JP2007093599A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. サンプルを顕微処理する装置であって、
   回転軸の回りで回転可能なベースと、
   大気圧未満においてサンプルを処理する少なくとも１つの帯電粒子ビーム器具を含む複数の器具であって、各器具が作業領域を含み、前記作業領域が、前記回転軸をほぼ中心とする器具円の上に配置される複数の器具と、
   サンプルを保持するための、前記ベースの複数の凹みであって、前記回転軸を中心とするベース円に沿って、かつ、前記ベースが、前記複数の器具の前記作業領域内に前記複数の凹みを配置するように回転可能な前記器具円からの距離が等しく配置された前記凹みと、
   前記凹みのサンプルが少なくとも１つの前記帯電粒子ビーム器具の作業領域内に回転し、前記器具が作動している間真空を保てるようなスライド真空封止を前記ベースと共に形成する前記帯電粒子ビーム器具の一部とを備える装置。
2. 少なくとも１つの前記帯電粒子ビーム器具が、走査電子顕微鏡を含む請求項１に記載の装置。
3. 前記荷電粒子ビーム器具の少なくとも１つが、前記器具において真空を提供するのを容易にするために真空バッファキャビティを含む請求項１に記載の装置。
4. 前記器具の少なくとも１つが、材料運搬器具を備える請求項１に記載の装置。
5. 前記サンプルを配置する配置装置をさらに備える請求項１に記載の装置。
6. 前記配置装置が、前記サンプルを配置するために前記ベースを移動させる請求項５に記載の装置。
7. 前記配置装置が、前記サンプルを配置するために、個々のサンプルのみを移動させる請
   求項５に記載の装置。
8. 前記複数の凹みの少なくとも１つが器具の前記作業領域と一致するように、ある角度変位において回転ベースを配置する配置装置をさらに備える請求項１に記載の装置。
9. サンプルを前記サンプル・ホルダに配置することと、
   前記複数の器具の第１の器具の前記作業領域まで前記サンプルを回転させることと、
   前記複数の器具の前記第１の器具の上において前記サンプルを処理することと、
   前記複数の器具の他の１つの前記作業領域まで前記サンプルを回転させることと、
   前記複数の器具の前記他の１つの上において前記サンプルを処理することとを備える請求項１に記載の装置を使用する方法。
10. サンプルについて顕微処理を実施するために複数の器具を使用する方法であって、
    各器具が作業領域を有する複数の器具を提供し、前記器具の少なくとも１つが、前記サンプルが処理のために真空に配置されることを必要とすることと、
    複数のサンプル凹みを有するターンテーブルを提供し、前記ターンテーブルが、前記複数の器具の作業領域間において前記サンプル凹みを回転させることと、前記サンプルを真空内に配置して作動することを必要とする前記器具と共に真空封止を形成することと、
    第１のサンプルを前記サンプル・ホルダに配置することと、
    前記複数の器具の第１の器具の前記作業領域まで前記第１のサンプルを回転させることと、
    前記複数の器具の前記第１の器具の上において前記サンプルを処理することと、
    第２のサンプルを第２の凹みに配置することと、
    前記第１のサンプルを第２の器具の下に配置し、前記第２のサンプルを前記第１の器具の下に配置するために前記ターンテーブルを回転し、前記第１あるいは第２の器具において、前記第１および第２のサンプルのうち少なくとも１つは回転して真空環境に入りあるいは真空環境から出ることと、
    前記第１のサンプルを前記第２の器具において、かつ、前記第２のサンプルを前記第１の器具において処理することとを備える方法。
11. 前記複数の器具の１つにおいて前記第１あるいは第２のサンプルを処理することが、走査電子顕微鏡を使用して前記サンプルを観測することを含む請求項１０に記載の方法。
12. 前記複数の器具の１つにおいて前記第１あるいは第２のサンプルを処理することが、走査プローブ顕微鏡を使用して前記サンプルを観測することを含む請求項１０に記載の方法。
13. 前記サンプルを処理する前記器具の前記作業領域と前記サンプルとを位置合わせするために、前記複数の器具の１つの下で前記第１あるいは第２のサンプルの位置を調節することをさらに備える請求項１０に記載の方法。
14. 前記サンプルの前記位置を調節することが、前記ターンテーブルの位置を調節することを含む請求項１０に記載の方法。