JP2007096314A - ワイヤボンディングパッド面とボールパッド面の回路層の厚さが異なる半導体パッケージ基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】両側に電気的絶縁を提供する絶縁層302と、前記絶縁層302の一側に積層されており、ボールパッド304baを提供する第1回路層304bと、前記絶縁層302の第1回路層304bの反対側に積層されており、厚さが前記第1回路層304bより薄く、ワイヤボンディングパッド304aaを提供する第2回路層304aとを含んでなる、半導体パッケージ基板を提供する。
【選択図】図3
Description
図2は従来の技術に係る半導体パッケージ基板の斜視図である。図2を参照すると、従来の半導体パッケージ基板210は、通常、半導体素子実装部211aおよび外層回路パターン211bを含むユニット領域211と、ユニット領域211を取り囲んでいるダミー領域212とからなっている。
この種の半導体パッケージ基板は、ワイヤボンディングを行う面は微細パターン(Fine Pattern)を実現するために基板の回路層の高さを低く維持しなければならず、ボール側はOSP及びディープエッチング(Deep Etching)を適用するために基板の回路層の高さを高く維持しなければならないという、相反した技術を要求されている。
一方、ワイヤボンディングパッド面の銅箔501aに回路パターンを形成するために、パターン化されたドライフィルム508aを積層し、半田ボールパッド面の銅箔501bに回路パターンを形成するために、パターン化されたドライフィルム508bを積層する。
その後、図5Gに示すように、回路パターンの形成されたドライフィルム508a、508bをエッチングレジストとして、露出した銅箔501aをエッチング液によって除去して回路を形成する。この際、向後の金メッキが行われるときに使用されるメッキ引込み線が同様の方法で同時に形成される。
次に、前述したようなエッチングの後、エッチングレジストとして用いたドライフィルム508a、508bを剥離液によって除去する。
その次、図5Hに示すように、エッチングレジストとして用いたドライフィルム508a、508bを除去した後、半田レジスト511a、511bを塗布、露光、現像、乾燥させる。
次いで、ワイヤボンディングパッド509aだけを金メッキするために、基板の半田ボールパッド面にドライフィルム(図示せず)をコーティング、露光および現像する。その後、メッキ引込み線を介してワイヤボンディングパッド509aに金メッキ509bを施す。この際、前述したように、上部銅箔501aに形成されているメッキ引込み線が断線するおそれがあるが、形成された導通ホール507を介して下部銅箔501bに形成されているメッキ引込み線を介して電源の供給を受け、金メッキ509bを所望の厚さにすることが可能になる。
前述した金メッキの後、メッキレジストとして用いたドライフィルムを剥離液によって除去し、ルータまたはダイシングを用いてメッキ引込み線を切断する。すなわち、電解金メッキ完了の後、ルータまたはダイシングによってメッキ引込み線を切断する。
401a、401b、501a、501b 銅箔
302、402、502 絶縁層
304a、304b 回路層
304aa、408a、509a ワイヤボンディングパッド
304ac、408b、509b 金メッキ
304ba、409a、510a ボールパッド
304bc、409b、510b OSP表面処理
Claims (9)
- 両側に電気的絶縁部又は面を提供する絶縁層と、
前記絶縁層の一側に積層されており、ボールパッドを提供する第1回路層と、
前記絶縁層の第1回路層の反対側に積層され、厚さが前記第1回路層より薄く形成された、ワイヤボンディングパッドを提供する第2回路層とを含んでなることを特徴とする、半導体パッケージ基板。 - 前記第1回路層と前記第2回路層のメッキ引込み線が導通ホールを介して電気的に接続されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ基板。
- 前記第2回路層のユニット領域がダミー領域より薄いことを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ基板。
- 銅張積層板を準備してワイヤボンディングパッド面の銅箔をハーフエッチングする第1工程と、
前記銅張積層板の両側に第1エッチングレジストを積層する第2工程と、
前記第1エッチングレジストに回路パターンを形成し、前記銅張積層板の両側の銅箔に、前記回路パターンによるワイヤボンディングパッドを含んだ回路とボールパッドを含んだ回路をそれぞれ形成した後、前記第1エッチングレジストを除去する第3工程と、
前記回路パターンの形成された銅張積層板に、前記ワイヤボンディングパッドとボールパッドが露出するように半田レジストを積層する第4工程と、
前記ワイヤボンディングパッドに金メッキを施し、前記ボールパッドに表面処理を施す第5工程とを含んでなることを特徴とする、半導体パッケージ基板の製造方法。 - 前記第1工程は、
前記絶縁層の両側に、前記銅箔の積層された前記銅箔積層板を準備する第1−1工程と、
前記銅張積層板の第1側に第2エッチングレジストを積層し、第2側をハーフエッチングする第1−2工程と、
前記銅張積層板の第1側に積層された前記第2エッチングレジストを除去する第1−3工程とを含んでなることを特徴とする、請求項4に記載の半導体パッケージ基板の製造方法。 - 前記第1工程の前記銅張積層板を準備した後、
前記銅張積層板の第2側に、ユニット領域に対応する部分が開放された第3エッチングレジストを積層する工程をさらに含み、
前記第1工程の後、
前記銅張積層板の第2側に積層された前記第3エッチングレジストを除去する工程をさらに含んでなることを特徴とする、請求項4に記載の半導体パッケージ基板の製造方法。 - 前記第1工程の後、
前記銅張積層板の第2側に、ダミー領域に対応する部分が開放された第1メッキレジストを積層する工程と、
前記銅張積層板の第2側にメッキを施した後、前記第1メッキレジストを除去する工程とをさらに含んでなることを特徴とする、請求項4に記載の半導体パッケージ基板の製造方法。 - 前記第1工程の後、
前記銅張積層板の第1側の回路層に形成されるメッキ引込み線と前記第2側の回路層に形成されるメッキ引込み線とを導通させるための導通ホールを形成する工程をさらに含んでなることを特徴とする、請求項4に記載の半導体パッケージ基板の製造方法。 - 前記導通ホールは、前記半導体パッケージ基板のユニット領域と角部に形成されることを特徴とする、請求項8に記載の半導体パッケージ基板の製造方法。
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