JP6418747B2 - 試料調製ステージ - Google Patents
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Description
図1は、多軸ステージ100の1つの実施態様の斜視図である。多軸ステージ100は、長方形のスタンド103を支持している円形ベース101を含む。長方形のスタンド103の左縁部に取り付けられているのは、バルクステージ110を保持する垂直壁104である。バルクステージ110は、垂直壁104に移動可能に取り付けられ、バルク試料を保持するために使用される。
図4は、試料調製システム100の1つの実施例内にで動作し得る例示的なプロセス500を例示するフローチャートである。プロセス500は、ブロック502で開始し、ブロック502で、バルク試料をバルクステージの上に装填する。バルク試料をバルクステージの上に装填した後、プロセスはブロック504に進み、ブロック504で、持ち上げたグリッドをグリッドステージの上に装填する。次に、プロセス500は、ブロック506に進み、ブロック506で、バルク試料をバルクステージの上で中心化させる。例えば、所望のラメラを作り出すためにバルク試料を適切に位置付けるよう、バルク回転軸についてバルク試料アームを回転させ且つ/或いはバルクフリップ軸についてバルク試料アームを反転させることによって、バルク試料を位置付け得る。
一部の実施態様において、システムは、多軸ステージ100の温度を制御するよう構成される温度制御システムを更に含み得る。図5に示すように、多軸ステージ100を加熱又は冷却するが、多軸ステージ100が撮像システム内で円形に動くのを依然として可能にするために、温度制御システム600を使用し得る。温度制御システム600は、一連のコネクタ604を介してプラットフォーム602を通じて載るベース601を含む。プラットフォーム602を撮像システム内で所望のレベルまで上げるために隔離材603のシステムを使用し得る。隔離材603は一連のピン608を通じてプラットフォーム602に取り付けられる。
他の実施態様は、試料内のガラス質の氷の状態を決定することに関する。これは、凍結試料上の薄肉断面の関心領域で通常取られるTEM電子線回折パターンに依存するのが普通である。ガラス質の氷状態は、生物学的細胞膜又は分散粒子のような自然構造形態を維持するために有用である。対照的に、結晶氷はそれらの構造又は分配を妨害する。リングパターンは氷が非晶質(ガラス質)であることを示すのに対し、スポットパターンは六角形又は立方体の結晶構造を示す。鋭過ぎる又は鈍ら過ぎる回折の故に、ガラス質の結果は頻繁に論争中であり、或いは、そのTEM電子銃によって、W、LaB6、又はFEGが生成された。
前記に明文化した明細は当業者が本実施態様を実施するのに十分であると考えられる。前記の記述及び実施例は特定の好適実施態様を詳述し、発明者によって熟考される最良の形態を記載している。しかしながら、前述の記載が文書上どれほど詳細に見えるとしても、本発明を多くの異なる方法において実施し得ること、並びに本発明は付属の請求項及びそれらのあらゆる均等物に従って解釈されるべきであることが理解されよう。
101 ベース (base)
103 スタンド (stand)
104 垂直壁 (vertical wall)
110 バルクステージ (bulk stage)
111 バルクフリップ軸 (bulk flip axis)
112 バルク回転軸 (bulk rotation axis)
115 バルク回転アクチュエータ (bulk rotation actuator)
118 試料ホルダ(sample holder)
119 フリップアクチュエータ (flip actuator)
150 グリッドステージ (grid stage)
151 グリッドフリップ軸 (grid flip axis)
152 グリッド回転軸 (grid rotation axis)
154 グリッド回転アクチュエータ (grid rotation actuator)
155 フリップアクチュエータ (flip actuator)
156 グリッドホルダ (grid holder)
160 STEMステージ (STEM stage)
161 横方向動作 (transverse movement)
162 検出器ホルダ (detector holder)
210 バルクアーム (bulk arm)
215 バルク試料キャリア (bulk sample carrier)
220 バルク試料 (bulk sample)
250 グリッドアーム (grid arm)
255 グリッドプレート (grid plate)
270 マニピュレータ (manipulator)
280 ガス供給システム (gas supply system)
410 ラメラ (lamella)
500 プロセス (process)
502 ブロック (block)
504 ブロック (block)
506 ブロック (block)
508 ブロック (block)
510 ブロック (block)
512 ブロック (block)
514 ブロック (block)
516 ブロック (block)
518 ブロック (block)
520 ブロック (block)
522 ブロック (block)
524 ブロック (block)
526 ブロック (block)
528 ブロック (block)
530 ブロック (block)
532 ブロック (block)
540 決定ブロック (decision block)
545 ブロック (block)
550 ブロック (block)
555 ブロック (block)
560 ブロック (block)
565 ブロック (block)
600 温度制御システム (thermal control system)
601 ベース (base)
602 プラットフォーム (platform)
603 隔離材 (standoff)
604 コネクタ (connector)
608 ピン (pin)
610 スリーブ (sleeve)
612 金属リング (metal ring)
614 頂面 (top surface)
616 熱移転パイプ (heat transfer pipe)
620 熱移転体 (heat transfer body)
630 軸受リング (bearing ring)
635 スロット (slot)
640 熱伝導性ローラ (thermally conductive roller)
650 頂部プレート (top plate)
660 取付けブラケット (mounting bracket)
665 芯出しピン (centering pin)
Claims (13)
- X方向を含む平面に延在するベースと、
前記ベースに取り付けられたバルク試料ホルダと、
該バルク試料ホルダに隣接して試料グリッドを保持するためのグリッド試料ホルダとを含み、
前記バルク試料ホルダは、前記X方向に延びるバルクフリップ軸周りにも、前記バルクフリップ軸に対して垂直なバルク軸周りにも、バルク試料を、前記ベースに対して回転させるよう構成され、
前記グリッド試料ホルダは、前記X方向に延びるグリッドフリップ軸周りにも、前記グリッドフリップ軸に対して垂直なグリッド軸周りにも、前記試料グリッドを、前記ベースに対して回転させるよう構成される、
多軸試料調製ステージ。 - 前記バルク試料ホルダ及び前記グリッド試料ホルダと熱的に接触する熱制御システムを更に含む、請求項1に記載の多軸試料調製ステージ。
- 前記熱制御システムは、当該多軸試料調製ステージが360度以上回転するのを可能にするよう構成される一連のローラを含む、請求項2に記載の多軸試料調製ステージ。
- 前記熱制御システムは、前記グリッド試料ホルダ及び前記バルク試料ホルダの温度を−150℃以下に下げるよう構成される、請求項2に記載の多軸試料調製ステージ。
- 前記バルク試料ホルダ及び前記グリッド試料ホルダは、グリッド、平皿、又はチューブのうちの少なくとも1つを保持するよう構成される、請求項1乃至4のうちのいずれか1項に記載の多軸試料調製ステージ。
- 前記バルク試料ホルダは前記バルクフリップ軸及び/又は前記グリッドフリップ軸周りに又は前記グリッド試料ホルダは前記グリッドフリップ軸及び/又は前記グリッド軸周りに、360度回転するよう構成される、請求項1乃至4のうちのいずれか1項に記載の多軸試料調製ステージ。
- S/TEM顕微鏡分析を行うための検出器を更に含む、請求項1乃至4のうちのいずれか1項に記載の多軸試料調製ステージ。
- 請求項1乃至7のうちのいずれか1項に記載の多軸試料調製ステージを含む、集束イオンビームコラムと走査型電子顕微鏡コラムとを有する、デュアルビームシステム。
- 試料を原位置で調製する方法であって、
請求項1に記載の多軸試料調製ステージを提供すること、
前記バルク試料ホルダ内に貯蔵される試料からラメラを切断すること、
及び
前記ラメラを前記バルク試料ホルダから前記グリッド試料ホルダ上のグリッドに移転することを含む、
方法。 - ラメラを切断することは、バルク試料の関心領域からラメラを切断するために集束イオンビームを使用することを含む、請求項9に記載の方法。
- マニピュレータは前記ラメラに取り付けられる、請求項9に記載の方法。
- 前記ラメラを撮像することを更に含む、請求項9に記載の方法。
- 前記ラメラがガラス質の氷又は結晶質の氷を含むか否かを決定し、前記ラメラを回転させることを更に含む、請求項9に記載の方法。
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