JP2007067273A - 圧着機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平板試料1、2を押圧する二体の圧着用平板6、8のうちのいずれか一方に、試料面と接触する領域内に複数本の加圧ピストン11を設け、ウネリ・反り・凹凸などで傾斜している試料面に倣って加圧ピストンにより試料面を押圧できるようにした。
【選択図】図1
Description
本実施例の圧着ユニット10では、圧着用平板であるベースプレート8の内部に複数本の加圧ピストン11が内装されている。本例では、塑性変形が容易な基板2を圧着用ベースプレート8の上に載置している。また、ウネリをもつSiウェーハ1を圧着用平板である上部プレート6に真空チャック(図示せず)により吸着・固定している。Siウェーハ1の接着面にはパタン化されたソルダ(AuSn)パタン層3がある。まず、ガイド機構5で案内しながら、圧着用上部プレート6を下降し、Siウェーハ1と貼付け用の基板2が接触する少し手前で停止させる。
2・・・・・基板
3・・・・・ソルダパタン層
4・・・・・メタルバンプ
5・・・・・ガイド機構
6・・・・・圧着用上部プレート
7・・・・・ヒータ
8・・・・・圧着用ベースプレート
9・・・・・シリンダ
10・・・・・圧着機構
11・・・・・加圧ピストン
12・・・・・ピストンヘッド
13、30・・・・・加圧ライン
20・・・・・可変角ヘッド
21・・・・・可動中心軸線
31・・・・・圧力調整器
32・・・・・自動バルブ
Claims (4)
- 相対して平行配置された二体の圧着用平板の間に2枚の平板試料を配置し、圧着用平板で押圧することにより2枚の平板試料を圧着接合する機構において、一方の前記圧着用平板の少なくとも試料を押圧すべき領域内に複数本の加圧ピストンを設け、平板試料を圧着接合する際には、前記複数本の加圧ピストンの先端面が圧着用の一方の加圧面となって平板試料を押圧して接合することを特徴とする圧着機構。
- 前記複数本の加圧ピストンの先端面と平板試料との間に、変形容易なシートを挿入し、前記シートを介して2枚の平板試料を押圧して接合することを特徴とする請求項1に記載の圧着機構。
- 前記複数本の加圧ピストンの先端部分に可変角ヘッドを設け、前記可変角ヘッドが平板試料に接触した際に、可変角ヘッドは、平板試料面の傾斜角に倣って可変角ヘッド面と加圧ピストンの可動軸線とのなす角度が全方位的に可変できる「アオリ」機構を有することを特徴とする請求項1、2に記載の圧着機構。
- 前記複数本の加圧ピストンの加圧力と加圧するタイミングを各々単独に制御することを特徴とする請求項1、2、3に記載の圧着機構。
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