JP3200727B2 - ボンディングツール - Google Patents

ボンディングツール

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ペレットを
リードフレームのリード又はフィルムキャリアに設けら
れたリードにボンディングするボンディング装置に用い
るボンディングツールに関する。
【０００２】
【従来の技術】フィルムキャリアに設けられたリードに
半導体ペレットをボンディングするボンディング装置と
して、例えば特開平５−２５９２１９号公報があげられ
る。ボンディングツールは、ＸＹ方向及び上下（Ｚ）方
向に駆動されるツールホルダに取付けられる。そこで、
半導体ペレットの上方にフィルムキャリアのリードを位
置決めして配置し、リードの上方よりボンディングツー
ルが下降してリードを半導体ペレットのバンプに圧着さ
せることによりボンディングする。
【０００３】一般に、ボンディングツールは、ボンディ
ング装置のツールホルダに取付けるシャンク部とツール
部とが一体に形成されている。従って、ボンディングす
る品種によってツール部の形状が異なる場合は、その品
種に適合するツール部とシャンク部とを有する大きさの
ボンディングツールを準備する必要があった。このた
め、保管管理のための設置場所を広く必要とすると共
に、ボンディングツールのコストがアップする。
【０００４】従来、このような問題点を解決したものと
して、例えば特開平６−２１６１９８号公報があげられ
る。この構造は、シャンク部とツール部とを別部材で形
成し、シャンク部材に対してツール部材を着脱可能に固
定している。即ち、シャンク部材と一体の加熱部の下面
に凸部を形成し、ツール部材の上面に前記凸部と嵌合す
る凹部を形成している。そして、シャンク部材の凸部に
ツール部材の凹部を嵌合させ、シャンク部材とツール部
材とをナットとボルトで固定している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、シャ
ンク部材の凸部にツール部材の凹部を嵌合させるので、
例えばツール部材の清掃のために該ツール部材をシャン
ク部材より取外し、清掃後に該ツール部材をシャンク部
材に取付けた場合、凸部と凹部の隙間の存在により、ツ
ール部材の取付けの再現性が悪いとともに、ツール部材
の取付け調整時間がかかるという問題があった。また凸
部と凹部との嵌合のために加工が困難で、コスト高にな
る。またボンディングする品種によっては、ツール部材
の形状は同じであるが、ツール部材の向きが単に９０°
回転した形状のものもある。しかし、このようなものも
それぞれの品種に適合するボンディングツールを準備す
る必要があった。
【０００６】本発明の第１の課題は、ツール部材の取付
け再現性に優れ、ツール部材の取付け調整時間が短縮で
き、またコスト低減が図れるボンディングツールを提供
することにある。
【０００７】本発明の第２の課題は、種類が少なくてよ
いボンディングツールを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、シャンク部材のツール取付け部の下
端にツール部材が着脱可能に固定されたボンディングツ
ールにおいて、前記ツール部材のツール保持部の側面
は、四方形状で斜面に形成され、前記シャンク部材のツ
ール取付け部には、前記ツール部材の隣合う２つの斜面
を位置決めする斜面が形成された２個の固定ガイドが固
定され、また前記シャンク部材のツール取付け部には、
前記ツール部材の残りの２つの斜面を押してツール部材
を前記固定ガイドに押し付ける斜面が形成された２個の
脱着ガイドが着脱可能に固定されていることを特徴とす
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態を図
１乃至図６により説明する。図１に示すように、ボンデ
ィングツール１は、シャンク部材１０、ツール部材２
０、２個の固定ガイド３０、２個の脱着ガイド４０、固
定ガイド３０及び脱着ガイド４０をそれぞれシャンク部
材１０に固定するボルト５０、５１とからなっている。
【００１０】シャンク部材１０は、図２に示すように、
上下（Ｚ）方向及びＸＹ方向に駆動される図示しないツ
ールホルダに取付けられるシャンク部１１の下端にツー
ル取付け部１２が設けられており、シャンク部１１に
は、前記ツールホルダに位置決め挿入されるＵ字溝１３
が形成されている。ツール取付け部１２の下面１４は平
面に形成され、側面は正方形状に形成された側面部１５
Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄを有している。下面１４に
は、隣合う２つの側面部１５Ａ、１５Ｂに対応した部分
にそれぞれボルト５０が螺合されるねじ部１６Ａ、１６
Ｂが形成されている。残りの隣合う２つの側面部１５
Ｃ、１５Ｄには、ボルト５１が螺合されるねじ部１６
Ｃ、１６Ｄが形成されている。
【００１１】ツール部材２０は、図３に示すように、ツ
ール保持部２１の下面に試料圧接部２２が形成されてい
る。ツール保持部２１は、上面が平面よりなり、側面は
正方形形状で下面に向けて内側に傾斜した４個の斜面２
３が形成されている。
【００１２】固定ガイド３０は、図４に示すように、図
３に示すツール部材２０の斜面２３と同じ傾斜した斜面
３１が一方に形成され、他方には上方に突出した固定ガ
イド位置決め部３２が形成されている。また図２に示す
シャンク部材１０のツール取付け部１２のねじ部１６
Ａ、１６Ｂに対応した位置にボルト５０が挿入されるボ
ルト穴３３が形成されている。
【００１３】脱着ガイド４０は、図５に示すように、Ｌ
字形状をしており、図３に示すツール部材２０の斜面２
３と同じ傾斜した斜面４１が形成されたツール部押圧部
４２を有し、ツール部押圧部４２の後方の立ち上がり部
４３には、図２に示すツール取付け部１２のねじ部１６
Ｃ、１６Ｄに対応した位置にボルト５１が挿入されるボ
ルト穴４４が形成されている。
【００１４】次にボンディングツール１の組立を図１乃
至図５により説明する。ツール取付け部１２の下面１４
のねじ部１６Ａ、１６Ｂに固定ガイド３０のボルト穴３
４を合わせて固定ガイド３０の固定ガイド位置決め部３
２をツール取付け部１２の側面部１５Ａ及び１５Ｂに当
接させ、ボルト５０で固定ガイド３０をツール取付け部
１２に固定する。次にツール取付け部１２の側面部１５
Ｃ、１５Ｄのいずれか一方、例えば側面部１５Ｃのねじ
部１６Ｃに脱着ガイド４０のボルト穴４４を合わせ、ボ
ルト５１をねじ部１６Ｃに緩く螺合させる。そして、ツ
ール部材２０を側面部１５Ｄ側よりツール取付け部１２
の下面１４に沿って２個の固定ガイド３０と１個の脱着
ガイド４０間に挿入する。
【００１５】次にツール取付け部１２の側面部１５Ｄの
ねじ部１６Ｄに脱着ガイド４０のボルト穴４４を合わ
せ、ボルト５１で脱着ガイド４０をツール取付け部１２
に固定する。また側面部１５Ｃ側のボルト５１を締め付
けて脱着ガイド４０を固定する。これにより、ツール部
材２０の２つの斜面２３を２個の脱着ガイド４０の斜面
４１で押し、ツール部材２０の他の２つの斜面２３は固
定ガイド３０の斜面３１に押し付けられ、ツール部材２
０はツール取付け部１２に位置決め固定される。
【００１６】このように、ボンディングツール１は、ツ
ール取付け部１２とツール部材２０の２部品よりなるの
で、品種に適合するように、試料圧接部２２の形状のみ
が異なったツール部材２０を準備しておく。即ち、シャ
ンク部材１０、固定ガイド３０及び脱着ガイド４０は共
通で、小さなツール部材２０のみを品種に適合するよう
に準備しておけばよいので、保管管理の設置場所が少な
く、またボンディングツール１のコストダウンが図れ
る。
【００１７】品種変更によるツール部材２０の交換又は
ツール部材２０を清掃する時は、例えばツール取付け部
１２の側面部１５Ｃ側のボルト５１を緩め、側面部１５
Ｄ側のボルト５１を取り外して１個の脱着ガイド４０を
取り外す。そして、ツール部材２０を側面部１５Ｃ側よ
り取り除く。次に前記と同様に、別のツール部材２０又
は清掃したツール部材２０を側面部１５Ｄ側よりツール
取付け部１２の下面１４に沿って２個の固定ガイド３０
と１個の脱着ガイド４０間に挿入する。次にツール取付
け部１２の側面部１５Ｄのねじ部１６Ｄに脱着ガイド４
０のボルト穴４４を合わせ、ボルト５１で脱着ガイド４
０をツール取付け部１２に固定する。また側面部１５Ｃ
側のボルト５１を締め付けて脱着ガイド４０を固定す
る。
【００１８】このように、清掃のためにツール部材２０
を取外した後に再度取付けた場合は、常にツール部材２
０の２つの斜面２３を２個の脱着ガイド４０の斜面４１
で押し、ツール部材２０の他の２つの斜面２３は固定ガ
イド３０の斜面３１に押し付けられ、ツール部材２０は
ツール取付け部１２に位置決め固定される。即ち、ツー
ル部材２０は２個の固定ガイド３０の斜面３１でツール
部材２０の２つの斜面２３が位置決めされるので、ツー
ル部材２０の取付けの再現性に優れている。
【００１９】またツール部材２０の試料圧接部２２の形
状は同じで方向が９０°異なる場合は、前記と同様に、
例えばツール取付け部１２の側面部１５Ｃ側のボルト５
１を緩め、側面部１５Ｄ側のボルト５１を取り外して１
個の脱着ガイド４０を取り外す。そして、ツール部材２
０を側面部１５Ｃ側より取外し、該ツール部材２０を９
０°回転させ、側面部１５Ｄ側よりツール取付け部１２
の下面１４に沿って２個の固定ガイド３０と１個の脱着
ガイド４０間に挿入する。次にツール取付け部１２の側
面部１５Ｄのねじ部１６Ｄに脱着ガイド４０のボルト穴
４４を合わせ、ボルト５１で脱着ガイド４０をツール取
付け部１２に固定する。また側面部１５Ｃ側のボルト５
１を締め付けて脱着ガイド４０を固定する。このよう
に、単に試料圧接部２２の方向が異なる場合は、ツール
部材２０は共通で取付け方向のみを変えるのみでよいの
で、ツール部材２０の種類が減少する。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、シャンク部材のツール
取付け部の下端にツール部材が着脱可能に固定されたボ
ンディングツールにおいて、前記ツール部材のツール保
持部の側面は、四方形状で斜面に形成され、前記シャン
ク部材のツール取付け部には、前記ツール部材の隣合う
２つの斜面を位置決めする斜面が形成された２個の固定
ガイドが固定され、また前記シャンク部材のツール取付
け部には、前記ツール部材の残りの２つの斜面を押して
ツール部材を前記固定ガイドに押し付ける斜面が形成さ
れた２個の脱着ガイドが着脱可能に固定されているの
で、ツール部材の取付け再現性に優れ、ツール部材の取
付け調整時間が短縮でき、またコスト低減が図れ、更に
種類が少なくてよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のボンディングツールの実施の一形態を
示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は底面図である。
【図２】シャンク部材を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）
は底面図である。
【図３】ツール部材を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は
底面図である。
【図４】固定ガイドを示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は
底面図である。
【図５】脱着ガイドを示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は
側面図である。
【図６】図１の状態のツール部材を９０°回転させて取
付けた場合を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は底面図で
ある。
【符号の説明】
１ ボンディングツール １０ シャンク部材 １２ ツール取付け部 ２０ ツール部材 ２１ ツール保持部 ２２ 試料圧接部 ２３ 斜面 ３０ 固定ガイド ３１ 斜面 ４０ 脱着ガイド ４１ 斜面 ５０、５１ ボルト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/60 H01L 21/52

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 シャンク部材のツール取付け部の下端に
    ツール部材が着脱可能に固定されたボンディングツール
    において、前記ツール部材のツール保持部の側面は、四
    方形状で斜面に形成され、前記シャンク部材のツール取
    付け部には、前記ツール部材の隣合う２つの斜面を位置
    決めする斜面が形成された２個の固定ガイドが固定さ
    れ、また前記シャンク部材のツール取付け部には、前記
    ツール部材の残りの２つの斜面を押してツール部材を前
    記固定ガイドに押し付ける斜面が形成された２個の脱着
    ガイドが着脱可能に固定されていることを特徴とするボ
    ンディングツール。
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