JPH0596467A - 断面研磨用試料台および断面研磨用重石 - Google Patents
断面研磨用試料台および断面研磨用重石Info
- Publication number
- JPH0596467A JPH0596467A JP3255439A JP25543991A JPH0596467A JP H0596467 A JPH0596467 A JP H0596467A JP 3255439 A JP3255439 A JP 3255439A JP 25543991 A JP25543991 A JP 25543991A JP H0596467 A JPH0596467 A JP H0596467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cross
- section polishing
- polishing
- section
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体装置の断面観察に伴う断面研磨におい
て、従来の方法では研磨から観察にかけて試料台交換の
必要があったために複雑化していた作業を、簡略化す
る。 【構成】断面研磨用試料台１は、断面研磨の際には断面
研磨用重石４に直接取り付けられ、研磨面を電子顕微鏡
により観察する際には電子顕微鏡用アダプターに直接取
り付けることができる。このような機能を持たせるため
に断面研磨用試料台１には断面研磨用重石４の断面研磨
用試料台取り付けオスネジ５と電子顕微鏡用アダプター
の試料台取り付けオスネジのどちらにもそのまま取り付
けられる電子顕微鏡用アダプター取り付けメスネジをつ
けた。
て、従来の方法では研磨から観察にかけて試料台交換の
必要があったために複雑化していた作業を、簡略化す
る。 【構成】断面研磨用試料台１は、断面研磨の際には断面
研磨用重石４に直接取り付けられ、研磨面を電子顕微鏡
により観察する際には電子顕微鏡用アダプターに直接取
り付けることができる。このような機能を持たせるため
に断面研磨用試料台１には断面研磨用重石４の断面研磨
用試料台取り付けオスネジ５と電子顕微鏡用アダプター
の試料台取り付けオスネジのどちらにもそのまま取り付
けられる電子顕微鏡用アダプター取り付けメスネジをつ
けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は断面研磨における試料台
およびその試料台を取り付けることが可能な重石に関す
る。
およびその試料台を取り付けることが可能な重石に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】これまでは図７に示す断面研磨用重石取
り付け用開口部８０と断面研磨用試料台取り付けオスネ
ジ固定用開口部９０を持つ従来の断面研磨用試料台７０
に半導体装置２を接着し、図８に示す従来の断面研磨用
重石１００の従来の断面研磨用試料台取り付け部分１１
０を断面研磨用重石取り付け用開口部８０がはさむよう
に取り付け、断面研磨用試料台取り付けネジ固定用開口
部９０を断面研磨用試料台取り付けオスネジ５により固
定し図９のような形とした。これを図４に示すターンテ
ーブル２０により回転する研磨用すりガラス板１０上に
図４のように断面研磨用重石おさえ３０を用いて回転に
流されないように固定して、ターンテーブル２０を回転
させることにより断面研磨の作業を行なっていた。
り付け用開口部８０と断面研磨用試料台取り付けオスネ
ジ固定用開口部９０を持つ従来の断面研磨用試料台７０
に半導体装置２を接着し、図８に示す従来の断面研磨用
重石１００の従来の断面研磨用試料台取り付け部分１１
０を断面研磨用重石取り付け用開口部８０がはさむよう
に取り付け、断面研磨用試料台取り付けネジ固定用開口
部９０を断面研磨用試料台取り付けオスネジ５により固
定し図９のような形とした。これを図４に示すターンテ
ーブル２０により回転する研磨用すりガラス板１０上に
図４のように断面研磨用重石おさえ３０を用いて回転に
流されないように固定して、ターンテーブル２０を回転
させることにより断面研磨の作業を行なっていた。
【０００３】断面研磨の作業終了後にはエッチング，Ａ
ｕスパッタなどの前処理を行って電子顕微鏡による観察
に移る。従来の断面研磨用試料台７０では電子顕微鏡用
アダプター４０の試料台取り付けオスネジ５０には取り
付けられず、従来の断面研磨用試料台７０から半導体装
置２を取り外して半導体装置２が単体になった状態でエ
ッチング，Ａｕスパッタなどの前処理を行なう。その後
図１０に示す電子顕微鏡用試料台１２０に試料取り付け
オスネジ１３０により研磨を行なった面が上方を向くよ
うに固定して、電子顕微鏡用アダプター取り付けメスネ
ジ１４０を電子顕微鏡用アダプター４０の試料台取り付
けオスネジ５０に取り付け、この状態となって電子顕微
鏡試料室内に挿入，固定することができ、電子顕微鏡に
より観察できる形となった。
ｕスパッタなどの前処理を行って電子顕微鏡による観察
に移る。従来の断面研磨用試料台７０では電子顕微鏡用
アダプター４０の試料台取り付けオスネジ５０には取り
付けられず、従来の断面研磨用試料台７０から半導体装
置２を取り外して半導体装置２が単体になった状態でエ
ッチング，Ａｕスパッタなどの前処理を行なう。その後
図１０に示す電子顕微鏡用試料台１２０に試料取り付け
オスネジ１３０により研磨を行なった面が上方を向くよ
うに固定して、電子顕微鏡用アダプター取り付けメスネ
ジ１４０を電子顕微鏡用アダプター４０の試料台取り付
けオスネジ５０に取り付け、この状態となって電子顕微
鏡試料室内に挿入，固定することができ、電子顕微鏡に
より観察できる形となった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の断面研磨用試料
台７０では断面研磨の作業終了後電子顕微鏡により観察
する際、従来の断面研磨用試料台７０の取り付け部分が
電子顕微鏡用アダプター４０の試料台取り付けネジ５０
とは合わないために、従来の断面研磨用試料台７０に付
いていた試料を電子顕微鏡用試料台１２０に付け直すと
いう作業が必要であり、作業が多いとそれだけ試料に汚
れやほこりが付く。また試料を試料台からはずすことに
よりキズや割れなどが起きやすくなり、特に電子顕微鏡
用試料台１２０の試料取り付けオスネジ１３０により試
料を取り付ける際に、ネジの絞めすぎにより試料を割っ
てしまうといった問題があった。
台７０では断面研磨の作業終了後電子顕微鏡により観察
する際、従来の断面研磨用試料台７０の取り付け部分が
電子顕微鏡用アダプター４０の試料台取り付けネジ５０
とは合わないために、従来の断面研磨用試料台７０に付
いていた試料を電子顕微鏡用試料台１２０に付け直すと
いう作業が必要であり、作業が多いとそれだけ試料に汚
れやほこりが付く。また試料を試料台からはずすことに
よりキズや割れなどが起きやすくなり、特に電子顕微鏡
用試料台１２０の試料取り付けオスネジ１３０により試
料を取り付ける際に、ネジの絞めすぎにより試料を割っ
てしまうといった問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めには電子顕微鏡用アダプターの試料台取り付けオスネ
ジに取り付けられるメスネジを断面研磨用試料台の取り
付け部分とする。また断面研磨用重石も新たな断面研磨
用試料台が取り付けられるように、同じサイズのオスネ
ジを用いて取り付けを行なうようにし、試料を断面研磨
用試料台から外す必要をなくす。
めには電子顕微鏡用アダプターの試料台取り付けオスネ
ジに取り付けられるメスネジを断面研磨用試料台の取り
付け部分とする。また断面研磨用重石も新たな断面研磨
用試料台が取り付けられるように、同じサイズのオスネ
ジを用いて取り付けを行なうようにし、試料を断面研磨
用試料台から外す必要をなくす。
【０００６】
【実施例】図１（ａ）から図１（ｃ）はそれぞれ断面研
磨用試料台１の上面図、正面図、側面図、図２（ａ）か
ら図２（ｃ）はそれぞれ断面研磨用重石４の上面図、正
面図、側面図、図３は断面研磨用試料台１を断面研磨用
重石４に取り付けた図、図４は断面研磨用試料台１を断
面研磨装置に設置した図、図５（ａ）から図５（ｃ）は
それぞれ電子顕微鏡用アダプター４０の上面図、正面
図、側面図、図６は断面研磨用試料台１を電子顕微鏡用
アダプター４０に取り付けた図を表わす。
磨用試料台１の上面図、正面図、側面図、図２（ａ）か
ら図２（ｃ）はそれぞれ断面研磨用重石４の上面図、正
面図、側面図、図３は断面研磨用試料台１を断面研磨用
重石４に取り付けた図、図４は断面研磨用試料台１を断
面研磨装置に設置した図、図５（ａ）から図５（ｃ）は
それぞれ電子顕微鏡用アダプター４０の上面図、正面
図、側面図、図６は断面研磨用試料台１を電子顕微鏡用
アダプター４０に取り付けた図を表わす。
【０００７】図１に示した断面研磨用試料台１は１辺15
ｍｍ程度の立方体とし、上面下面側面はそれぞれ垂直に
交わり、電子顕微鏡用アダプター取り付けメスネジ３も
上面下面に対して垂直となるネジ穴で、大きさは電子顕
微鏡用アダプター４０の試料台取り付けオスネジ５０の
大きさに合わせて5ｍｍφ程度の穴とし、エッチングの
際など穴の中に薬品や水が残ったりしにくいように貫通
した穴とする。穴の位置は半導体装置２を付ける側の側
面と反対側に、面の中心から少しずれたところにあけ
る。また断面研磨用試料台１の材料はエッチングの際に
酸に触れるため酸に強く、またＡｕスパッタ時や電子顕
微鏡内では導電性を持たないと使えないため導電性を持
つステンレスを使う。断面研磨用試料台１に半導体装置
２を接着するための接着剤も酸に強く、導電性であり、
多少の振動では剥がれず、熱などにより剥すことができ
るものを使う。
ｍｍ程度の立方体とし、上面下面側面はそれぞれ垂直に
交わり、電子顕微鏡用アダプター取り付けメスネジ３も
上面下面に対して垂直となるネジ穴で、大きさは電子顕
微鏡用アダプター４０の試料台取り付けオスネジ５０の
大きさに合わせて5ｍｍφ程度の穴とし、エッチングの
際など穴の中に薬品や水が残ったりしにくいように貫通
した穴とする。穴の位置は半導体装置２を付ける側の側
面と反対側に、面の中心から少しずれたところにあけ
る。また断面研磨用試料台１の材料はエッチングの際に
酸に触れるため酸に強く、またＡｕスパッタ時や電子顕
微鏡内では導電性を持たないと使えないため導電性を持
つステンレスを使う。断面研磨用試料台１に半導体装置
２を接着するための接着剤も酸に強く、導電性であり、
多少の振動では剥がれず、熱などにより剥すことができ
るものを使う。
【０００８】図２に示した断面研磨用重石４は断面研磨
用試料台取り付け部分７の幅を、断面研磨用試料台１が
丁度はいる幅とし、縦の深さは10ｍｍほど、奥行きは15
ｍｍ程度とする。断面研磨用試料台取り付け部分７の上
面は断面研磨用重石４の上面と平行で、断面研磨用試料
台取り付けオスネジ通し穴６はそれらの面に垂直とす
る。断面研磨用試料台取り付けオスネジ５を通す断面研
磨用試料台取り付けオスネジ通し穴６の位置は断面研磨
用試料台１が前方に5ｍｍほどはみだす程度で固定でき
るような位置とし、断面研磨用試料台取り付けオスネジ
通し穴６には溝は切らず、断面研磨用試料台取り付けオ
スネジ５が楽に通る大きさの穴とする。断面研磨用重石
の突起８は断面研磨用重石４の接地面積を減らし、試料
が研磨され易いように荷重をかけるためにある。断面研
磨用試料台１に半導体装置２の研磨部分が断面研磨用試
料台１の底辺から1.5ｍｍ程はみ出した形で取り付け、
この断面研磨用試料台１を断面研磨用重石４に取り付け
たとき断面研磨用重石の突起８と半導体装置２のみが研
磨用すりガラス板１０に当たる形にする。このとき断面
研磨用重石４の上面が研磨用すりガラス板１０と平行に
なるように断面研磨用重石の突起８の高さを決める。断
面研磨用重石４の材料は小型で十分に重いものでなけれ
ばならず、形が変形しないために硬いものでなければな
らない。また、水を使いながら研磨を行なうため錆びに
くくなければならないため真鍮を使う。しかし真鍮をそ
のまま研磨用すりガラス板１０上で用いると研磨用すり
ガラス板１０が損傷するため、油などを使わないテフロ
ンテープを断面研磨用重石の突起８の部分に貼付けて研
磨を行なう。このため断面研磨用重石の突起８の高さに
はこのテフロンテープの厚さも含めなければならない。
用試料台取り付け部分７の幅を、断面研磨用試料台１が
丁度はいる幅とし、縦の深さは10ｍｍほど、奥行きは15
ｍｍ程度とする。断面研磨用試料台取り付け部分７の上
面は断面研磨用重石４の上面と平行で、断面研磨用試料
台取り付けオスネジ通し穴６はそれらの面に垂直とす
る。断面研磨用試料台取り付けオスネジ５を通す断面研
磨用試料台取り付けオスネジ通し穴６の位置は断面研磨
用試料台１が前方に5ｍｍほどはみだす程度で固定でき
るような位置とし、断面研磨用試料台取り付けオスネジ
通し穴６には溝は切らず、断面研磨用試料台取り付けオ
スネジ５が楽に通る大きさの穴とする。断面研磨用重石
の突起８は断面研磨用重石４の接地面積を減らし、試料
が研磨され易いように荷重をかけるためにある。断面研
磨用試料台１に半導体装置２の研磨部分が断面研磨用試
料台１の底辺から1.5ｍｍ程はみ出した形で取り付け、
この断面研磨用試料台１を断面研磨用重石４に取り付け
たとき断面研磨用重石の突起８と半導体装置２のみが研
磨用すりガラス板１０に当たる形にする。このとき断面
研磨用重石４の上面が研磨用すりガラス板１０と平行に
なるように断面研磨用重石の突起８の高さを決める。断
面研磨用重石４の材料は小型で十分に重いものでなけれ
ばならず、形が変形しないために硬いものでなければな
らない。また、水を使いながら研磨を行なうため錆びに
くくなければならないため真鍮を使う。しかし真鍮をそ
のまま研磨用すりガラス板１０上で用いると研磨用すり
ガラス板１０が損傷するため、油などを使わないテフロ
ンテープを断面研磨用重石の突起８の部分に貼付けて研
磨を行なう。このため断面研磨用重石の突起８の高さに
はこのテフロンテープの厚さも含めなければならない。
【０００９】
【発明の効果】本発明の断面研磨用試料台１は断面研磨
用重石４の断面研磨用試料台取り付けオスネジ５と電子
顕微鏡用アダプター４０の試料台取り付けオスネジ５０
のどちらにも取り付けられるため、半導体装置２の断面
を観察する際これまでのように断面研磨用試料台１から
半導体装置２を取り外し、電子顕微鏡用試料台１２０に
付けなおすという作業を省ける。また断面研磨の際に断
面研磨用試料台１の上面と平行になった半導体装置２の
研磨面をそのまま電子顕微鏡によって見ることができる
ため電子顕微鏡の微調整が容易になる。さらに再研磨を
行なう際には研磨面の角度のズレが起こらないため研磨
時間が短縮でき、研磨と観察を繰り返さなければならな
い、ある目標地点までの研磨を行なう際などには、半導
体装置２を試料台から取り外さずに研磨と観察のできる
断面研磨用試料台１を用いると作業が簡略化され、作業
時間を短縮できる。
用重石４の断面研磨用試料台取り付けオスネジ５と電子
顕微鏡用アダプター４０の試料台取り付けオスネジ５０
のどちらにも取り付けられるため、半導体装置２の断面
を観察する際これまでのように断面研磨用試料台１から
半導体装置２を取り外し、電子顕微鏡用試料台１２０に
付けなおすという作業を省ける。また断面研磨の際に断
面研磨用試料台１の上面と平行になった半導体装置２の
研磨面をそのまま電子顕微鏡によって見ることができる
ため電子顕微鏡の微調整が容易になる。さらに再研磨を
行なう際には研磨面の角度のズレが起こらないため研磨
時間が短縮でき、研磨と観察を繰り返さなければならな
い、ある目標地点までの研磨を行なう際などには、半導
体装置２を試料台から取り外さずに研磨と観察のできる
断面研磨用試料台１を用いると作業が簡略化され、作業
時間を短縮できる。
【図１】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ本発明の断面研
磨用試料台の上面図、正面図、側面図。
磨用試料台の上面図、正面図、側面図。
【図２】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ本発明の断面研
磨用試料台に用いる断面研磨用重石の上面図、正面図、
側面図。
磨用試料台に用いる断面研磨用重石の上面図、正面図、
側面図。
【図３】本発明の断面研磨用試料台を断面研磨用重石に
取り付けた図。
取り付けた図。
【図４】本発明の断面研磨用試料台を断面研磨装置に設
置した図。
置した図。
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ電子顕微鏡用ア
ダプターの上面図、正面図、側面図。
ダプターの上面図、正面図、側面図。
【図６】本発明の断面研磨用試料台を電子顕微鏡用アダ
プターに取り付けた図。
プターに取り付けた図。
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ従来の断面研磨
用試料台の上面図、正面図、側面図。
用試料台の上面図、正面図、側面図。
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ従来の断面研磨
用重石の上面図、正面図、側面図。
用重石の上面図、正面図、側面図。
【図９】従来の断面研磨用試料台を従来の断面研磨用重
石に取り付けた図。
石に取り付けた図。
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ従来の電子顕
微鏡用試料台の上面図、正面図、側面図。
微鏡用試料台の上面図、正面図、側面図。
１・・・断面研磨用試料台 ２・・・半導体装置 ３・・・電子顕微鏡用アダプター取り付けメスネジ ４・・・断面研磨用重石 ５・・・断面研磨用試料台取り付けオスネジ ６・・・断面研磨用試料台取り付けオスネジ通し穴 ７・・・断面研磨用試料台取り付け部分 ８・・・断面研磨用重石の突起 １０・・・研磨用すりガラス板 ２０・・・ターンテーブル ３０・・・断面研磨用重石おさえ ４０・・・電子顕微鏡用アダプター ５０・・・試料台取り付けオスネジ ６０・・・電子顕微鏡内挿入用メスネジ ７０・・・従来の断面研磨用試料台 ８０・・・断面研磨用重石取り付け用開口部 ９０・・・断面研磨用試料台取り付けオスネジ固定用開
口部 １００・・・従来の断面研磨用重石 １１０・・・従来の断面研磨用試料台取り付け部分 １２０・・・従来の電子顕微鏡用試料台 １３０・・・試料取り付けオスネジ １４０・・・電子顕微鏡用アダプター取り付けメスネジ
口部 １００・・・従来の断面研磨用重石 １１０・・・従来の断面研磨用試料台取り付け部分 １２０・・・従来の電子顕微鏡用試料台 １３０・・・試料取り付けオスネジ １４０・・・電子顕微鏡用アダプター取り付けメスネジ
Claims (1)
- 【請求項１】断面研磨を行ない、そのまま試料をはずす
事なく電子顕微鏡内に設置可能な構造を特徴とする断面
研磨用試料台および断面研磨用重石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255439A JPH0596467A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 断面研磨用試料台および断面研磨用重石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255439A JPH0596467A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 断面研磨用試料台および断面研磨用重石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0596467A true JPH0596467A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17278787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3255439A Pending JPH0596467A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 断面研磨用試料台および断面研磨用重石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0596467A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093599A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Fei Co | サンプルを顕微処理するためのクラスタ器具 |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP3255439A patent/JPH0596467A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093599A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Fei Co | サンプルを顕微処理するためのクラスタ器具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5683289A (en) | CMP polishing pad conditioning apparatus | |
| TW201138017A (en) | Electrostatic chucks and methods for refurbishing same | |
| ATE319185T1 (de) | Anordnung zum tragen eines substrates während eines angepassten schneidverfahrens | |
| JPH0596467A (ja) | 断面研磨用試料台および断面研磨用重石 | |
| JPS6015147B2 (ja) | 表裏両外面を有する基板ウェファの保持および平面化方法 | |
| US8105499B2 (en) | Transmission electron microscopy sample etching fixture | |
| US5272844A (en) | Polishing fixture with adjustable sample mount with adjustable weight | |
| US4625460A (en) | Fixture for use in non-encapsulated cross-sectioning of a composite structure | |
| US6135860A (en) | Fixture for mechanical grinding and inspection of failed or defective semiconductor devices | |
| JP2006346816A (ja) | 重層形態試料の研磨治具 | |
| JP3084669B2 (ja) | 研磨製品の製造方法 | |
| US5830048A (en) | Pivot sample block cross-section tool | |
| JP2003197582A (ja) | 半導体チップの平面研磨治具、該治具を用いた研磨装置及び半導体チップの解析用試料作成方法 | |
| JPH0631567A (ja) | 被工作物の固定方法及び固定装置 | |
| JPH07140450A (ja) | ガラス基板 | |
| JP2004177268A (ja) | 試料固定器具 | |
| JPH0765767A (ja) | 走査電子顕微鏡用試料台 | |
| JPH02304449A (ja) | 基板チャック機構 | |
| JP2007181860A (ja) | 研磨用試料台及び研磨方法 | |
| JPH06324269A (ja) | 顕微鏡試料前処理用アタッチメント及びこれを用いた破断面作製方法 | |
| JPH04206930A (ja) | 半導体ウェーハの研磨用チャック | |
| JPH08124999A (ja) | 基板押上げピンの着脱構造 | |
| JPH034036Y2 (ja) | ||
| JPH0129004Y2 (ja) | ||
| JP3200727B2 (ja) | ボンディングツール |