と、
前記終端領域において前記半導体部分上に設けられた終端絶縁膜と、
前記終端絶縁膜上に設けられ、シリコン及び窒素を含む第1保護膜と、
前記セル領域において前記半導体部分上に設けられ、端部が前記第1保護膜上に配置された第2電極と、
前記終端領域において前記第1保護膜上に設けられ、前記半導体部分に接続された終端電極と、
前記第1保護膜上に設けられ、前記第2電極の端部及び前記終端電極に接し、下部が前記第2電極と前記終端電極との間に配置され、上部が前記第2電極及び前記終端電極の上に配置され、水素を含む内部応力が前記終端絶縁膜の内部応力よりも低い第1低応力絶縁膜と、
前記第1低応力絶縁膜の前記上部を覆い、シリコン及び窒素を含む第2保護膜と、
を備えた半導体装置。
前記第1低応力絶縁膜は、さらに、シリコン、酸素、及び窒素及び水素を含む付記1に記載の半導体装置。
前記第2保護膜は、前記終端電極に接している付記1または2に記載の半導体装置。
前記第2保護膜は、前記終端電極よりも終端側において前記第1保護膜と接している付記1~3のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記終端電極の上面と終端側の側面とがなす角度は、100度以上である付記4に記載の半導体装置。
前記第1低応力絶縁膜の前記上部の側面と上面とがなす角度は100度以上である付記1~5のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記第2保護膜は、前記第2電極に接している付記1~6のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記第1低応力絶縁膜上に設けられ、前記第2電極に接続され、一部が前記終端電極上に重なり、かつ、前記終端電極から離隔した金属膜をさらに備え、
前記半導体部分は、
前記第1電極及び前記終端電極に接続された第1導電形の第1半導体層と、
前記セル領域において前記第1半導体層上に設けられ、前記第2電極に接続された第2導電形の第2半導体層と、
を有した付記1~7のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記第1低応力絶縁膜の終端側に設けられ、下部が前記第1保護膜上に配置され、上部が前記終端電極上に配置された、水素を含む第2低応力絶縁膜をさらに備え、
前記第2保護膜は、前記第2低応力絶縁膜の前記上部上にも設けられた付記8に記載の半導体装置。
前記第2低応力絶縁膜の前記上部の上面と前記セル領域側の側面がなす角度は、100度以上であり、
前記第2保護膜は、前記第2低応力絶縁膜の前記上面上及び前記側面上にも設けられた付記9に記載の半導体装置。
前記第2電極の上に設けられた金属部材をさらに備え、
前記金属部材の上面は、前記第2保護膜よりも上に位置している付記1~10のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記第1低応力絶縁膜の内部応力は、前記第1保護膜の内部応力の40分の1以下である付記1~11のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記第1低応力絶縁膜の前記上部の厚さは、5μm以上であって、前記第1保護膜の厚さの40倍以下である付記1~12のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記終端絶縁膜は、シリコン及び酸素を含んだ付記1~13のいずれか1つに記載の半導体装置。
セル領域及び前記セル領域を囲む終端領域が設定された半導体装置であって、
第1電極と、
前記第1電極上に設けられた半導体部分と、
前記終端領域において前記半導体部分上に設けられた終端絶縁膜と、
前記終端絶縁膜上に設けられ、シリコン及び窒素を含む第1保護膜と、
前記セル領域において前記半導体部分上に設けられ、端部が前記第1保護膜上に配置された第2電極と、
前記終端領域において前記第1保護膜上に設けられ、前記半導体部分に接続された終端電極と、
前記第1保護膜上に設けられ、前記第2電極の端部及び前記終端電極に接し、下部が前記第2電極と前記終端電極との間に配置され、上部が前記第2電極及び前記終端電極よりも上方に配置された第1低応力絶縁膜と、
前記第1低応力絶縁膜の前記上部を覆い、シリコン及び窒素を含む第2保護膜と、
前記第1低応力絶縁膜上に設けられ、前記第2電極に接続され、一部が前記終端電極に重なり、かつ、前記終端電極から離隔した金属膜と、
を備えた半導体装置。
11…第1半導体層
11a…下層半導体層
11b…上層半導体層
11c…終端半導体層
12、12E…第2半導体層
13…第3半導体層
14…第4半導体層
15…第5半導体層
17…チャネル層
18a…エミッタ層
18b…エミッタコンタクト層
21…第1電極
22、22E…第2電極
22a、22Ea…本体部
22b、22Eb…端部
22Ec…コンタクト部
23…第3電極
23a…本体部
23b…コンタクト部
24…ゲート電極
24a…ゲート絶縁膜
28、29…終端電極
28B、29B…上面
28D、29D…側面
28a、29a…本体部
28b、29b…コンタクト部
31…終端絶縁膜
32…絶縁層
41…第1保護膜
42…第2保護膜
42b、42hb…上部
42c、42d、42hc…側部
42e、42f、42g…電極接触部
51…第1低応力絶縁膜
51B…上面
51C、51D…側面
51a…下部
51b…上部
52…第2低応力絶縁膜
52B…上面
52C、52D…側面
52a…下部
52b…上部
61…金属膜
61b…上部
61bb…先端部
61c…側部
61e…電極接触部
62…金属部材
101、102、103…半導体装置
C…コンデンサー
C1~C4…角部
CE、CE3…セル領域
CS…セル側
D1…配列方向
D2…延設方向
EN1、EN2、EN3…終端領域
TS…終端側
α1~α3、β…角度
Claims (11)
- セル領域及び前記セル領域を囲む終端領域が設定された半導体装置であって、
第1電極と、
前記第1電極上に設けられた半導体部分と、
前記終端領域において前記半導体部分上に設けられた終端絶縁膜と、
前記終端絶縁膜上に設けられ、シリコン及び窒素を含む第1保護膜と、
前記セル領域において前記半導体部分上に設けられ、端部が前記第1保護膜上に配置された第2電極と、
前記終端領域において前記第1保護膜上に設けられ、前記半導体部分に接続された終端電極と、
前記第1保護膜上に設けられ、前記第2電極の端部及び前記終端電極に接し、下部が前記第2電極と前記終端電極との間に配置され、上部が前記第2電極及び前記終端電極の上に配置され、水素を含む第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の前記上部を覆い、シリコン及び窒素を含む第2保護膜と、
を備え、
前記第1絶縁膜は、さらに、シリコン、酸素及び窒素を含む半導体装置。 - 前記第2保護膜は、前記終端電極に接している請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2保護膜は、前記終端電極よりも終端側において前記第1保護膜と接している請求項1または2に記載の半導体装置。
- セル領域及び前記セル領域を囲む終端領域が設定された半導体装置であって、
第1電極と、
前記第1電極上に設けられた半導体部分と、
前記終端領域において前記半導体部分上に設けられた終端絶縁膜と、
前記終端絶縁膜上に設けられ、シリコン及び窒素を含む第1保護膜と、
前記セル領域において前記半導体部分上に設けられ、端部が前記第1保護膜上に配置された第2電極と、
前記終端領域において前記第1保護膜上に設けられ、前記半導体部分に接続された終端電極と、
前記第1保護膜上に設けられ、前記第2電極の端部及び前記終端電極に接し、下部が前記第2電極と前記終端電極との間に配置され、上部が前記第2電極及び前記終端電極の上に配置され、水素を含む第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の前記上部を覆い、シリコン及び窒素を含む第2保護膜と、
を備え、
前記第2保護膜は、前記終端電極よりも終端側において前記第1保護膜と接している半導体装置。 - 前記第2保護膜は、前記第2電極に接している請求項1~4のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁膜上に設けられ、前記第2電極に接続され、一部が前記終端電極上に重なり、かつ、前記終端電極から離隔した金属膜をさらに備え、
前記半導体部分は、
前記第1電極及び前記終端電極に接続された第1導電形の第1半導体層と、
前記セル領域において前記第1半導体層上に設けられ、前記第2電極に接続された第2導電形の第2半導体層と、
を有した請求項1~5のいずれか1つに記載の半導体装置。 - セル領域及び前記セル領域を囲む終端領域が設定された半導体装置であって、
第1電極と、
前記第1電極上に設けられた半導体部分と、
前記終端領域において前記半導体部分上に設けられた終端絶縁膜と、
前記終端絶縁膜上に設けられ、シリコン及び窒素を含む第1保護膜と、
前記セル領域において前記半導体部分上に設けられ、端部が前記第1保護膜上に配置された第2電極と、
前記終端領域において前記第1保護膜上に設けられ、前記半導体部分に接続された終端電極と、
前記第1保護膜上に設けられ、前記第2電極の端部及び前記終端電極に接し、下部が前記第2電極と前記終端電極との間に配置され、上部が前記第2電極及び前記終端電極の上に配置され、水素を含む第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の前記上部を覆い、シリコン及び窒素を含む第2保護膜と、
前記第1絶縁膜上に設けられ、前記第2電極に接続され、一部が前記終端電極上に重なり、かつ、前記終端電極から離隔した金属膜と、
を備え、
前記半導体部分は、
前記第1電極及び前記終端電極に接続された第1導電形の第1半導体層と、
前記セル領域において前記第1半導体層上に設けられ、前記第2電極に接続された第2導電形の第2半導体層と、
を有した半導体装置。 - 前記第1絶縁膜の終端側に設けられ、下部が前記第1保護膜上に配置され、上部が前記終端電極上に配置され、水素を含む第2絶縁膜をさらに備え、
前記第2保護膜は、前記第2絶縁膜の前記上部上にも設けられた請求項6または7に記載の半導体装置。 - 前記第2電極の上に設けられた金属部材をさらに備え、
前記金属部材の上面は、前記第2保護膜よりも上に位置している請求項1~8のいずれか1つに記載の半導体装置。 - セル領域及び前記セル領域を囲む終端領域が設定された半導体装置であって、
第1電極と、
前記第1電極上に設けられた半導体部分と、
前記終端領域において前記半導体部分上に設けられた終端絶縁膜と、
前記終端絶縁膜上に設けられ、シリコン及び窒素を含む第1保護膜と、
前記セル領域において前記半導体部分上に設けられ、端部が前記第1保護膜上に配置された第2電極と、
前記終端領域において前記第1保護膜上に設けられ、前記半導体部分に接続された終端電極と、
前記第1保護膜上に設けられ、前記第2電極の端部及び前記終端電極に接し、下部が前記第2電極と前記終端電極との間に配置され、上部が前記第2電極及び前記終端電極の上に配置され、水素を含む第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の前記上部を覆い、シリコン及び窒素を含む第2保護膜と、
前記第2電極の上に設けられた金属部材と、
を備え、
前記金属部材の上面は、前記第2保護膜よりも上に位置している半導体装置。 - セル領域及び前記セル領域を囲む終端領域が設定された半導体装置であって、
第1電極と、
前記第1電極上に設けられた半導体部分と、
前記終端領域において前記半導体部分上に設けられた終端絶縁膜と、
前記終端絶縁膜上に設けられ、シリコン及び窒素を含む第1保護膜と、
前記セル領域において前記半導体部分上に設けられ、端部が前記第1保護膜上に配置された第2電極と、
前記終端領域において前記第1保護膜上に設けられ、前記半導体部分に接続された終端電極と、
前記第1保護膜上に設けられ、前記第2電極の端部及び前記終端電極に接し、下部が前記第2電極と前記終端電極との間に配置され、上部が前記第2電極及び前記終端電極よりも上方に配置された第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の前記上部を覆い、シリコン及び窒素を含む第2保護膜と、
前記第1絶縁膜上に設けられ、前記第2電極に接続され、一部が前記終端電極に重なり、かつ、前記終端電極から離隔した金属膜と、
を備えた半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020153313A JP7401416B2 (ja) | 2020-09-11 | 2020-09-11 | 半導体装置 |
CN202110022129.2A CN114171575A (zh) | 2020-09-11 | 2021-01-08 | 半导体装置 |
US17/171,585 US11335769B2 (en) | 2020-09-11 | 2021-02-09 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020153313A JP7401416B2 (ja) | 2020-09-11 | 2020-09-11 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022047410A JP2022047410A (ja) | 2022-03-24 |
JP7401416B2 true JP7401416B2 (ja) | 2023-12-19 |
Family
ID=80476345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020153313A Active JP7401416B2 (ja) | 2020-09-11 | 2020-09-11 | 半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11335769B2 (ja) |
JP (1) | JP7401416B2 (ja) |
CN (1) | CN114171575A (ja) |
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2020
- 2020-09-11 JP JP2020153313A patent/JP7401416B2/ja active Active
-
2021
- 2021-01-08 CN CN202110022129.2A patent/CN114171575A/zh active Pending
- 2021-02-09 US US17/171,585 patent/US11335769B2/en active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022047410A (ja) | 2022-03-24 |
US11335769B2 (en) | 2022-05-17 |
US20220085154A1 (en) | 2022-03-17 |
CN114171575A (zh) | 2022-03-11 |
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