JP2007047098A - 試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】同一のピン配置を有する複数の被試験デバイスの試験において、ピン配置の設定を変更する。
【解決手段】同一のピン配置を有する複数の被試験デバイスの試験を制御する制御装置と、それぞれが被試験デバイスの端子に対応して設けられた複数のピンリソースとを備える。各ピンリソースは、接続先の端子に試験信号を供給する試験信号供給部と、被試験デバイスのピン番号をそれぞれ記憶する複数のピン割付レジスタと、いずれのピン割付レジスタを選択するかを示す選択情報を記憶する選択レジスタと、選択情報により指定されるピン割付レジスタに記憶されたピン番号を選択する選択部と、制御装置が試験信号供給部へ書込コマンドを発行した場合に書込コマンドで指定されたピン番号が選択されたピン番号と一致するか否かを検出する検出部と、ピン番号が一致することを条件として書込コマンドで指定された書込データを試験信号供給部へ書き込む書込部とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、試験装置に関する。特に本発明は、複数の被試験デバイスを試験する試験装置に関する。

試験装置は、半導体デバイス等の被試験デバイスを複数同時に試験することにより試験を効率化している。試験装置は、複数の被試験デバイスを同時に試験する場合、試験信号の供給ブロックである１つのピンリソースから出力された試験信号を、複数の被試験デバイスの同一端子に供給する。
ここで、試験装置の各ピンリソースには、被試験デバイスの端子が割り付けられる。各ピンリソースは、割り付けられた端子に対応する試験信号を生成し、生成した試験信号を当該端子に供給する。試験装置は、ピンリソースを変更せずに被試験デバイスの種類を切り換える場合、各ピンリソースに割り付けている端子を変更するとともに、各ピンリソースから出力する試験信号の内容を変更する。
また、従来、ハードウェアの構成変更を意識することなくテスタピンを変更するテストシステムが知られている（例えば特許文献１参照。）。
特願平１１−２５６０４９

ところで、複数の被試験デバイスを同時に試験する試験装置は、ピンリソースから試験デバイスの端子までの配線が初期設定で予め定まっており、その配線を変更することは困難である。
このことから、被試験デバイスの種類を切り換える場合、試験装置は、切り換え後の被試験デバイスの端子数が初期設定で定められた端子数以下であれば試験信号供給経路を変更しなくてもよいため、その被試験デバイスを試験できるが、切り換え後の被試験デバイスの端子数が初期設定で定められた端子数を超えていれば試験信号供給経路信号の変更が必要となるため、その被試験デバイスを試験することは非常に困難である。
また、試験装置は、被試験デバイスを切り換える場合、ピンリソースに割り付けられているピン番号を変更しなければならない。しかし、試験装置は、各ピンリソースに対してそれぞれ個別に設定しなければならず処理が煩雑であった。

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

即ち、本発明の第１の形態によると、同一のピン配置を有する複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記複数の被試験デバイスの試験を制御する制御装置と、それぞれが前記被試験デバイスの端子に対応して設けられた複数のピンリソースとを備え、 それぞれの前記ピンリソースは、当該ピンリソースに対応する前記被試験デバイスの端子に接続され、接続先の当該端子に試験信号を供給する試験信号供給部と、当該ピンリソースに接続されうる前記被試験デバイスのピン番号をそれぞれ記憶する複数のピン割付レジスタと、前記制御装置から前記複数のピンリソースに対してブロードキャストされる、いずれの前記ピン割付レジスタを選択するかを示す選択情報を記憶する選択レジスタと、前記複数のピン割付レジスタのうち、前記選択情報により指定される前記ピン割付レジスタに記憶されたピン番号を、当該ピンリソースが接続された端子のピン番号として選択する選択部と、前記制御装置が前記試験信号供給部内のレジスタへの書込コマンドを発行した場合に、前記書込コマンドの一部として指定された書込対象のピン番号が、前記選択部により選択されたピン番号と一致するか否かを検出する検出部と、前記書込対象のピン番号が前記選択部により選択されたピン番号と一致することを条件として、前記書込コマンドにより指定される書込データを前記試験信号供給部内のレジスタへ書き込む書込部とを有する試験装置を提供する。

前記制御装置は、前記複数のピンリソースに対して前記書込コマンドをブロードキャストして、それぞれの前記選択部により同一の前記ピン番号が選択された２以上の前記試験信号供給部内の対応するレジスタに対し同一のレジスタ値を書き込み、前記選択部により同一の前記ピン番号が選択された２以上の前記試験信号供給部は、実質的に同一の前記試験信号を接続先の端子に対して供給してもよい。

前記制御装置は、当該試験装置に接続される前記被試験デバイスの種類に依存しない処理を行う当該試験装置の管理プログラムを実行する場合に、デフォルトのピン番号を記憶したデフォルト用ピン番号レジスタを選択する前記選択情報を前記複数のピンリソースに対してブロードキャストし、当該試験装置に接続される前記被試験デバイスに対応する試験を行う試験プログラムを実行する場合に、前記デフォルト用ピン番号レジスタ以外の、当該被試験デバイスに応じた前記ピン番号レジスタを選択する前記選択情報を前記複数のピンリソースに対してブロードキャストしてもよい。

それぞれの前記デフォルト用ピン番号レジスタは、前記試験プログラムの指示を受けた前記制御装置による書き込みを禁止してもよい。

それぞれの前記ピンリソースは、当該ピンリソースに対応する前記被試験デバイスの端子に接続され、接続先の前記被試験デバイスが接続先の当該端子から出力する出力信号が期待値と一致するか否かを判定する判定部を更に有し、それぞれの前記ピンリソース内の前記検出部は、前記制御装置が当該ピンリソースの前記判定部内のレジスタへの書込コマンドを発行した場合に、前記書込コマンドの一部として指定された書込対象のピン番号が、前記選択部により選択されたピン番号と一致するか否かを検出し、それぞれの前記ピンリソース内の前記書込部は、前記書込対象のピン番号が前記選択部により選択されたピン番号と一致することを条件として、前記書込コマンドにより指定される書込データを前記判定部内のレジスタへ書き込んでもよい。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本発明によれば、同一のピン配置を有する複数の被試験デバイスの試験装置であって、効率的に設定変更する試験装置を提供することができる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。試験装置１０は、同一のピン配置を有する複数の被試験デバイスの試験において、ピン配置の設定変更を行うことができる。
試験装置１０は、半導体デバイス等の複数の被試験デバイス１の試験を制御する制御装置１１と、それぞれが被試験デバイス１の端子に対応して設けられた複数のピンリソース１２とを備え、同一のピン配置を有する複数の被試験デバイス１を試験する。なお、本実施形態では、試験装置１０は、一例として２つのピンリソース１２（１２−１，１２−２）を備えるが、２つのピンリソース１２に限らず複数のピンリソース１２を備えてよい。

制御装置１１は、試験装置１０の全体を制御する。制御装置１１は、ピンリソース１２に対して各種の設定及び制御を行う。具体的には、制御装置１１は、バス１３を介して情報及びコマンドをブロードキャストし、ピンリソース１２内の各種のレジスタに対して各種のデータを書き込むことにより、各ピンリソース１２の動作を制御する。

それぞれのピンリソース１２は、試験信号供給部２１と、複数の判定部２３と、第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の複数のピン割付レジスタ２５−１，２５−２，…，２５−ｎ（以下、総称して説明する場合にはピン割付レジスタ２５という。）と、選択レジスタ２６と、選択部２７と、検出部２８と、書込部２９とを有する。各ピンリソース１２は、当該試験装置１０に接続される被試験デバイス１の端子のピン番号が割り付けられている。各ピンリソース１２は、割り付けられたピン番号に対して試験信号を供給し、また、割り付けられたピン番号からの出力信号を判定する。

試験信号供給部２１は、当該ピンリソース１２に対応する被試験デバイス１の端子に接続され、接続先の端子に試験信号を供給する。また、各試験信号供給部２１は、１又は複数の被試験デバイス１に対して試験信号を供給する。例えば、試験信号供給部２１−１は、被試験デバイス１−Ａ及び被試験デバイス１−Ｃに試験信号を供給し、試験信号供給部２１−２は、被試験デバイス１−Ｂ及び被試験デバイス１−Ｄに試験信号を供給する。試験信号供給部２１は、内部にレジスタ２２を含む。レジスタ２２は、制御装置１１からブロードキャストにより発行された書込コマンドによって指定されたデータが書き込まれる。試験信号供給部２１は、レジスタ２２に書き込まれている情報に従って動作する。

それぞれの判定部２３は、当該ピンリソース１２に対応する被試験デバイス１の端子に接続され、接続先の被試験デバイス１が接続先の端子から出力する出力信号が期待値と一致するか否かを判定する。より具体的には、判定部２３は、被試験デバイス１から出力された出力信号が期待値と同一と判断すれば被試験デバイス１は良品であると判定し、被試験デバイス１から出力された出力信号が期待値と同一ではないと判断すれば被試験デバイス１は不良であると判定する。また、１つのピンリソース１２内には、試験信号供給部２１が試験信号を供給する被試験デバイス１の数と同数の判定部２３が設けられている。各判定部２３は、１つの被試験デバイス１から出力信号が入力され、被試験デバイス１毎に良否を判定する。また、判定部２３は、内部にレジスタ２４を含む。レジスタ２４は、制御装置１１からブロードキャストにより発行された書込コマンドによって情報が書き込まれる。判定部２３は、レジスタ２４に書き込まれている情報に従って動作する。

各ピン割付レジスタ２５は、当該ピンリソース１２に接続されうる被試験デバイス１のピン番号をそれぞれ記憶する。より具体的には、ピン割付レジスタ２５は、接続される被試験デバイス１の種類に対応して、当該ピンリソース１２に割り付けられた被試験デバイス１のピン番号を記憶する。例えば、試験装置１０が第１及び第２の種類の被試験デバイス１を試験する場合において、第１ピン割付レジスタ２５−１は第１種類の被試験デバイス１を測定する場合における当該ピンリソース１２の試験信号の供給先のピン番号を記憶し、第２ピン割付レジスタ２５−２は第２種類被試験デバイス１を測定する場合における当該ピンリソース１２が試験信号を供給するピン番号を記憶する。なお、ピン割付レジスタ２５は、記憶している内容が、制御装置１１により書き換え可能であっても、また少なくとも一つが書き換え禁止であってもよい。

選択レジスタ２６は、制御装置１１から複数のピンリソース１２に対してブロードキャストされる、いずれのピン割付レジスタ２５を選択するかを示す選択情報を記憶する。各ピンリソース１２の各選択レジスタ２６は、選択情報がブロードキャストされて書き込まれることにより、同一の選択情報を記憶する。そして、選択レジスタ２６は、記憶している選択情報を選択部２７に供給する。
選択部２７は、複数のピン割付レジスタ２５のうち、選択情報により指定されるピン割付レジスタ２５に記憶されたピン番号を、当該ピンリソース１２が接続された端子のピン番号として選択する。そして、選択部２７は、選択したピン番号を検出部２８に供給する。

検出部２８は、制御装置１１が試験信号供給部２１内のレジスタ２２への書込コマンドを発行した場合に、書込コマンドの一部として指定された書込対象のピン番号が、選択部２７により選択されたピン番号と一致するか否かを検出する。より具体的には、制御装置１１は、試験信号供給部２１又は判定部２３に対して試験に用いるパラメータ等の設定をする場合、試験信号供給部２１内のレジスタ２２又は判定部２３内のレジスタ２４に書き込む書込データ、及び、書き込み対象となるピンリソース１２を特定するピン番号が指定された書込コマンドをブロードキャストにより発行する。各ピンリソース１２の検出部２８は、制御装置１１から発行された書込コマンドを受け付けると、その書込コマンドに指定されているピン番号と、選択部２７により選択されているピン番号との一致を検出する。検出部２８は、一致を検出しない場合、その書込コマンドを無視する。また、検出部２８は、一致を検出した場合、その書込コマンドが当該ピンリソースを対象とするものであるとして、書込部２９に供給する。

書込部２９は、書込対象のピン番号が選択部２７により選択されたピン番号と一致することを条件として、書込コマンドにより指定される書込データを、書き込み対象となるレジスタ２２又はレジスタ２４へ書き込む。レジスタ内に情報が書き込まれた試験信号供給部２１及び判定部２３は、書き込まれた情報に従って動作する。例えば、試験信号供給部２１は、レジスタ２２内の情報に従って試験信号を生成し、判定部２３は、レジスタ２４内の情報に従って出力信号を判定する。

以上のような試験装置１０によれば、制御装置１１がブロードキャストにより目的のピンリソース１２を指定した書込コマンドを発行することにより、その目的のピンリソース１２の試験信号供給部２１及び判定部２３を書き換えることができる。従って、制御装置１１は、試験信号の供給及び出力信号の判定の各種設定を容易に行うことができる。

さらに、試験装置１０は、被試験デバイスの種類を切り替えることができる。被試験デバイスの種類を切り換える場合、制御装置１１は、各ピンリソース１２の試験信号の供給先の端子及び出力信号を受け付ける端子を変更するとともに、試験信号の内容及びタイミング並びに判定処理の内容をピンリソース１２に対して新たに設定する。

各ピンリソース１２の試験信号の供給先の端子が変更される場合、制御装置１１は、各ピンリソース１２に対して選択情報をブロードキャストにより発行し、各選択レジスタ２６は、内部にその選択情報を記憶する。選択レジスタ２６内の選択情報が変更されると、選択部２７は、選択するピン割付レジスタ２５を変更する。
これによりピンリソース１２は、割り付けられた被試験デバイス１のピン番号を変更する。すなわち、制御装置１１からブロードキャストにより書込コマンドが発行された場合、検出部２８は、被試験デバイスの種類を切り換えた後のピン番号が指定された書込コマンドを通過させて書込部２９に供給する。従って、制御装置１１は、ピンリソース１２に対して、切り換え後の被試験デバイスに対応した試験信号の内容及びタイミング等を設定できる。

また、制御装置１１は、複数のピンリソース１２に対して書込コマンドをブロードキャストして、それぞれの選択部２７により同一のピン番号が選択された２以上の試験信号供給部２１内の対応するレジスタ２２に対し同一のレジスタ値を書き込んでも良い。この場合、選択部２７により同一のピン番号が選択された２以上の試験信号供給部２１は、実質的に同一の試験信号を接続先の端子に対して供給する。例えば、制御装置１１に対して被試験デバイス１−Ａ，１−Ｂ，１−Ｃ，１−Ｄが接続されている場合、ピンリソース１２−１は被試験デバイス１−Ａ，１−Ｃに対して試験信号を供給し、ピンリソース１２−２は１−Ｂ，１−Ｄに試験信号を供給するが、ピンリソース１２−１及びピンリソース１２−２は、被試験デバイス１−Ａ〜１−Ｄの同一ピン番号の端子に実質的に同一の試験信号を出力する。
このように、２以上の試験信号供給部２１が実質的に同一の試験信号を出力して複数の被試験デバイス１を試験することにより、試験装置１０は、比較的に少ない端子を有する多数の被試験デバイスを、配線の変更をせずに、同時に試験をすることができる。

図２は、被試験デバイス１よりも端子数が多い被試験デバイス２（２−Ａ，２−Ｃ）が接続された本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。
端子数が多い被試験デバイス２が接続される場合、制御装置１１は、１つの被試験デバイス２に対して複数のピンリソース１２から試験信号を供給するように、ピンリソース１２に対してピン番号を割り付ける。このようにピン番号が割け付られることにより、試験装置１０は、図１で示した被試験デバイス１が有する端子数よりも、端子数が多い被試験デバイス２に対して試験することができる。

図３は、試験信号を供給しなければならない端子数が１３本の被試験デバイス１が４つ接続された場合における、各ピンリソース１２に対するピン番号の割付を示した図である。図４は、試験信号を供給しなければならない端子数が２６本の被試験デバイス２が２つ接続された場合における、各ピンリソース１２に対するピン番号の割付を示した図である。なお、図３及び図４に示した表の中には、数字とアルファベットの組み合わせが示されているが、数字が割り付けられたピン番号を示し、アルファベットが接続された被試験デバイスのデバイス番号を示している。
例えば、各ピンリソース１２の第１ピン割付レジスタ２５−１は、図３に示したピン番号の割付情報を記憶しており、２つのピンリソース１２で４つの被試験デバイスに対して試験信号を供給している。また、各ピンリソース１２の第２ピン割付レジスタ２５−２は、図４に示したピン番号の割付情報を記憶しており、２つのピンリソース１２で２つの試験デバイスに対して試験信号を供給している。試験装置１０は、このように記憶がされたピン割付レジスタ２５を切り換えるだけで被試験デバイスの変更に対応することができる。

図５は、本実施形態の変形例に係る試験装置４０の構成を示す。
本変形例に係る試験装置４０は、制御装置１１と、複数のピンリソース１２を備え、同一のピン配置を有する複数の被試験デバイス１を、同時に試験する。ピンリソース１２は、試験信号供給部２１と、複数の判定部２３と、第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の複数のピン割付レジスタ２５−１，２５−２，…，２５−ｎと、選択レジスタ２６と、選択部２７と、検出部２８と、書込部２９と、デフォルト用ピン割付レジスタ４１とを有する。なお、試験装置４０における試験装置１０と同一の機能及び構成を取る要素は、図面中に同一の符号を付けてその詳細な説明を省略する。試験装置４０は、以下、試験装置１０との相違点について説明をする。

デフォルト用ピン割付レジスタ４１は、複数のピン割付レジスタ２５と並列的に設けられている。選択部２７は、デフォルト用ピン割付レジスタ４１及び複数のピン割付レジスタ２５のうち、選択情報により指定されるピン割付レジスタ２５に記憶されたピン番号を、当該ピンリソース１２が接続された端子のピン番号として選択する。デフォルト用ピン割付レジスタ４１は、試験装置を管理するための管理プログラムを実行する場合のデフォルトのピン番号を記憶している。
制御装置１１は、当該制御装置１１に接続される被試験デバイス１に対応する試験を行う試験プログラムを実行する場合に、デフォルト用ピン番号レジスタ以外の、当該被試験デバイス１に応じたピン割付レジスタ２５を選択する選択情報を複数のピンリソース１２に対してブロードキャストする。これにより、制御装置１１は、被試験デバイス１を試験する場合に、複数のピンリソース１２に対してピン番号の割付ができる。

また、制御装置１１は、当該制御装置１１に接続される被試験デバイス１の種類に依存しない処理を行う当該試験装置の管理プログラムを実行する場合に、デフォルトのピン番号を記憶したデフォルト用ピン割付レジスタ４１を選択する選択情報を複数のピンリソース１２に対してブロードキャストする。管理プログラムは、例えば、当該試験装置１０を自己診断する診断プログラム、当該試験装置１０を初期化するプログラム及び当該試験装置１０を校正するキャリブレーションプログラム等である。これにより制御装置１１は、各種の被試験デバイスに対して試験をすることによって設定が変更された場合であっても、速やかにピンリソースの割付をしてデフォルトに戻した状態で診断、初期化及びキャリブレーション等をすることができる。

なお、デフォルト用ピン割付レジスタ４１は、ＲＡＭであってよい。また、これに代えて、デフォルト用ピン割付レジスタ４１のみＲＯＭであってよい。ＲＯＭにすることにより、試験装置１０は、デフォルト用ピン割付レジスタ４１が誤消去等されることによりデフォルトの設定に戻せなくなる等の事態を回避できる。また、他の例として、試験装置１０は、ユーザプログラムによるデフォルト用ピン割付レジスタ４１に対する書き込みを禁止してもよい。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

試験対象として被試験デバイス１が接続された実施形態に係る試験装置１０の全体構成を示す。 試験対象として被試験デバイス２が接続された実施形態に係る試験装置１０の全体構成を示す。 被試験デバイス１が接続された場合のピンリソース及び判定部に割り付けられるピン番号を示す。 被試験デバイス２が接続された場合のピンリソース及び判定部に割り付けられるピン番号を示す。 本実施形態の変形例に係る試験装置４０の構成を示す。

符号の説明

１ 被試験デバイス
２ 被試験デバイス
１０ 試験装置
１１ 制御装置
１２ ピンリソース
１３ バス
２１ 試験信号供給部
２２ レジスタ
２３ 判定部
２４ レジスタ
２５ ピン割付レジスタ
２６ 選択レジスタ
２７ 選択部
２８ 検出部
２９ 書込部
４０ 試験装置
４１ デフォルト用ピン割付レジスタ

Claims (5)

1. 同一のピン配置を有する複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   前記複数の被試験デバイスの試験を制御する制御装置と、
   それぞれが前記被試験デバイスの端子に対応して設けられた複数のピンリソースと
   を備え、
   それぞれの前記ピンリソースは、
   当該ピンリソースに対応する前記被試験デバイスの端子に接続され、接続先の当該端子に試験信号を供給する試験信号供給部と、
   当該ピンリソースに接続されうる前記被試験デバイスのピン番号をそれぞれ記憶する複数のピン割付レジスタと、
   前記制御装置から前記複数のピンリソースに対してブロードキャストされる、いずれの前記ピン割付レジスタを選択するかを示す選択情報を記憶する選択レジスタと、
   前記複数のピン割付レジスタのうち、前記選択情報により指定される前記ピン割付レジスタに記憶されたピン番号を、当該ピンリソースが接続された端子のピン番号として選択する選択部と、
   前記制御装置が前記試験信号供給部内のレジスタへの書込コマンドを発行した場合に、前記書込コマンドの一部として指定された書込対象のピン番号が、前記選択部により選択されたピン番号と一致するか否かを検出する検出部と、
   前記書込対象のピン番号が前記選択部により選択されたピン番号と一致することを条件として、前記書込コマンドにより指定される書込データを前記試験信号供給部内のレジスタへ書き込む書込部と
   を有する試験装置。
2. 前記制御装置は、前記複数のピンリソースに対して前記書込コマンドをブロードキャストして、それぞれの前記選択部により同一の前記ピン番号が選択された２以上の前記試験信号供給部内の対応するレジスタに対し同一のレジスタ値を書き込み、
   前記選択部により同一の前記ピン番号が選択された２以上の前記試験信号供給部は、実質的に同一の前記試験信号を接続先の端子に対して供給する
   請求項１に記載の試験装置。
3. 前記制御装置は、
   当該試験装置に接続される前記被試験デバイスの種類に依存しない処理を行う当該試験装置の管理プログラムを実行する場合に、デフォルトのピン番号を記憶したデフォルト用ピン番号レジスタを選択する前記選択情報を前記複数のピンリソースに対してブロードキャストし、
   当該試験装置に接続される前記被試験デバイスに対応する試験を行う試験プログラムを実行する場合に、前記デフォルト用ピン番号レジスタ以外の、当該被試験デバイスに応じた前記ピン番号レジスタを選択する前記選択情報を前記複数のピンリソースに対してブロードキャストする
   請求項１に記載の試験装置。
4. それぞれの前記デフォルト用ピン番号レジスタは、前記試験プログラムの指示を受けた前記制御装置による書き込みを禁止する
   請求項３に記載の試験装置。
5. それぞれの前記ピンリソースは、当該ピンリソースに対応する前記被試験デバイスの端子に接続され、接続先の前記被試験デバイスが接続先の当該端子から出力する出力信号が期待値と一致するか否かを判定する判定部を更に有し、
   それぞれの前記ピンリソース内の前記検出部は、前記制御装置が当該ピンリソースの前記判定部内のレジスタへの書込コマンドを発行した場合に、前記書込コマンドの一部として指定された書込対象のピン番号が、前記選択部により選択されたピン番号と一致するか否かを検出し、
   それぞれの前記ピンリソース内の前記書込部は、前記書込対象のピン番号が前記選択部により選択されたピン番号と一致することを条件として、前記書込コマンドにより指定される書込データを前記判定部内のレジスタへ書き込む
   請求項１に記載の試験装置。

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