JP6383650B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
はじめに、本実施例で用いられる試料台の概要に関して説明する。以下で説明する三次元内部構造観察方法は従来の一般的な電子顕微鏡用試料台においても可能であるが、次に説明する試料台を用いることでさらに利便性が向上する。
本実施例における試料台の詳細の説明と原理説明をする。本実施例の試料台は荷電粒子線を光に変換する検出素子500で構成される。図2のように試料6は検出素子500上に直接搭載される。図中試料6は一つだけ搭載されているが、複数配置されていてもかまわない。または、後述するように膜などの部材を介して間接に搭載されても良い。試料台500の下に、無色透明または多少の色が混在されている土台501(図示せず)を配置してもかまわない。土台501としては、透明ガラス、透明プラスチック、透明の結晶体などである。蛍光顕微鏡などで観察したい場合は、蛍光が吸収されない方がよいのでプラスチックがよい。土台501は必ずしもなくともよい。
次に、図6を用いて、荷電粒子線を用いて試料の三次元内部構造観察を実施するための原理に関して説明する。図では試料6と荷電粒子線900が照射される際の相互関係を示す。試料6には密度が比較的小さい物質904の中に、密度が比較的大きい内部物質901と内部物質902と内部物質903を持つ。内部物質903は内部物質901、902に比べると大きさが小さいかつ密度が小さいとする。試料として例えば細胞試料などを考えると、物質904は細胞内部であり、内部物質901、902、903などは細胞核などの細胞小器官などに対応する。
ここで、図7−1に、本実施例の試料台を搭載して三次元内部構造観察が実施できる装置に関して説明する。荷電粒子顕微鏡は、主として、荷電粒子光学鏡筒2、荷電粒子光学鏡筒を装置設置面に対して支持する筐体7(以下、真空室と称することもある)およびこれらを制御する制御系によって構成される。荷電粒子顕微鏡の使用時には荷電粒子光学鏡筒2と筐体7の内部は真空ポンプ4により真空排気される。真空ポンプ4の起動および停止動作も制御系により制御される。図中、真空ポンプ4は一つのみ示されているが、二つ以上あってもよい。
図8に操作画面の一例を示す。三次元の内部構造を観察するために設定するベクトルパラメータ設定部として、モニタ上には照射エネルギーE変更部45、照射角度変更部46、試料角度変更部47、試料回転角度変更部60などが表示される。照射エネルギーE変更部45に入力された数値に従い荷電粒子線の照射エネルギーが設定される。照射角度変更部46は荷電粒子線と光軸との角度を変更するための入力窓であって入力された数値に従い荷電粒子線の光軸に対する照射角度が設定される。試料角度変更部47は試料6を傾斜する角度を入力する入力窓であり、入力された数値に従い試料ステージが傾斜することにより試料が傾斜される。試料回転角度変更部60は試料の回転角度φを変更するため入力窓であって入力された数値に従い試料が回転する。
次に、図9を用いて、ユーザが三次元内部構造を観察する手順について記載する。
次に、図9のステップBにおける三次元内部構造観察のための一連動作及び画像保存を実施するための手順を自動的に実施するための構成について説明する。具体的には、ステップ61からステップ67までを自動化すれば実施が可能である。
また、金コロイド等の標識を付加した免疫染色を試料に実施してもよい。標識をつけることによって、試料内部の形態構造だけでなく検出したいたんぱく質等が試料内部のどこに局在しているかなどを観察することが可能となる。図11では試料に標識をつけて観察する場合を考える。この場合の試料は例えば培養細胞や生体から摘出された細胞である。金標識909が接合した抗体を付加した材料を細胞内に注入すると、細胞内部のたんぱく質等に特異的に反応して結合する(抗原抗体反応)。荷電粒子線900は金標識909によって大きく散乱をうけるので、投影画像(または検出画像)910は図のようになり、金標識909が集まって局在化した場所がわかる。この結果、検出したいたんぱく質等の場所が把握できることになる。
前述の通り、試料台上に観察したい試料を搭載し、同一試料台上の試料の光学顕微鏡観察と荷電粒子顕微鏡観察を実施できる。このとき、光学顕微鏡及び荷電粒子顕微鏡で同一部位を正確に観察できることが望ましい。そこで、光学顕微鏡と荷電粒子顕微鏡で同一部位を観察できる装置システムに関して図12を用いて説明する。光学顕微鏡602にはCCDカメラ603が具備される。ユーザはまず光学顕微鏡にて試料の画像を取得する。CCDカメラ603と上位制御部36は配線604で接続されている。これにより、光学顕微鏡のデジタル画像情報を図中点線矢印で示したように上位制御部36に送ることが可能となる。また荷電粒子顕微鏡で取得される画像情報も同様に上位制御部36に送られるので、同一部位の顕微鏡像の比較が同一モニタ35上で実施することが可能となる。ユーザはモニタ上で光学顕微鏡によって取得した画像を見ながら、荷電粒子顕微鏡で画像取得する試料位置を探す。これによって光学顕微鏡での観察結果に基づいて所望の試料位置を一次荷電粒子線の照射位置に配置することができる。また、画像マッチングや類似度計算などの演算処理によって光学顕微鏡画像と類似した形状の試料位置を探して、自動的に荷電粒子線の照射位置として設定してもよい。なお、図示しないが、光学顕微鏡と上位制御部との間は、別のコンピュータが介在してもよいし、インターネットなどの通信ラインを経由して画像情報を送信してもよい。
図6−2で説明した内容に加え、試料904をX軸とY軸にて傾斜させることで、計測点を増やした三次元観察を行う構成について説明する。さらに、X軸もしくはY軸の少なくとも一方とZ軸の回転によって、計測点を増やした三次元観察を行う構成について説明する。これにより、高精度な三次元観察を行う事が出来る。
<試料台の説明>
上記の三次元観察を可能にする試料台について、以下に説明する。試料を傾斜することができる二つの回転軸を有することで、多方向からの観察を可能にする試料台を図20に示す。試料ステージ500上にモータ810を備え、モータ回転軸811に試料台500が固定される構成となっている。試料ステージ500は、傾斜軸801のまわりに傾斜することができる傾斜駆動機構(角度制御部)を備えている。モータ810はモータ回転軸811が試料ステージの傾斜軸801に直交するように配置されており、支持部材805によって試料ステージ500に固定される。モータ回転軸811には試料保持部材812が備えられており、モータ回転軸811とともに回転することが可能である。試料保持部材812には着脱可能で発光部材を有する試料台500が取り付けられる。以上の構成によって、試料ステージ800の傾斜およびモータ810の回転による、二つの軸での回転が可能となる。
次に、図24を用いて、大気圧下で観察可能な荷電粒子線装置を用いた例を説明する。荷電粒子顕微鏡の基本構成は実施例1(例えば図7の構成)および実施例2にて説明したものと同じなので、本実施例では主に大気圧観察用装置の特徴のみ説明する。
16:真空配管、18:支柱、19:蓋部材用支持部材、20:底板、
34:キーボードやマウスなどのユーザインターフェース、35:モニタ、
36:上位制御部、37:下位制御部、38:ステージ制御部、39:通信線、40:データ送受信部、41:データメモリ部、42:外部インターフェース、43:演算部、44:操作画面、45:照射エネルギー変更部、46:照射角度変更部、47:試料角度変更部、48:焦点調整部、49:明るさ調整部、
50:コントラスト調整部、51:照射開始ボタン、52:照射停止ボタン、
53:プリアンプ、54:プリアンプ、55:画面、56:画面、57:画像保存ボタン、58:画像読み出しボタン、59:照射エネルギー制御部、60:試料回転角度制御部、61、62、63、64、
65、66、67:ステップ、70:操作画面、71:初期試料角度θ設定部、72:最終試料角度θ設定部、73:変更角度Δθ設定部、74:垂直設定バー、75:水平設定
バー、76:画面、77:自動画像取得基準点、78:自動取得開始ボタン、102:連結部、103:ガスボンベ、
107:支持板、119:ハーメチックシール、120:ハーメチックシール、
122:蓋部材、123,124,125,126,128,129:真空封止部材、155:隔膜保持部材、200:荷電粒子顕微鏡の光軸、201:光学顕微鏡の光軸、202:光学顕微鏡、250:光学顕微鏡、269:柱、270:土台、271:筐体、272:ガスノズル、500:試料台または検出素子、501:土台、502:薄い膜、503:光検出器、505:プリアンプ基板、506:固定部材、507:配線、508:密度が高い部分、509:密度が低い部分、510:一次荷電粒子線、511:一次荷電粒子線、512:上層部、513:下層部、514:電子正孔対、515:抵抗、516:配線、517:増幅器、518:検出素子、601:荷電粒子線顕微鏡、602:光学顕微鏡、603:CCDカメラ、604:配線、702:薄い膜、703:置換物質、800:光検出器、801:光伝達路、
810:モータ、811:モータ回転軸、820:回転台、
900:荷電粒子線、901:内部構造、902:内部構造、903:内部構造、903a:投影された内部構造903、904:物質、905:光軸、906:投影画像(または検出画像)、907:投影画像(または検出画像)、908:投影画像(または検出画像)、909:金標識、910:投影画像(または検出画像)、911:金標識、912:投影画像(または検出画像)、913:マーキング、914:試料内部構造体、915:投影画像(または検出画像)、916:投影画像(または検出画像)、917:投影画像(または検出画像)、918:投影画像(または検出画像)、921,922,923:内部物質
Claims (13)
- 試料台に保持された試料に一次荷電粒子線を照射する荷電粒子光学鏡筒と、
前記試料台表面と前記一次荷電粒子線の光軸とのなす角を垂直でない角度に傾斜させた状態で当該試料台を回転することが可能な試料台回転部と、
前記試料台回転部の回転角度を制御する制御部と、
前記試料台回転部を複数の異なる角度であって前記傾斜させた方向とは異なる方向に回転させた状態で前記一次荷電粒子線を前記試料に照射することによって取得した、各角度に対応する前記試料の透過荷電粒子画像を断層撮影法にて表示する表示部と、
前記表示部に表示された前記試料の透過荷電粒子画像の一部を選択させることで、前記画像の回転図または断面図を表示する選択入力部と、を有し、
前記試料台は、前記試料の内部を散乱または透過してきた荷電粒子を検出する検出素子を含んで構成される、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記傾斜させた方向とは異なる方向として、前記試料台の面に垂直な軸に対して回転させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記傾斜させた方向とは異なる方向として、前記試料に対する前記光軸方向の投影面が回転する方向に回転させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置において、
前記試料台を着脱可能に配置する試料ステージを有し、
前記試料ステージは複数の異なる角度に前記試料台を傾斜させることが可能である試料台傾斜部を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置において、
前記一次荷電粒子線を当該一次荷電粒子線の光軸に対して傾斜させて前記試料に入射する光学レンズを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、
前記検出素子は前記試料の内部を透過または散乱してきた荷電粒子によって発光する発光部材であり、
前記発光部材は特定のまたは全ての波長領域の可視光もしくは紫外光もしくは赤外光が通過可能であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置において、
前記一次荷電粒子線を透過または通過させる着脱可能な隔膜を有し、当該隔膜により前記荷電粒子光学鏡筒の内部空間と前記試料が載置された空間とが隔離されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料台に保持された試料に一次荷電粒子線を照射する荷電粒子光学鏡筒と、
前記試料台を着脱可能に配置する試料ステージと、
前記一次荷電粒子線と前記試料との相対角度を、第1の軸および前記第1の軸とは異なる第2の軸にて制御する角度制御部と、
前記第1の軸および前記第2の軸における、複数の異なる前記相対角度での一次荷電粒子線の照射によって取得した、各相対角度に対応する前記試料の透過荷電粒子画像を断層撮影法にて表示する表示部と、
前記表示部に表示された前記試料の透過荷電粒子画像の一部を選択させることで、前記画像の回転図または断面図を表示する選択入力部と、を有し、
前記試料台は、前記試料の内部を散乱または透過してきた荷電粒子を検出する検出器を含んで構成される、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記角度制御部は、前記一次荷電粒子線と前記試料との相対角度を前記第1の軸にて制御する第一軸角度制御部と、前記一次荷電粒子線と前記試料との相対角度を前記第1の軸とは異なる前記第2の軸にて制御する第二軸角度制御部と、を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項9に記載の荷電粒子線装置において、
前記第二軸角度制御部は、前記試料台の水平面と平行でない前記第2の軸を中心とする回転運動であり、前記回転運動によって前記試料台を回転させ前記一次荷電粒子線と前記試料との相対角度を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記角度制御部は、前記荷電粒子光学鏡筒の傾斜、一次荷電粒子線のビームチルト、試料ステージの傾斜、前記試料台の傾斜のいずれか1つ、もしくは2つ以上の組み合わせによって前記一次荷電粒子線と前記試料との相対角度を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料台に保持された試料に一次荷電粒子線を照射する荷電粒子光学鏡筒と、
前記試料台を着脱可能に配置する試料ステージと、
傾斜軸によって、前記試料台表面と前記一次荷電粒子線の光軸とのなす角を垂直でない角度に傾斜させる試料台傾斜部と、
前記試料台傾斜部の傾斜角度を制御する制御部と、
前記試料台を複数の異なる相対角度に傾斜させ、前記傾斜軸とは異なる軸で回転させ、
前記一次荷電粒子線を前記試料に照射することによって取得した、各相対角度に対応する前記試料の透過荷電粒子画像を断層撮影法にて表示する表示部と、
前記表示部に表示された前記試料の透過荷電粒子画像の一部を選択させることで、前記画像の回転図または断面図を表示する選択入力部と、を有し、
前記試料台は、前記試料の内部を散乱または透過してきた荷電粒子を検出する検出部を含んで構成される、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項12に記載の荷電粒子線装置において、
前記検出部は前記試料の内部を透過または散乱してきた荷電粒子によって発光する発光部材であることを特徴とする荷電粒子線装置。
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