JP2007093599A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1816668A2 (en) * 2006-02-01 2007-08-08 FEI Company Particle-optical apparatus with a predetermined final vacuum pressure
JP5033873B2 (ja) 2006-06-07 2012-09-26 エフ イー アイ カンパニ 真空チャンバを有する機器とともに使用されるスライダベアリング
CN101461026B (zh) 2006-06-07 2012-01-18 Fei公司 与包含真空室的装置一起使用的滑动轴承
US9040942B1 (en) * 2008-01-11 2015-05-26 Kla-Tencor Corporation Electron beam lithography with linear column array and rotary stage
CN102519996B (zh) * 2011-11-18 2014-05-07 烟台东方分析仪器有限公司 X射线荧光光谱仪自动送样装置
KR101214985B1 (ko) 2011-11-21 2012-12-24 한국기초과학지원연구원 Ｔｅｍ 관찰용 그리드 시료 로딩보조기구
US10121637B2 (en) * 2013-03-13 2018-11-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Multi-platen ion implanter and method for implanting multiple substrates simultaneously
EP2919325B1 (de) * 2014-03-11 2017-02-22 Nexans Endenabschluß für ein supraleitfähiges elektrisches Kabel
CN105115926A (zh) * 2015-08-12 2015-12-02 苏州优谱德精密仪器科技有限公司 一种化工原料转盘式检测装置
JP6522764B2 (ja) * 2015-08-21 2019-05-29 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置および試料ステージのアライメント調整方法
TWI600890B (zh) * 2016-03-01 2017-10-01 閤康生物科技股份有限公司 穿透式電子顯微鏡的樣品固定治具及其操作方法
CN106872246B (zh) * 2017-01-19 2019-06-21 中国石油大学(北京) 一种用于裂变径迹化学蚀刻的设备及方法
CN109406829B (zh) * 2017-08-17 2021-02-19 中国科学院物理研究所 扫描探针显微镜的扫描头
DE102018203096B9 (de) * 2018-03-01 2020-02-27 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Drucksystems für eine Vorrichtung zum Abbilden, Analysieren und/oder Bearbeiten eines Objekts und Vorrichtung zum Ausführen des Verfahrens
JP7455861B2 (ja) * 2019-04-16 2024-03-26 アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッド 複数のアークチャンバを備えるイオン源
US10998209B2 (en) 2019-05-31 2021-05-04 Applied Materials, Inc. Substrate processing platforms including multiple processing chambers
CN110993475B (zh) * 2019-12-05 2020-08-28 山东省分析测试中心 一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜
CN111724338B (zh) * 2020-03-05 2023-04-18 中冶赛迪信息技术(重庆)有限公司 一种转盘异常识别方法、系统、电子设备及介质

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL89188C (https=) * 1948-10-01
JPS5523746Y2 (https=) 1976-02-05 1980-06-06
US4162391A (en) * 1977-12-19 1979-07-24 Sciaky Bros., Inc. Sliding vacuum seal means
US5103102A (en) * 1989-02-24 1992-04-07 Micrion Corporation Localized vacuum apparatus and method
JPH067094B2 (ja) * 1989-12-18 1994-01-26 株式会社島津製作所 蛍光ｘ線分析装置
JPH0596467A (ja) * 1991-10-02 1993-04-20 Seiko Epson Corp 断面研磨用試料台および断面研磨用重石
JPH07208964A (ja) * 1994-01-13 1995-08-11 Fujitsu Ltd 回路パターン検査装置及び方法並びにこの方法に適した回路パターン配置
US5852298A (en) * 1995-03-30 1998-12-22 Ebara Corporation Micro-processing apparatus and method therefor
JPH08267257A (ja) * 1995-03-30 1996-10-15 Ebara Corp 微細被加工物の作業装置及び作業方法
JPH08273572A (ja) * 1995-03-30 1996-10-18 Jeol Ltd 試料搬送装置
US5608224A (en) * 1995-08-15 1997-03-04 Alvord; C. William Target changer for an accelerator
JPH11304699A (ja) * 1998-04-16 1999-11-05 Kett Electric Lab 近赤外成分分析装置
JP3855517B2 (ja) * 1999-01-27 2006-12-13 東ソー株式会社 多サンプル対応のスキャナー型蛍光検出装置
JP3652912B2 (ja) * 1999-03-08 2005-05-25 日本電子株式会社 欠陥検査装置
JP3597729B2 (ja) * 1999-05-11 2004-12-08 日立ソフトウエアエンジニアリング株式会社 蛍光測光方法及び蛍光測光装置
JP3886777B2 (ja) * 2001-11-02 2007-02-28 日本電子株式会社 電子線照射装置および方法
US6710354B1 (en) 2001-12-11 2004-03-23 Kla-Tencor Corporation Scanning electron microscope architecture and related material handling system
US6774373B2 (en) * 2002-07-29 2004-08-10 Axcelis Technologies, Inc. Adjustable implantation angle workpiece support structure for an ion beam implanter
JP4427271B2 (ja) * 2003-04-30 2010-03-03 株式会社神戸製鋼所 アルミナ保護膜およびその製造方法
US6872955B1 (en) * 2003-12-04 2005-03-29 International Business Machines Corporation SEM sample holder apparatus for implementing enhanced examination of multiple samples
US20050173380A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-11 Carbone Frank L. Directed energy net shape method and apparatus

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