JP5331780B2 - 電子顕微鏡,電子顕微鏡用画像再構成システム、および電子顕微鏡用画像再構成方法 - Google Patents
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Description
7 第二の画像検出部
8 コンピュータ
9 演算装置
10 記憶装置
11a,11b コミュニケーションインターフェイス
13 マイクロプロセッサ
19 入力装置
20 出力装置
32 試料ホルダー
71 撮影画像
80 メインウィンドウ
81 目標回転角度入力部
82 回転刻み角度入力部
83 現在の回転角度表示部
84 設定傾斜角度入力部
85 傾斜刻み角度入力部
86 現在の傾斜角度表示部
87 撮影画像表示部
88 画像取り込み実行ボタン
90 ウィンドウ
91 演算範囲X入力部
92 演算範囲Y入力部
93 演算範囲Z入力部
94 コモンライン探索角度入力部
95 テンプレート範囲入力部
96 再構成画像(1)表示部
97 再構成画像(2)表示部
Claims (25)
- 観察対象物に電子線を照射する照射装置と、観察対象物からの応答を検出する第一及び第二の検出装置と、観察対象物を保持し、移動させる移動装置と、観察対象物の傾斜角度を任意に設定できる傾斜装置と観察対象物の回転角度を任意に設定できる回転装置と、各種演算を行う演算装置を備える電子顕微鏡において、上記観察対象物を異なる角度ステップで傾斜し、撮像装置によって得られた第一の傾斜画像群を格納する第一の格納手段、該観察対象物を回転刻み角度毎に位置ずれ補正を行い、指定した回転角度まで回転する回転手段、該回転手段によって回転された観察対象物を異なる角度ステップで傾斜し、撮像装置によって得られた第二の傾斜画像群を格納する第二の格納手段、上記第一と第二の傾斜画像群からそれぞれ作成した第一,第二の再構成画像の位置ずれを補正した第三,第四の再構成画像を作成し、上記第三と第四の再構成画像を重ね合わせて第五の再構成画像を作成する演算手段を備えることを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項1において、上記演算装置は上記回転手段を上記傾斜装置を用いて試料の傾斜角度を0度付近に設定し、第一の検出装置にて第一の基準画像を撮影し、該基準画像を目標回転角度回転した目標参照画像を作成し、第二の検出装置にて第二の基準画像を撮影し、該第二の基準画像を回転刻み角度回転した刻み参照画像を作成し、回転装置を用いて試料を刻み角度回転させて第二の検出装置にて刻み画像を撮影し、上記刻み参照画像と上記刻み画像を用いて、位置ずれ量を算出し、該位置ずれ量だけ上記移動装置を用いて観察対象物を移動して位置ずれ補正をし、上記刻み参照画像の作成と上記刻み画像の撮影、上記位置ずれ量の算出及び上記位置ずれ補正を上記目標回転角度まで繰り返し、第一の検出装置にて目標画像を撮影し、上記目標参照画像と上記目標画像を用いて、位置ずれ量を算出し、該位置ずれ量だけ上記移動装置を用いて観察対象物を移動させて位置ずれ補正をするように制御することを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項1において、上記演算手段は、第一の再構成画像に対する第二の再構成画像の平行位置ずれ量を三次元相互相関を用いて算出し、第二の再構成画像を該平行位置ずれ量移動させた平行位置ずれ補正画像を作成し、上記第一の再構成画像と上記平行位置ずれ補正画像をそれぞれZ方向に各ピクセルの濃度値を加算した第一の加算画像と第二の加算画像を作成し、該第一の加算画像と該第二の加算画像からコモンラインを導出し、該コモンラインを一致させるためのそれぞれの回転角度を算出し、上記第一の再構成画像と上記平行位置ずれ補正画像をそれぞれ該回転角度回転させてコモンラインを一致させた第一のコモンライン補正画像と第二のコモンライン補正画像を作成し、上記第一のコモンライン補正画像から上記コモンラインと垂直な平面より任意の平面を抽出して第一のスライス画像を作成し、上記第二のコモンライン補正画像から上記コモンラインと垂直な平面より上記第一のスライス画像と同座標の平面を抽出して第二のスライス画像を作成し、上記第一のスライス画像に対する上記第二のスライス画像の回転移動ずれ量を算出し、上記第二のコモンライン補正画像をコモンラインを回転軸として該回転移動ずれ量回転させた回転位置ずれ補正画像を作成し、上記第一のコモンライン補正画像を第三の再構成画像として出力し、上記回転位置ずれ補正画像を第四の再構成画像として出力するように演算することを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項3において、上記演算手段は、上記回転位置ずれ補正画像を作成する工程の後に、第三の再構成画像に対する第四の再構成画像の平行位置ずれ量を三次元相互相関を用いて算出し、第四の再構成画像を該平行位置ずれ量移動させた平行位置ずれ補正画像を作成し、第三の再構成画像の特徴を抽出した特徴抽出画像を作成し、該特徴抽出画像を一つまたは、複数の領域に分割し、上記平行位置ずれ補正画像を一つまたは、複数の領域に分割し、上記特徴抽出画像の各領域でテンプレート領域を移動しながらテンプレート領域内の濃度値の積算値を各々算出し、各領域で該積算値が最大となるテンプレート領域を探索し、第三の再構成画像の該テンプレート領域を各領域のテンプレート画像とし、該各テンプレート画像と対応する上記平行位置ずれ補正画像の各領域を探索画像とし、それぞれ対応する該各探索画像と上記各テンプレート画像から最も類似度が高い領域を算出し、各テンプレート画像の座標と該最も類度が高い各領域の座標から上記第三の再構成画像に対する上記平行位置ずれ補正画像の回転移動ずれ量を算出し、上記平行位置ずれ補正画像を該回転移動ずれ量回転させた回転移動ずれ補正画像を作成し、該回転移動ずれ補正画像を第三の再構成画像として出力するように演算することを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項4において、上記演算手段は特徴量算出を画像の微分によって行うことを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項4において、上記演算手段は特徴量算出を画像二値化によって行うことを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項4において、上記演算手段は特徴量算出を第四の再構成画像を用いて行うことを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項4において、上記演算手段はテンプレート領域の大きさを任意に決定できることを特徴とする電子顕微鏡。
- 観察対象物に電子線を照射する照射装置と、観察対象物からの応答を検出する第一及び第二の検出装置と、観察対象物を保持し、移動させる移動手段と、観察対象物の傾斜角度を任意に設定できる傾斜装置と観察対象物の回転角度を任意に設定できる回転装置と、各種演算を行う演算装置を備える測定装置を用いた電子顕微鏡用画像再構成システムにおいて、上記観察対象物を異なる角度ステップで傾斜し、撮像装置によって得られた第一の傾斜画像群を格納する第一の格納手段、該観察対象物を回転刻み角度毎に位置ずれ補正を行い、指定した回転角度まで回転する回転手段、該回転手段によって回転された観察対象物を異なる角度ステップで傾斜し、撮像装置によって得られた第二の傾斜画像群を格納する第二の格納手段、上記第一と第二の傾斜画像群からそれぞれ作成した第一,第二の再構成画像の位置ずれを補正した第三,第四の再構成画像を作成し、上記第三と第四の再構成画像を重ね合わせて第五の再構成画像を作成する演算手段を備えることを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成システム。
- 請求項9において、上記演算装置は上記回転手段を上記傾斜装置を用いて試料の傾斜角度を0度付近に設定し、第一の検出装置にて第一の基準画像を撮影し、該基準画像を目標回転角度回転した目標参照画像を作成し、第二の検出装置にて第二の基準画像を撮影し、該第二の基準画像を回転刻み角度回転した刻み参照画像を作成し、回転装置を用いて試料を刻み角度回転させて第二の検出装置にて刻み画像を撮影し、上記刻み参照画像と上記刻み画像を用いて、位置ずれ量を算出し、該位置ずれ量だけ上記移動装置を用いて観察対象物を移動して位置ずれ補正をし、上記刻み参照画像の作成と上記刻み画像の撮影、上記位置ずれ量の算出及び上記位置ずれ補正を上記目標回転角度まで繰り返し、第一の検出装置にて目標画像を撮影し、上記目標参照画像と上記目標画像を用いて、位置ずれ量を算出し、該位置ずれ量だけ上記移動装置を用いて観察対象物を移動させて位置ずれ補正をするように制御することを特徴とする画像再構成システム。
- 請求項9において、上記演算手段は、第一の再構成画像に対する第二の再構成画像の平行位置ずれ量を三次元相互相関を用いて算出し、第二の再構成画像を該平行位置ずれ量移動させた平行位置ずれ補正画像を作成し、上記第一の再構成画像と上記平行位置ずれ補正画像をそれぞれZ方向に各ピクセルの濃度値を加算した第一の加算画像と第二の加算画像を作成し、該第一の加算画像と該第二の加算画像からコモンラインを導出し、該コモンラインを一致させるためのそれぞれの回転角度を算出し、上記第一の再構成画像と上記平行位置ずれ補正画像をそれぞれ該回転角度回転させてコモンラインを一致させた第一のコモンライン補正画像と第二のコモンライン補正画像を作成し、上記第一のコモンライン補正画像から上記コモンラインと垂直な平面より任意の平面を抽出して第一のスライス画像を作成し、上記第二のコモンライン補正画像から上記コモンラインと垂直な平面より上記第一のスライス画像と同座標の平面を抽出して第二のスライス画像を作成し、上記第一のスライス画像に対する上記第二のスライス画像の回転移動ずれ量を算出し、上記第二のコモンライン補正画像をコモンラインを回転軸として該回転移動ずれ量回転させた回転位置ずれ補正画像を作成し、上記第一のコモンライン補正画像を第三の再構成画像として出力し、上記回転位置ずれ補正画像を第四の再構成画像として出力するように演算することを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成システム。
- 請求項11において、上記演算手段は、上記回転位置ずれ補正画像を作成する工程の後に、第三の再構成画像に対する第四の再構成画像の平行位置ずれ量を三次元相互相関を用いて算出し、第四の再構成画像を該平行位置ずれ量移動させた平行位置ずれ補正画像を作成し、第三の再構成画像の特徴を抽出した特徴抽出画像を作成し、該特徴抽出画像を一つまたは、複数の領域に分割し、上記平行位置ずれ補正画像を一つまたは、複数の領域に分割し、上記特徴抽出画像の各領域でテンプレート領域を移動しながらテンプレート領域内の濃度値の積算値を各々算出し、各領域で該積算値が最大となるテンプレート領域を探索し、第三の再構成画像の該テンプレート領域を各領域のテンプレート画像とし、該各テンプレート画像と対応する上記平行位置ずれ補正画像の各領域を探索画像とし、それぞれ対応する該各探索画像と上記各テンプレート画像から最も類似度が高い領域を算出し、各テンプレート画像の座標と該最も類度が高い各領域の座標から上記第三の再構成画像に対する上記平行位置ずれ補正画像の回転移動ずれ量を算出し、上記平行位置ずれ補正画像を該回転移動ずれ量回転させた回転移動ずれ補正画像を作成し、該回転移動ずれ補正画像を第三の再構成画像として出力するように演算することを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成システム。
- 請求項12において、上記演算手段は特徴量算出を画像の微分によって行うことを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成システム。
- 請求項12において、上記演算手段は特徴量算出を画像二値化によって行うことを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成システム。
- 請求項12において、上記演算手段は特徴量算出を第四の再構成画像を用いて行うことを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成システム。
- 請求項12において、上記演算手段はテンプレート領域の大きさを任意に決定できることを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成システム。
- 観察対象物に電子線を照射する照射装置と、観察対象物からの応答を検出する第一及び第二の検出装置と、観察対象物を保持し、移動させる移動手段と、観察対象物の傾斜角度を任意に設定できる傾斜装置と観察対象物の回転角度を任意に設定できる回転装置と、各種演算を行う演算装置を備える測定装置を用いた電子顕微鏡用画像再構成方法において、上記観察対象物を異なる角度ステップで傾斜し、撮像装置によって得られた第一の傾斜画像群を格納し、該観察対象物を回転刻み角度毎に位置ずれ補正を行い、指定した回転角度まで回転し、該観察対象物を異なる角度ステップで傾斜し、撮像装置によって得られた第二の傾斜画像群を格納し、上記第一と第二の傾斜画像群からそれぞれ作成した第一,第二の再構成画像の位置ずれを補正した第三,第四の再構成画像を作成し、上記第三と第四の再構成画像を重ね合わせて第五の再構成画像を作成することを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成方法。
- 請求項17において、上記回転工程は上記傾斜装置を用いて試料の傾斜角度を0度付近に設定し、第一の検出装置にて第一の基準画像を撮影し、該基準画像を目標回転角度回転した目標参照画像を作成し、第二の検出装置にて第二の基準画像を撮影し、該第二の基準画像を回転刻み角度回転した刻み参照画像を作成し、回転装置を用いて試料を刻み角度回転させて第二の検出装置にて刻み画像を撮影し、上記刻み参照画像と上記刻み画像を用いて、位置ずれ量を算出し、該位置ずれ量だけ上記移動装置を用いて観察対象物を移動して位置ずれ補正をし、上記刻み参照画像の作成と上記刻み画像の撮影、上記位置ずれ量の算出及び上記位置ずれ補正を上記目標回転角度まで繰り返し、第一の検出装置にて目標画像を撮影し、上記目標参照画像と上記目標画像を用いて、位置ずれ量を算出し、該位置ずれ量だけ上記移動装置を用いて観察対象物を移動させて位置ずれ補正することを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成方法。
- 請求項17において、上記第三,第四の再構成画像を作成する工程は、第一の再構成画像に対する第二の再構成画像の平行位置ずれ量を三次元相互相関を用いて算出し、第二の再構成画像を該平行位置ずれ量移動させた平行位置ずれ補正画像を作成し、上記第一の再構成画像と上記平行位置ずれ補正画像をそれぞれZ方向に各ピクセルの濃度値を加算した第一の加算画像と第二の加算画像を作成し、該第一の加算画像と該第二の加算画像からコモンラインを導出し、該コモンラインを一致させるためのそれぞれの回転角度を算出し、上記第一の再構成画像と上記平行位置ずれ補正画像をそれぞれ該回転角度回転させてコモンラインを一致させた第一のコモンライン補正画像と第二のコモンライン補正画像を作成し、上記第一のコモンライン補正画像から上記コモンラインと垂直な平面より任意の平面を抽出して第一のスライス画像を作成し、上記第二のコモンライン補正画像から上記コモンラインと垂直な平面より上記第一のスライス画像と同座標の平面を抽出して第二のスライス画像を作成し、上記第一のスライス画像に対する上記第二のスライス画像の回転移動ずれ量を算出し、上記第二のコモンライン補正画像をコモンラインを回転軸として該回転移動ずれ量回転させた回転位置ずれ補正画像を作成し、上記第一のコモンライン補正画像を第三の再構成画像として出力し、上記回転位置ずれ補正画像を第四の再構成画像として出力することを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成方法。
- 請求項19において、上記回転位置ずれ補正画像を作成する工程の後に、第三の再構成画像に対する第四の再構成画像の平行位置ずれ量を三次元相互相関を用いて算出し、第四の再構成画像を該平行位置ずれ量移動させた平行位置ずれ補正画像を作成し、第三の再構成画像の特徴を抽出した特徴抽出画像を作成し、該特徴抽出画像を一つまたは、複数の領域に分割し、上記平行位置ずれ補正画像を一つまたは、複数の領域に分割し、上記特徴抽出画像の各領域でテンプレート領域を移動しながらテンプレート領域内の濃度値の積算値を各々算出し、各領域で該積算値が最大となるテンプレート領域を探索し、第三の再構成画像の該テンプレート領域を各領域のテンプレート画像とし、該各テンプレート画像と対応する上記平行位置ずれ補正画像の各領域を探索画像とし、それぞれ対応する該各探索画像と上記各テンプレート画像から最も類似度が高い領域を算出し、各テンプレート画像の座標と該最も類度が高い各領域の座標から上記第三の再構成画像に対する上記平行位置ずれ補正画像の回転移動ずれ量を算出し、上記平行位置ずれ補正画像を該回転移動ずれ量回転させた回転移動ずれ補正画像を作成し、該回転移動ずれ補正画像を第三の再構成画像として出力することを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成方法。
- 請求項20において、特徴量算出工程は画像の微分によって行うことを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成方法。
- 請求項20において、特徴量算出工程は画像二値化によって行うことを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成方法。
- 請求項20において、特徴量算出工程は第四の再構成画像を用いて行うことを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成方法。
- 請求項20において、テンプレート領域の大きさを任意に決定できることを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成方法。
- 試料を異なる試料傾斜軸で傾斜させて撮影した複数の傾斜画像を得、回転刻み角度毎に位置ずれ補正を行い、回転された観察対象物を異なる角度ステップで傾斜して撮像し、それぞれの傾斜画像群からそれぞれ作成した2つの再構成画像の位置ずれを補正した2つの再構成画像を作成し、該2つの再構成画像を重ね合わせてひとつの再構成画像を作成することを特徴とする電子顕微鏡用画像再構成方法。
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