JP5302595B2 - 傾斜観察方法および観察装置 - Google Patents
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Description
Claims (8)
- 集束された荷電粒子ビームを観察試料に斜め照射して走査し、照射によって前記観察試料から発生する2次粒子または反射粒子を検出して得られる画像を用いて前記観察試料を斜めから観察する傾斜観察方法であって、
斜め照射時の前記荷電粒子ビームのぼけを補正した像を得るため、標準試料の垂直照射画像と、前記荷電粒子ビームの前記斜め照射と同じ条件で取得した前記標準試料の斜め照射画像とを用い、
前記観察試料の前記斜め照射画像のフーリエ変換を、前記標準試料の前記斜め照射画像のフーリエ変換を前記標準試料の前記垂直照射画像のフーリエ変換で割り算した結果で、割り算したものを逆フーリエ変換して得られた画像を用いる、
ことを特徴とする傾斜観察方法。 - 請求項1記載の傾斜観察方法であって、
単数または複数の前記斜め照射画像をもとに前記観察試料の立体形状を求める、
ことを特徴とする傾斜観察方法。 - 請求項1記載の傾斜観察方法であって、
前記標準試料は、平坦なカーボンまたはシリコンの基板上の金微粒子あるいは白金微粒子である、
ことを特徴とする傾斜観察方法。 - 集束された荷電粒子ビームの照射によって観察試料から発生する2次粒子または反射粒子を検出して得られる画像を用いて前記観察試料を観察する観察装置であって、
荷電粒子ビームを供給するための荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームの収束角度と収束位置を制御するためのコンデンサーレンズ部と、
前記荷電粒子ビームを試料面上に集束するための対物レンズ部と、
前記荷電粒子ビームを試料面上で所望の傾斜角度で走査する走査部と、
前記観察試料から発生する2次粒子または反射粒子を検出し、前記荷電粒子ビームの走査と同期させて画像を取得する画像取得部と、
標準試料の垂直照射および斜め照射で取得した2枚の画像を使って、前記観察試料の斜め照射画像から斜め照射時の前記荷電粒子ビームのぼけを補正する画像演算処理部と、
前記画像演算処理部によって補正された前記観察試料の画像を表示する表示部とを備え、
前記画像演算処理部は、
前記標準試料の前記斜め照射画像のフーリエ変換を前記標準試料の前記垂直照射画像のフーリエ変換で割り算した結果で、前記観察試料の前記斜め照射画像のフーリエ変換を割り算したものを逆フーリエ変換する処理を実行する、
ことを特徴とする観察装置。 - 集束された荷電粒子ビームの照射によって観察試料から発生する2次粒子または反射粒子を検出して得られる画像を用いて前記観察試料を観察する観察装置であって、
荷電粒子ビームを供給するための荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームの収束角度と収束位置を制御するためのコンデンサーレンズ部と、
前記荷電粒子ビームを試料面上に集束するための対物レンズ部と、
前記荷電粒子ビームを試料面上で所望の傾斜角度で走査する走査部と、
前記観察試料から発生する2次粒子または反射粒子を検出し、前記荷電粒子ビームの走査と同期させて画像を取得する画像取得部と、
標準試料の垂直照射および斜め照射で取得した2枚の画像を使って、前記観察試料の斜め照射画像から斜め照射時の前記荷電粒子ビームのぼけを補正する画像演算処理部と、
前記画像演算処理部によって補正された前記観察試料の画像を表示する表示部とを備え、
前記画像演算処理部は、
前記観察試料の前記斜め照射画像のフーリエ変換F[Bt]を、前記標準試料の前記斜め照射画像のフーリエ変換F[At]を前記標準試料の前記垂直照射画像のフーリエ変換F[A 0 ]で割り算した結果で、割り算したものを逆フーリエ変換F -1 {F[Bt]/F[At]/F[A 0 ]}する処理を実行する、
ここで、At、A 0 はそれぞれ傾斜時、無傾斜時の前記2次粒子または反射粒子の前記標準試料からの放出の分布関数、Btは傾斜時の前記2次粒子または反射粒子の前記観察試料からの放出の分布関数を示す、
ことを特徴とする観察装置。 - 請求項4、又は5記載の観察装置であって、
前記標準試料として、平坦なカーボンまたはシリコンの基板上の金微粒子あるいは白金微粒子を用いる、
ことを特徴とする観察装置。 - 請求項4、又は5記載の観察装置であって、
前記画像演算処理部は、単数または複数の前記斜め照射画像をもとに前記観察試料の立体形状の情報を得る、
ことを特徴とする観察装置。 - 請求項4、又は5記載の観察装置であって、
前記コンデンサーレンズ部は、第1のコンデンサーレンズと、前記第1のコンデンサーレンズより前記観察試料側に置かれた第2のコンデンサーレンズとからなり、
前記走査部は、前記第1コンデンサーレンズと前記第2コンデンサーレンズの間に設置され、前記荷電粒子ビームを傾斜する偏向器を含む、
ことを特徴とする観察装置。
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