JP3084669B2 - 研磨製品の製造方法 - Google Patents
研磨製品の製造方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨製品の製造方
法に関するものである。
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体シリコンウエハーやレンズなどの
研磨方法として、片面研磨法がある。この片面研磨法
は、まず、定盤（マウント板）などの受台上に研磨製品
となる被研磨体を受台の固定部に予め塗布したワックス
や粘着剤等のいわゆるバッキング材を用いて固定した
り、特に枚葉式研磨とも称されるように受台側に設けら
れ真空吸着装置によって吸着固定したりしたのち、被研
磨体の上面をバフ等の研磨部材で研磨して研磨製品を得
たのち、ワックスや粘着剤あるいは真空吸着装置から得
られた研磨製品を剥奪して、洗浄などの後工程へ送るよ
うになっている。
研磨方法として、片面研磨法がある。この片面研磨法
は、まず、定盤（マウント板）などの受台上に研磨製品
となる被研磨体を受台の固定部に予め塗布したワックス
や粘着剤等のいわゆるバッキング材を用いて固定した
り、特に枚葉式研磨とも称されるように受台側に設けら
れ真空吸着装置によって吸着固定したりしたのち、被研
磨体の上面をバフ等の研磨部材で研磨して研磨製品を得
たのち、ワックスや粘着剤あるいは真空吸着装置から得
られた研磨製品を剥奪して、洗浄などの後工程へ送るよ
うになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、真空吸着装置
を用いて被研磨体を固定する方式では、被研磨体がウエ
ハーのように薄板状のものである場合、被研磨体の吸着
孔に面する部分に歪みが生じ、研磨された製品の厚みが
均一にならなくなる恐れがある。一方、バッキング材を
用いて被研磨体を固定する方式では、研磨後バッキング
材と被研磨体との間に薄刃状の金具を差し入れて被研磨
体をバッキング材から剥奪するようにしているため、金
具によって被研磨体を傷めてしまう恐れがあった。
を用いて被研磨体を固定する方式では、被研磨体がウエ
ハーのように薄板状のものである場合、被研磨体の吸着
孔に面する部分に歪みが生じ、研磨された製品の厚みが
均一にならなくなる恐れがある。一方、バッキング材を
用いて被研磨体を固定する方式では、研磨後バッキング
材と被研磨体との間に薄刃状の金具を差し入れて被研磨
体をバッキング材から剥奪するようにしているため、金
具によって被研磨体を傷めてしまう恐れがあった。
【０００４】本発明は、上記問題に鑑み、被研磨体を歪
ませることなく受台に固定することができるとともに、
剥奪時に被研磨体に傷を生じさせたりすることなく歩留
りよく被研磨体の研磨を行うことができる研磨製品の製
造方法の提供を目的としてなされたものである。
ませることなく受台に固定することができるとともに、
剥奪時に被研磨体に傷を生じさせたりすることなく歩留
りよく被研磨体の研磨を行うことができる研磨製品の製
造方法の提供を目的としてなされたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明にかかる被研磨体の研磨方法は、受台に固定
させたテンプレートに穿設した被研磨体を挿入させる孔
内に取り付けられているアクリル・スチレン・ブタジエ
ン系連続発泡弾性樹脂からなる吸着固定部材を介して、
この吸着固定部材の吸着力により、被研磨体を前記受台
に吸着固定させる工程と、前記受台に吸着固定させた被
研磨体の非固定面に研磨部材を押し当てて被研磨体の非
固定面を研磨し研磨製品を得る工程と、前記テンプレー
トに設けられた通気孔または切り欠き溝を介して、この
テンプレートの外部から送られた気体または液体を前記
連続発泡弾性樹脂の側面側に吹き付け、この吹き付けに
より前記連続発泡弾性樹脂の中を通った気体または液体
の圧力によって吸着固定部材から、前記研磨製品を浮き
上がらせて剥奪する工程とを備えていることを特徴とし
ている。
め、本発明にかかる被研磨体の研磨方法は、受台に固定
させたテンプレートに穿設した被研磨体を挿入させる孔
内に取り付けられているアクリル・スチレン・ブタジエ
ン系連続発泡弾性樹脂からなる吸着固定部材を介して、
この吸着固定部材の吸着力により、被研磨体を前記受台
に吸着固定させる工程と、前記受台に吸着固定させた被
研磨体の非固定面に研磨部材を押し当てて被研磨体の非
固定面を研磨し研磨製品を得る工程と、前記テンプレー
トに設けられた通気孔または切り欠き溝を介して、この
テンプレートの外部から送られた気体または液体を前記
連続発泡弾性樹脂の側面側に吹き付け、この吹き付けに
より前記連続発泡弾性樹脂の中を通った気体または液体
の圧力によって吸着固定部材から、前記研磨製品を浮き
上がらせて剥奪する工程とを備えていることを特徴とし
ている。
【０００６】また、上記工程において、吸着固定部材の
径が被研磨体の径よりも小さくなるようにすることが好
ましい。
径が被研磨体の径よりも小さくなるようにすることが好
ましい。
【０００７】また、吸着固定部材は、受台と一体化され
ていても構わないし、受台と別部材になっていても構わ
ない。吸着固定部材が受台と別部材になっている場合、
吸着固定部材の受台への固定は、特に限定されないが、
たとえば、粘着剤や接着剤を介する方法、ビスなどで固
定する方法などが挙げられる。なお、上記した吸着固定
部材の受台への固定に粘着剤や接着剤を用いて、研磨剤
スラリを使用した湿式研磨を行う場合、研磨剤スラリに
強い酸性やアルカリ性を有するものが多いため、耐酸、
アルカリ性に優れ、これら酸、アルカリに対して加水分
解されないものを用いると、前記強い酸、アルカリ性を
有する研磨剤スラリに対する粘着剤や接着剤の変質が起
こりにくくなり、吸着固定部材が受台に安定して固定す
るため好ましい。
ていても構わないし、受台と別部材になっていても構わ
ない。吸着固定部材が受台と別部材になっている場合、
吸着固定部材の受台への固定は、特に限定されないが、
たとえば、粘着剤や接着剤を介する方法、ビスなどで固
定する方法などが挙げられる。なお、上記した吸着固定
部材の受台への固定に粘着剤や接着剤を用いて、研磨剤
スラリを使用した湿式研磨を行う場合、研磨剤スラリに
強い酸性やアルカリ性を有するものが多いため、耐酸、
アルカリ性に優れ、これら酸、アルカリに対して加水分
解されないものを用いると、前記強い酸、アルカリ性を
有する研磨剤スラリに対する粘着剤や接着剤の変質が起
こりにくくなり、吸着固定部材が受台に安定して固定す
るため好ましい。
【０００８】研磨方法としては、特に限定されないが、
たとえば研磨部材として、バフと研磨剤スラリなどとを
用いて行う湿式研磨と、バフ単独あるいはサンドペーパ
ーなどを用いて行う乾式研磨が挙げられる。本発明で用
いられる気体および液体は、特に限定されないが、たと
えば、気体としては、清浄化された空気が好ましく、液
体としては、蒸留水が好ましい。
たとえば研磨部材として、バフと研磨剤スラリなどとを
用いて行う湿式研磨と、バフ単独あるいはサンドペーパ
ーなどを用いて行う乾式研磨が挙げられる。本発明で用
いられる気体および液体は、特に限定されないが、たと
えば、気体としては、清浄化された空気が好ましく、液
体としては、蒸留水が好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明にかかる研磨製品
の製造方法を、その実施の形態を示した図面に基づいて
詳細に説明する。図１（ａ）〜（ｃ）は、本発明の製造
方法の一例として、半導体シリコンウエハーの製造方法
をその工程順に示した説明図であり、図２は、研磨終了
後の状態をあらわす断面図である。
の製造方法を、その実施の形態を示した図面に基づいて
詳細に説明する。図１（ａ）〜（ｃ）は、本発明の製造
方法の一例として、半導体シリコンウエハーの製造方法
をその工程順に示した説明図であり、図２は、研磨終了
後の状態をあらわす断面図である。
【００１０】この製造方法は、まず、図１（ａ）に示し
たように、被研磨体である未研磨半導体シリコンウエハ
ー（以下、「未研磨ウエハー」と記す）４と略同じ径、
または少し大きめの径のウエハー挿入部となる孔１１が
穿設されたテンプレート１を受台としてのマウント板２
に耐アルカリ性の粘着材２１を介して固定する。次に、
図１（ｂ）に示したように、テンプレート１に設けた孔
１１に、この孔１１より小径、すなわち、未研磨ウエハ
ー４より小径の吸着固定部材として連続発泡弾性樹脂シ
ート型のバッキング材３を挿入し、孔１１の底のマウン
ト板２に貼り付ける。
たように、被研磨体である未研磨半導体シリコンウエハ
ー（以下、「未研磨ウエハー」と記す）４と略同じ径、
または少し大きめの径のウエハー挿入部となる孔１１が
穿設されたテンプレート１を受台としてのマウント板２
に耐アルカリ性の粘着材２１を介して固定する。次に、
図１（ｂ）に示したように、テンプレート１に設けた孔
１１に、この孔１１より小径、すなわち、未研磨ウエハ
ー４より小径の吸着固定部材として連続発泡弾性樹脂シ
ート型のバッキング材３を挿入し、孔１１の底のマウン
ト板２に貼り付ける。
【００１１】その後、図１（ｃ）に示したように、バッ
キング材３よりやや大きく、孔１１よりやや小さい大き
さをした未研磨ウエハー４を孔１１に挿入し、図２に示
すように、バッキング材３の吸着力によってマウント板
２の所定位置に固定する。次に、テンプレート１の孔１
１の中で固定されている未研磨ウエハー４を、図示して
いないが、研磨部材であるバフと、このバフと未研磨ウ
エハー４との間に供給される研磨剤スラリとによって研
磨する。
キング材３よりやや大きく、孔１１よりやや小さい大き
さをした未研磨ウエハー４を孔１１に挿入し、図２に示
すように、バッキング材３の吸着力によってマウント板
２の所定位置に固定する。次に、テンプレート１の孔１
１の中で固定されている未研磨ウエハー４を、図示して
いないが、研磨部材であるバフと、このバフと未研磨ウ
エハー４との間に供給される研磨剤スラリとによって研
磨する。
【００１２】研磨が終了した後、得られたウエハー製品
４０をバッキング材３から以下のようにして剥奪する。
．図２に示したように、通気孔１２の空気挿入口１２
１から、コンプレッサー（図示せず）で加圧された浄化
空気を吹き込み、空気排出口１２２から吐き出させ、こ
の空気によってウエハー製品４０を押し上げる。
４０をバッキング材３から以下のようにして剥奪する。
．図２に示したように、通気孔１２の空気挿入口１２
１から、コンプレッサー（図示せず）で加圧された浄化
空気を吹き込み、空気排出口１２２から吐き出させ、こ
の空気によってウエハー製品４０を押し上げる。
【００１３】すなわち、空気挿入口１２１から吹き込ま
れた空気は、通気孔１２を通って、空気排出口１２２か
ら吐き出され、バッキング材３の側面にぶつかる。バッ
キング材３は連続気泡であるため、バッキング材３の側
面にぶつかった空気は、バッキング材３の中を通って、
ウエハー製品４０を押し上げる。．押し上げられたウ
エハー製品４０の上面に真空吸着機６を作用させて、こ
の真空吸着機６にウエハー製品４０を付着させ、取り出
し移動させる。
れた空気は、通気孔１２を通って、空気排出口１２２か
ら吐き出され、バッキング材３の側面にぶつかる。バッ
キング材３は連続気泡であるため、バッキング材３の側
面にぶつかった空気は、バッキング材３の中を通って、
ウエハー製品４０を押し上げる。．押し上げられたウ
エハー製品４０の上面に真空吸着機６を作用させて、こ
の真空吸着機６にウエハー製品４０を付着させ、取り出
し移動させる。
【００１４】以上の操作を行うことで、ウエハー製品４
０がバッキング材３に密着していても、このウエハー製
品４０をバッキング材３から簡単に剥奪することができ
るのである。
０がバッキング材３に密着していても、このウエハー製
品４０をバッキング材３から簡単に剥奪することができ
るのである。
【００１５】空気排出口１２２から吐き出された空気
は、上記したようにバッキング材３の中を通って、ウエ
ハー製品４０を押し上げ、バッキング材３からウエハー
製品４０を剥奪するだけでなく、バッキング材３とウエ
ハー製品４０との径の違いによって生じた空間３４を通
じてウエハー製品４０を押し上げ、バッキング材３から
剥奪させることも行う。
は、上記したようにバッキング材３の中を通って、ウエ
ハー製品４０を押し上げ、バッキング材３からウエハー
製品４０を剥奪するだけでなく、バッキング材３とウエ
ハー製品４０との径の違いによって生じた空間３４を通
じてウエハー製品４０を押し上げ、バッキング材３から
剥奪させることも行う。
【００１６】また、前記空間３４は、未研磨ウエハー４
の研磨を行う際に、未研磨ウエハー４の反りを防止する
役割をするため、ウエハー製品４０の端部が削られ過ぎ
て薄くなってしまうのを防ぐ役割もする。したがって、
未研磨ウエハー４を挿入したとき、この未研磨ウエハー
４が載っているマウント板２の部分に反り防止の溝をわ
ざわざ設けなくても、バッキング材３とウエハー製品４
０との径の違いによりできた空間が、前記溝の代わりを
するため、マウント板２を製造するときの手間や費用を
抑えることにもなり、最終的にはウエハー製品４０の製
造費用が安くなることにもなる。
の研磨を行う際に、未研磨ウエハー４の反りを防止する
役割をするため、ウエハー製品４０の端部が削られ過ぎ
て薄くなってしまうのを防ぐ役割もする。したがって、
未研磨ウエハー４を挿入したとき、この未研磨ウエハー
４が載っているマウント板２の部分に反り防止の溝をわ
ざわざ設けなくても、バッキング材３とウエハー製品４
０との径の違いによりできた空間が、前記溝の代わりを
するため、マウント板２を製造するときの手間や費用を
抑えることにもなり、最終的にはウエハー製品４０の製
造費用が安くなることにもなる。
【００１７】以上のように、本発明による研磨製品の製
造方法を用いると、通常の粘着剤やワックスを用いて研
磨を行った時に問題になっていた、研磨前に受台のワッ
クス塗布の手間や、研磨終了後、被研磨体に粘着剤がこ
びりついてしまうということも解消できる。このとき、
上記テンプレート１のようにウエハーを挿入するための
孔１１を設けているものを用いると、未研磨ウエハー４
がずれ防止、割れた時のはみ出し防止にもなるため、被
研磨体の製造には好ましい。
造方法を用いると、通常の粘着剤やワックスを用いて研
磨を行った時に問題になっていた、研磨前に受台のワッ
クス塗布の手間や、研磨終了後、被研磨体に粘着剤がこ
びりついてしまうということも解消できる。このとき、
上記テンプレート１のようにウエハーを挿入するための
孔１１を設けているものを用いると、未研磨ウエハー４
がずれ防止、割れた時のはみ出し防止にもなるため、被
研磨体の製造には好ましい。
【００１８】上記バッキング材３としては、特に限定さ
れないが、シートタイプの日本ダースボンド（株）社の
商品名「ダースボンドＮＰタイプ」を用いると、未研磨
ウエハー４の僅かな垂直荷重だけでも物体を吸着し、こ
の未研磨ウエハー４を確りと固定する。また、研磨作業
における、水平摺動にも摩擦係数１.0の完全密着するこ
とで、未研磨ウエハー４がずれ動くこともなく、バッキ
ング材３の磨耗も殆ど発生しない。さらに、ウエハー製
品４０となって密着から開放させるには、荷重を取り去
るだけで良いため、簡単にバッキング材３からウエハー
製品４０を剥奪させることができ、加えて、液体の吸収
性にも優れているため、湿潤時でも充分前記の効果を有
するため望ましい。
れないが、シートタイプの日本ダースボンド（株）社の
商品名「ダースボンドＮＰタイプ」を用いると、未研磨
ウエハー４の僅かな垂直荷重だけでも物体を吸着し、こ
の未研磨ウエハー４を確りと固定する。また、研磨作業
における、水平摺動にも摩擦係数１.0の完全密着するこ
とで、未研磨ウエハー４がずれ動くこともなく、バッキ
ング材３の磨耗も殆ど発生しない。さらに、ウエハー製
品４０となって密着から開放させるには、荷重を取り去
るだけで良いため、簡単にバッキング材３からウエハー
製品４０を剥奪させることができ、加えて、液体の吸収
性にも優れているため、湿潤時でも充分前記の効果を有
するため望ましい。
【００１９】なお、本発明の研磨製品の製造方法は、上
記の実施の形態に限定されない。たとえば、図２に示し
たテンプレート１に設けた通気孔１２の代わりに、図３
に示したように切り欠き溝１３を設けたテンプレート１
ａのような構成をしていても、加圧された浄化空気など
の気体や液体により、バッキング材３からウエハー製品
４０を分離することが容易に行うことができるが、これ
以外の形態をしていても、気体や液体がバッキング材３
の側面や裏面に行き渡れば、特に限定されるものではな
い。
記の実施の形態に限定されない。たとえば、図２に示し
たテンプレート１に設けた通気孔１２の代わりに、図３
に示したように切り欠き溝１３を設けたテンプレート１
ａのような構成をしていても、加圧された浄化空気など
の気体や液体により、バッキング材３からウエハー製品
４０を分離することが容易に行うことができるが、これ
以外の形態をしていても、気体や液体がバッキング材３
の側面や裏面に行き渡れば、特に限定されるものではな
い。
【００２０】また、気体や液体をバッキング材３に吹き
付ける方法としては、上記のテンプレート１のような媒
体を介してもよいが、気体や液体を加圧供給するコンプ
レッサーやポンプなどに繋いだホースの先にノズルを設
け、このノズルから通孔入口が設けられた吸着固定部材
の側面または裏面に直接、加圧した気体や液体を吹き付
けてもよい。
付ける方法としては、上記のテンプレート１のような媒
体を介してもよいが、気体や液体を加圧供給するコンプ
レッサーやポンプなどに繋いだホースの先にノズルを設
け、このノズルから通孔入口が設けられた吸着固定部材
の側面または裏面に直接、加圧した気体や液体を吹き付
けてもよい。
【００２１】また、気体または液体を吹き付けることで
バッキング材３からウエハー製品４０を剥奪するため、
テンプレート１またはテンプレート１ａに設けた、空気
排出口１２２や切り欠き溝１３などの前記気体や液体を
バッキング材３に吹き付けるための手段としては、被研
磨体の下に位置する吸着固定部材の側面や裏面の一カ所
だけに吹き付けてもよいし、複数カ所に吹き付けてもよ
く、特に限定されない。加えて、気体または液体の入口
（以下、「入口」とのみ記す。）と、この入口から入っ
た気体または液体の噴射口（以下、「出口」とのみ記
す。）との関係も１対１に限らず、入口が一つで、出口
がテンプレートに設けられている複数の孔または凹部の
内壁面に繋がっているという形でもよく、特に限定され
ない。
バッキング材３からウエハー製品４０を剥奪するため、
テンプレート１またはテンプレート１ａに設けた、空気
排出口１２２や切り欠き溝１３などの前記気体や液体を
バッキング材３に吹き付けるための手段としては、被研
磨体の下に位置する吸着固定部材の側面や裏面の一カ所
だけに吹き付けてもよいし、複数カ所に吹き付けてもよ
く、特に限定されない。加えて、気体または液体の入口
（以下、「入口」とのみ記す。）と、この入口から入っ
た気体または液体の噴射口（以下、「出口」とのみ記
す。）との関係も１対１に限らず、入口が一つで、出口
がテンプレートに設けられている複数の孔または凹部の
内壁面に繋がっているという形でもよく、特に限定され
ない。
【００２２】
【実施例】次に、本発明の研磨製品の製造方法の実施例
を詳しく説明する。図１（ａ）に示したように、エポキ
シ板製で、厚み８００μｍのテンプレート１を、セラミ
ック製またはガラスプレート製のマウント板２に、１２
０μｍの厚みを有した耐アルカリ性粘着剤２１を介して
固定した。次に、図１（ｂ）に示したように、テンプレ
ート１に設けた４つの直径２００．５ｍｍの孔１１に、
バッキング材３として、総厚み（粘着剤を含む）４８０
μｍ、直径１９８ｍｍのアクリル・スチレン・ブタヂエ
ン系連続発泡弾性樹脂シート（日本ダースボンド（株）
社製、商品名：ダースボンドＮＰタイプ）を孔１１に挿
入し、孔１１の底のマウント板２に貼り付けた。その
後、図１（ｃ）に示したように、直径２００ｍｍのシリ
コン製の未研磨ウエハー４を孔１１に挿入し、バッキン
グ材３上に載せ、バッキング材３の吸着力によって固定
し、厚み５５０μｍ〜７３０μｍとなるように研磨を行
った。
を詳しく説明する。図１（ａ）に示したように、エポキ
シ板製で、厚み８００μｍのテンプレート１を、セラミ
ック製またはガラスプレート製のマウント板２に、１２
０μｍの厚みを有した耐アルカリ性粘着剤２１を介して
固定した。次に、図１（ｂ）に示したように、テンプレ
ート１に設けた４つの直径２００．５ｍｍの孔１１に、
バッキング材３として、総厚み（粘着剤を含む）４８０
μｍ、直径１９８ｍｍのアクリル・スチレン・ブタヂエ
ン系連続発泡弾性樹脂シート（日本ダースボンド（株）
社製、商品名：ダースボンドＮＰタイプ）を孔１１に挿
入し、孔１１の底のマウント板２に貼り付けた。その
後、図１（ｃ）に示したように、直径２００ｍｍのシリ
コン製の未研磨ウエハー４を孔１１に挿入し、バッキン
グ材３上に載せ、バッキング材３の吸着力によって固定
し、厚み５５０μｍ〜７３０μｍとなるように研磨を行
った。
【００２３】研磨後のウエハー製品４０は、以下のよう
にしてバッキング材３から剥奪し、テンプレート１から
取り出した。．図２に示したテンプレート１の表面１
０に設けた直径２．０ｍｍの空気挿入口１２１からコン
プレッサーで加圧した浄化空気を（４ｋｇ／ｃｍ2 ）の
圧で吹き込み、この空気の圧力によって、ウエハー製品
４０をバッキング材３から浮き上がらせた。
にしてバッキング材３から剥奪し、テンプレート１から
取り出した。．図２に示したテンプレート１の表面１
０に設けた直径２．０ｍｍの空気挿入口１２１からコン
プレッサーで加圧した浄化空気を（４ｋｇ／ｃｍ2 ）の
圧で吹き込み、この空気の圧力によって、ウエハー製品
４０をバッキング材３から浮き上がらせた。
【００２４】すなわち、空気挿入口１２１から吹き込ま
れた浄化空気は、通気孔１２を介して、縦０．４８ｍｍ
×横２．５ｍｍの横穴である空気排出口１２２から排出
され、この空気がバッキング材３の側面にぶつかり、バ
ッキング材の中を通って、ウエハー製品４０を浮きあが
らせる。．バッキング材３から浮き上がったウエハー
製品４０の上面を真空吸引機６で真空吸引してテンプレ
ート１から取り出した。
れた浄化空気は、通気孔１２を介して、縦０．４８ｍｍ
×横２．５ｍｍの横穴である空気排出口１２２から排出
され、この空気がバッキング材３の側面にぶつかり、バ
ッキング材の中を通って、ウエハー製品４０を浮きあが
らせる。．バッキング材３から浮き上がったウエハー
製品４０の上面を真空吸引機６で真空吸引してテンプレ
ート１から取り出した。
【００２５】以上のようにして製造されたウエハー製品
４０は、非常に細かな所まで研磨された質の高い製品で
あり、しかも、傷が無く、製品歩留りも従来と比較して
大きく向上した。なお、図２、図３に示した実施例は、
バッキング材３からウエハー製品４０を剥奪して運び出
すとき、真空吸引機６を用いたものであるが、このよう
な例に限らず、図示していないが、たとえば、ウエハー
製品４０の両端を挟み込むようにして運び出すような物
理的移動を行っても構わない。
４０は、非常に細かな所まで研磨された質の高い製品で
あり、しかも、傷が無く、製品歩留りも従来と比較して
大きく向上した。なお、図２、図３に示した実施例は、
バッキング材３からウエハー製品４０を剥奪して運び出
すとき、真空吸引機６を用いたものであるが、このよう
な例に限らず、図示していないが、たとえば、ウエハー
製品４０の両端を挟み込むようにして運び出すような物
理的移動を行っても構わない。
【００２６】
【発明の効果】以上のことより、本発明にかかる、ウエ
ハーに代表される被研磨体の製造方法を用いると、被研
磨体を歪ませることなく受台に固定することができると
とに、剥奪時に被研磨体に傷を生じさせたりすることな
く歩留りよく被研磨体の研磨を行うことができる。
ハーに代表される被研磨体の製造方法を用いると、被研
磨体を歪ませることなく受台に固定することができると
とに、剥奪時に被研磨体に傷を生じさせたりすることな
く歩留りよく被研磨体の研磨を行うことができる。
【００２７】さらに、吸着固定部材が被研磨体の径より
小さくすると、この径の差によりできた空間を通じて、
吹き付けられた空気が研磨製品を押し上げ、この研磨製
品が吸着固定部材から剥奪するのを促し、また、研磨製
品を製造する際の反り防止溝の役割もするため、受台に
余計な加工を加える必要もなく、研磨製品を安価に製造
することができる。
小さくすると、この径の差によりできた空間を通じて、
吹き付けられた空気が研磨製品を押し上げ、この研磨製
品が吸着固定部材から剥奪するのを促し、また、研磨製
品を製造する際の反り防止溝の役割もするため、受台に
余計な加工を加える必要もなく、研磨製品を安価に製造
することができる。
【図１】本発明にかかる研磨製品の製造方法の実施の形
態および実施例の一例を示した説明図である。
態および実施例の一例を示した説明図である。
【図２】図１の工程によって得られたウエハー製品研磨
終了後の状態を表す断面図である。
終了後の状態を表す断面図である。
【図３】図１の工程によって得られたウエハー製品研磨
終了後の状態を表す、図２とは別の形態を表す断面図で
ある。
終了後の状態を表す、図２とは別の形態を表す断面図で
ある。
２ マウント板（受台） ３ バッキング材（吸着固定部材） ４ ウエハー（被研磨体） ４０ 研磨製品
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 37/04 H01L 21/304 622
Claims (2)
- 【請求項１】受台に固定させたテンプレートに穿設した
被研磨体を挿入させる孔内に取り付けられているアクリ
ル・スチレン・ブタジエン系連続発泡弾性樹脂からなる
吸着固定部材を介して、この吸着固定部材の吸着力によ
り、被研磨体を前記受台に吸着固定させる工程と、 前記受台に吸着固定させた被研磨体の非固定面に研磨部
材を押し当てて被研磨体の非固定面を研磨し研磨製品を
得る工程と、 前記テンプレートに設けられた通気孔または切り欠き溝
を介して、このテンプレートの外部から送られた気体ま
たは液体を前記連続発泡弾性樹脂の側面側に吹き付け、
この吹き付けにより前記連続発泡弾性樹脂の中を通った
気体または液体の圧力によって吸着固定部材から、前記
研磨製品を浮き上がらせて剥奪する工程とを備えている
ことを特徴とする研磨製品の製造方法。 - 【請求項２】吸着固定部材の径が被研磨体の径よりも小
さいことを特徴とする請求項１に記載の研磨製品の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27508296A JP3084669B2 (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 研磨製品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27508296A JP3084669B2 (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 研磨製品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10118920A JPH10118920A (ja) | 1998-05-12 |
| JP3084669B2 true JP3084669B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=17550569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27508296A Expired - Fee Related JP3084669B2 (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 研磨製品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3084669B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4546626B2 (ja) | 2000-08-29 | 2010-09-15 | 株式会社ディスコ | 半導体素子のピックアップ方法 |
| JP2002066911A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 弾性吸着パッドに吸着保持された板状物の剥離方法 |
| JP4977449B2 (ja) * | 2006-11-07 | 2012-07-18 | 株式会社ディスコ | ウエーハの研削方法および研削装置 |
| US10556317B2 (en) | 2016-03-03 | 2020-02-11 | P.R. Hoffman Machine Products Inc. | Polishing machine wafer holder |
| US20170252893A1 (en) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | P.R. Hoffman Machine Products Inc. | Polishing machine work piece holder |
| JP7159898B2 (ja) * | 2019-02-14 | 2022-10-25 | 株式会社Sumco | ウェーハ回収装置、研磨システム、および、ウェーハ回収方法 |
-
1996
- 1996-10-17 JP JP27508296A patent/JP3084669B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10118920A (ja) | 1998-05-12 |
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