JP2007038205A - 濾過装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 金属フィルタやセラミックフィルタでなる筒状のフィルタを用いた濾過装置において、逆洗を極めて短時間で行う。
【解決手段】 濾過装置１０の原液供給室Ｒ１には、原液配管Ｌ１により、原液（金属粉等が混入した研削液等）が、常時（濾過時のみならず逆洗時にも）供給されている。濾過処理時には、バルブＶ３を開、バルブＶ２，Ｖ４を閉とする。このため、原液Ｗ１はフィルタ１１を透過して濾過され、濾過液Ｗ２は、貯液室Ｒ２及び濾過配管Ｌ３を介して吐出される。汚濁物は、外殻１２の下部に沈澱する。逆洗処理時には、バルブＶ２，Ｖ４を開、バルブＶ３を閉とする。このため、エアーＡが貯液室Ｒ２に入り、濾過液Ｗ２がフィルタ１１の内周側から外周側に吹き出る。また同時に、原液Ｗ１が急激に原液供給室Ｒ１に入って逆洗液排出配管Ｌ４から排出される。このため、フィルタ１１の外周面に付着した汚濁物（金属粉等）が、短時間で剥離・除去される。
【選択図】 図１

Description

本発明は筒状のフィルタを用いた濾過装置に関し、汚濁物が混入した各種の液体を効果的に濾過すると共に、複数のバルブが特殊な連係動作にしたがって開閉動作をすることにより、効果的な逆洗を可能にしつつ逆洗時間を極短縮化したものである。
汚濁物が混入した液体の一例としては、例えば、研削液や切削液などの加工液に金属粉などが混入している液体などがある。

本発明の濾過装置では、濾過処理時のみならず逆洗処理時においても、当該濾過装置への汚濁液（原液）の供給（ポンプ送給）を停止することなく汚濁液の供給を行っている。
かかる本発明の濾過装置は、汚濁液の常時供給と、複数のバルブの特殊な連係動作による開閉動作とにより、逆洗時間が極めて短時間でありながらフィルタの目詰まり状態を確実・迅速に解消することができ、しかも、汚濁液を濾過処理した清浄な液体を殆ど停止することなく吐出することができるものである。

研削加工をする場合には、加工部分に研削液をかけながら研削加工を行っている。このように研削液をかけながら研削加工を行うことにより、潤滑性や、冷却性能や、仕上げ精度を向上させる効果を得ている。
切削加工においても、同様に、切削抵抗低減や、工具の高寿命化や、冷却効果を得るために、切削加工部分に切削液をかけながら、切削加工を行っている。
なお、このような研削液や切削液等の加工液としては、水溶性のものと、油性のものとがある。

このような研削液や切削液など、工作機械による加工の際に潤滑や冷却等のために用いる加工液は、加工処理に供されると、金属粉や砥粒等が混入してくる。そこで、加工処理後の加工液を濾過処理し、金属粉や砥粒等を濾過・排除し、濾過後の清浄な加工液を再び工作機械の加工部分にかけるようにしている。
つまり、使用後の加工液を廃棄することなく循環使用している。

工作機械での加工処理に供された使用後の加工液を清浄に戻すように濾過する手法としては、従来から各種の手法がある。以下に従来の各種の濾過手法を説明する。

（１）マグネットローラを用いた手法。この手法では、貯溜槽に使用後の加工液を溜め、この貯溜装置内においてマグネットローラにより金属粉を磁着するものである。

（２）ペーパーフィルタを用いた手法。この手法では、使用後の加工液をペーパー（紙）フィルタに透過させることにより濾過するものである。

（３）液体サイクロンを用いた手法。この手法では、液体サイクロンにより、金属粉等と加工液とを分級して、金属粉等を取り除くものである。

（４）バグフィルタを用いた手法。この手法では、繊維の袋の中に、使用後の加工液を入れて濾過するものである。

（５）筒状のフィルタを用いた手法。この手法では、積層金網を筒状に形成し焼結してなる多孔質の金属フィルタや、セラミックを筒状に形成してなるセラミックフィルタなど、濾過や逆洗の際の液圧によっては形状変化しない程度の剛性を持つ筒状のフィルタを用いる（例えば特許文献１参照）。
濾過をする際には、筒状のフィルタの外周側に、使用後の加工液をポンプにより供給し、この加工液が、筒状のフィルタの外周面側から内周面側に透過することにより濾過をする。

濾過作業を一定時間行うと、筒状のフィルタの外周面に金属粉等の汚濁物が付着し、このフィルタを透過する加工液量（濾過液量）が極めて少なくなり、濾過処理ができなくなる。
このときには、既に濾過した清浄な加工液を、筒状のフィルタの内周側に圧送して、清浄な加工液をフィルタ内周側から外周側に噴射することにより逆洗をして、付着した汚濁物を除去している。この逆洗時には、逆洗によるフィルタ機能回復を確実に行うため、使用後の加工液をフィルタに供給するポンプは当然のことながら停止している。この逆洗処理をしてフィルタ機能を回復するには、数分〜数十分が必要であった。したがって、この逆洗時には、濾過作業は一旦停止することになり、濾過済みの清浄な加工液の吐出はできない。

特開２００１−３５３６４０

ところでマグネットローラを用いた手法では、鉄分（磁性体）の除去は可能であるが、砥粒や非磁性体からなる汚濁物の除去はできない。

またペーパーフィルタを用いた手法では、紙で濾過をするため、紙のコストが高い。また、濾過処理をすると汚れたペーパーフィルタ自体が廃棄物となり、その処理に手間とコストが係る。更に、このペーパーフィルタを用いた濾過装置は装置構成が大きい。

液体サイクロンを用いた手法では、液中の小さい粒径と大きい粒径のものを分離するものであるため、濾過精度が悪い。

バグフィルタを用いた手法では、フィルタの目詰まりが頻繁に発生しフィルタ交換の手間がかかる、またフィルタ交換時に、濾過装置の運転を停止しなければならない。濾過装置の運転を停止すると、工作機械への加工油の供給が停止してしまうため、交換時には、工作機械を停止するか、または、濾過後の清浄な加工液を多量に溜めることができる貯溜槽を設けておき、フィルタ交換時には、この貯溜槽に溜めていた清浄な加工液を工作機械に供給するようにしておかなければならない。

筒状のフィルタを用いた手法では、フィルタの目詰まりが発生したときに逆洗することにより、フィルタ機能の回復を図っているが、逆洗に長い時間がかかる。これは、清浄な加工液をフィルタ内周側から外周側に圧送・噴射する逆洗流による汚濁物の剥離作用のみで、汚濁物を除去するためである。また、汚濁物が、フィルタ表面に均一に付着していない場合には、付着量が少ない部分で汚濁物が剥離されると、この剥離部分に集中して清浄な加工液が流通し、他の付着量が多い部分の汚濁物は剥離されない現象も生ずることがある。
このように逆洗処理に時間がかかり、この逆洗時には清浄な加工液を濾過装置から工作機械に向かって吐出することができないため、工作機械を停止するか、または、濾過後の清浄な加工液を多量に溜めることができる貯溜槽を設けておき、逆洗時には、この貯溜槽に溜めていた清浄な加工液を工作機械に供給するようにしておかなければならない。

しかし、逆洗時に工作機械を停止してしまったのでは、工作機械の稼働効率が低下してしまうという問題が発生する。また、濾過後の清浄な加工液を多量に溜めることができる貯溜槽を設けるようにした場合には、この貯溜槽を含めた濾過装置が大型化してしまうという問題がある。

本発明は、上記従来技術に鑑み、汚濁物が混入している液体、例えば、金属粉などが混入している研削液や切削液などの加工液（原液）を、効果的に濾過することができると共に、逆洗時においても、当該濾過装置への加工液（原液）の供給（ポンプ送給）を停止することなく加工液の供給を行い、極めて短時間で逆洗処理をしてフィルタの目詰まり状態を確実・迅速に解消することができる濾過装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の構成は、
筒状をなすフィルタと、
前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成する外殻と、
前記フィルタの内部空間に連通し、前記フィルタを透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
前記外殻に接続された逆洗液排出配管と、
前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
を有することを特徴とする。

また本発明の構成は、
筒状をなすと共に一端面が閉塞したフィルタと、
前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成する外殻と、
前記フィルタの他端面に連通し、前記フィルタを外周面側から内周面側に透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
濾過処理時のみならず逆洗処理時においても原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
前記外殻に接続された逆洗液排出配管と、
前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
を有することを特徴とする。

また本発明の構成は、
筒状をなすと共に一端面が閉塞したフィルタと、
前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成する外殻と、
前記フィルタの他端面に連通し、前記フィルタを外周面側から内周面側に透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
前記フィルタの外周面を囲う状態で前記原液供給室に配置されており、一端側が開口している布材と、
前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
前記外殻に接続された逆洗液排出配管と、
前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
を有することを特徴とする。

また本発明の構成は、
筒状をなすと共に下端面が閉塞したフィルタと、
前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成すると共に、下端面が開放した外殻と、
前記フィルタの上端面に連通し、前記フィルタを外周面側から内周面側に透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
前記外殻の下部が上方から挿通されており、内部に沈澱室を形成する沈澱タンクと、
濾過処理時のみならず逆洗処理時においても原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
前記外殻に接続された逆洗液排出配管と、
前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
を有することを特徴とする。

また本発明の構成は、
筒状をなすと共に下端面が閉塞したフィルタと、
前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成すると共に、下端面が開放した外殻と、
前記フィルタの上端面に連通し、前記フィルタを外周面側から内周面側に透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
前記外殻の下部が上方から挿通されており、内部に沈澱室を形成する沈澱タンクと、
捕捉ネットを備えた捕捉装置と、
濾過処理時のみならず逆洗処理時においても原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
前記沈澱タンクのうち前記外殻の下端面よりも上方位置に接続されると共に、前記沈澱タンクから原液を排出させて前記捕捉ネットの外周面に向かって吹き付ける逆洗液排出配管と、
前記沈澱タンクの下部と前記捕捉ネットの内部とを接続すると共にドレイン用バルブが介装されており、このドレイン用バルブが開となったときに、原液と共に前記沈澱タンクの下部に沈澱した汚濁物を前記捕捉ネット内に排出するドレイン配管と、
前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
を有することを特徴とする。

また本発明の構成は、
前記捕捉装置は、軸方向が鉛直方向となるように立て置き配置した捕捉筒内に、前記捕捉ネットを備えた構造となっており、
前記逆洗液排出管は、前記捕捉筒の内周面に沿う方向に原液を吹き出して、原液を前記捕捉筒の内周面及び前記捕捉ネットの外周面に沿い螺旋状に流すことを特徴とする。

また本発明の構成は、
前記外殻の下端部は、外殻の他の部分よりも径を絞った絞り部となっていることを特徴とする。

また本発明の構成は、
前記フィルタは、金網により形成した金属フィルタであることを特徴とする濾過装置。

また本発明の構成は、
前記原液配管は、供給されてきた原液を前記原液供給室の周方向に沿って噴出するように、前記外殻に接続されていることを特徴とする。

また本発明の構成は、
前記原液配管は、供給されてきた原液を前記フィルタの外周面に向けて噴出するように、前記外殻に接続されていることを特徴とする。

また本発明の構成は、
前記原液配管に、濾過処理時のみならず逆洗処理時においても前記原液を供給する液送ポンプを備えていることを特徴とする。

また本発明の構成は、
前記エアー供給用バルブと、前記濾過用バルブと、前記逆洗液排出用バルブの開閉制御をする制御盤を有しており、
この制御盤は、
濾過処理時には、前記エアー供給用バルブを閉とし、前記濾過用バルブを開とし、前記逆洗液排出用バルブを閉とする濾過処理時の開閉制御動作を行い、
逆洗処理時には、前記エアー供給用バルブを予め決めた短時間だけ開としてから閉に戻し、前記濾過用バルブを予め決めた短時間だけ閉としてから開に戻し、前記逆洗液排出用バルブを予め決めた時間だけ開としてから閉に戻すという開閉制御動作を同期して行う逆洗処理時の開閉制御動作を行い、
前記逆洗処理時の開閉制御動作を、予め決めた設定時間間隔ごとに行い、残りの期間では、前記濾過処理時の開閉制御動作を行うことを特徴とする。

また本発明の構成は、
前記原液は、加工液に金属粉が混入している液体であることを特徴とする。

本発明によれば、逆洗をする際には、原液を濾過供給室に供給しつつ、エアー供給配管に介装されたエアー供給用バルブを開とし、濾過配管に介装された濾過用バルブを閉とし、逆洗液排出配管に介装した逆洗液排出用バルブを開とするため、濾過液がフィルタの内周面側から外周面側に吹き出ることと、多量の原液が原液供給室に急激に流入してフィルタの表面に作用することが、同時に行われる。この結果、フィルタから汚濁物を極短時間で確実に取り除くことができる。

以下に本発明を実施するための最良の形態を、実施例に基づき詳細に説明する。

本発明の実施例１にかかる濾過装置１０を、図１を参照して説明する。
図１に示すように、本実施例では濾材として筒状のフィルタ１１を用いている。フィルタ１１としては、積層金網を筒状に形成し焼結して形成されている多孔質の金属フィルタや、金属製ワイヤーを筒形に形成した金網をサポートロッドに溶接して構成されており金属製ワイヤー相互間にスリットが形成されている金属フィルタや、セラミックを筒状に形成してなるセラミックフィルタなどを使用することができる。また筒状の糸巻フィルタを用いることもできる。

このフィルタ１１は、下端面（一端面）が閉塞板１１ａにより閉塞され、上端面（他端面）が開放している。このフィルタ１１は、剛性を有しており、後述する濾過処理や逆洗処理の際の液圧によっては形状変化しない。本例ではフィルタ１１として金属フィルタを用いた。なお、セラミックフィルタや糸巻フィルタを用いることもできる。

外殻１２はフィルタ１１を囲う状態で配置されている。このため、外殻１２の内周面と、フィルタ１１の外周面との間に、原液供給室Ｒ１が形成される。外殻１２は、そのフランジ部１２ａにより、フィルタ１１の上端部を支持している。また、外殻１２の下部は、下方に向かうに従い径が絞られた漏斗形状になっている。

貯液タンク１３は、そのフランジ部１３ａが、外殻１２のフランジ部１２ａに取り付けられている。この貯液タンク１３は、フィルタ１１の上端面に連通しており、貯液タンク１３内の貯液室Ｒ２が、フィルタ１１の内部空間に連通している。

原液配管Ｌ１は外殻１２に接続されている。工作機械の加工処理に供されて金属粉等の汚濁物が混入している研削液や切削液などの加工液（以降、このような汚濁物が混入している加工液を「原液Ｗ１」と称する）は、図示しない液送ポンプにより、原液配管Ｌ１に送り込まれる。このため、原液Ｗ１は原液配管Ｌ１を通って原液供給室Ｒ１内に供給される。なお加工液としては、水溶性または油性のものがある。

原液Ｗ１を供給する液送ポンプは、後述する濾過処理の際にも逆洗処理の際にも、停止することなく、原液Ｗ１の送給を行う。このように、濾過処理の際のみならず、逆洗処理の際にも、原液供給をすることが、本装置の特徴の一つである。

なお図２に示すように、原液配管Ｌ１は、供給されてきた原液Ｗ１を、原液供給室Ｒ１の周方向に沿って噴出するように、外殻１２に接続している。
または、図３に示すように、原液配管Ｌ１は、供給されてきた原液Ｗ１を、フィルタ１１の外周面に向けて噴出するように、外殻１２に接続していてもよい。

図１に戻り説明をすると、エアー供給用バルブ（電磁弁）Ｖ２が介装されたエアー供給配管Ｌ２は、貯液タンク１３の上部に接続されている。このエアー供給配管Ｌ２は、貯液タンク１３と図示しない圧縮空気源（圧縮空気ポンプ）とを接続するものであり、圧縮空気源（圧縮空気ポンプ）は圧縮空気Ａを吐出する。

エアー供給用バルブＶ２は、制御盤１５の開閉制御により、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間（例えば０．５秒間）だけ開となる。このためエアー供給用バルブＶ２が開となると、圧縮空気Ａがエアー供給配管Ｌ２を介して、貯液タンク１３の貯液室Ｒ２内に供給される。

濾過用バルブ（電磁弁）Ｖ３が介装された濾過配管Ｌ３は、貯液タンク１３の上部に接続されている。
なお図１の例では、貯液タンク１３の近くにおいて、この濾過配管Ｌ３とエアー供給配管Ｌ２が、共通の１本の共用配管となっているが、貯液タンク１３の近くであっても、濾過配管Ｌ３とエアー供給配管Ｌ２とを別々の独立の配管としてもよい。

濾過用バルブＶ３は、制御盤１５の開閉制御により、濾過処理時には開となり、逆洗処理時には予め決めた短時間（例えば０．５秒間）だけ閉となる。

逆洗液排出用バルブ（電磁弁）Ｖ４が介装された逆洗液排出配管Ｌ４の基端は、外殻１２の下端部に接続されている。逆洗液排出配管Ｌ４の先端は、原液を貯溜する原液槽の内部空間、または、汚濁物（金属粉等）を捕捉する捕捉ネットの内部空間に位置している。
逆洗液排出用バルブＶ４は、制御盤１５の開閉制御により、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間（例えば０．５秒間）だけ開となる。

上記構成となっている濾過装置１０の動作を、濾過処理時と逆洗処理時に分けて説明する。なお、濾過処理時の液体の流れを図１中で実線の矢印で示し、逆洗処理時の液体及び空気の流れを図１中で点線の矢印で示している。

濾過処理時の動作を説明する。濾過処理時には、図示しない液送ポンプが作動して、原液Ｗ１が原液配管Ｌ１に送り込まれ、原液Ｗ１は原液配管Ｌ１を通って原液供給室Ｒ１内に供給される。
また、制御盤１５の開閉制御により、バルブＶ３は開とされるが、バルブＶ２，Ｖ４は閉とされる。

このため、原液供給室Ｒ１に供給・充満された原液Ｗ１は、フィルタ１１を外周側から内周側に透過していく。フィルタ１１を透過していくことにより、金属粉や砥粒等の汚濁物はフィルタ１１により濾過・除去され、汚濁物が濾過・除去された清浄な加工液（以降、このように汚濁物が濾過・除去された加工液を「濾過液Ｗ２」と称する）が、フィルタ１１の内部空間に入る。

フィルタ１１により濾過された濾過液Ｗ２は、フィルタ１１の内部空間および、このフィルタ１１に連通した貯液室Ｒ２を満たす。さらに、濾過液Ｗ２は貯液室Ｒ２から濾過配管Ｌ３を介して吐出される。吐出された濾過液Ｗ２は、工作機械の加工部にかけられる。

工作機械の加工部にかけられて金属粉等が混入した加工液（原液）は、一旦、貯溜されてから液送ポンプにより再び原液配管Ｌ１に送り込まれる。

フィルタ１１により除去された汚濁物（金属粉等）は、フィルタ１１の外周面に付着したり、外殻１２の下方に沈降して沈澱する。

次に逆洗処理時の動作を説明する。
上述したようにして濾過処理をすると、フィルタ１１に汚濁物が付着してきて、いわゆる「目詰まり」状態となり、フィルタ１１を透過する液量が、予め規定した規定量よりも低減してくる。
フィルタ１１に汚濁物が付着していない状態から、汚濁物が付着してきてフィルタ１１を透過する液量が規定液量よりも少なくなる（目詰まり状態となる）までの「時間」は、フィルタ１１の性能や原液Ｗ１の汚濁状態等によって決まってくる。そこで、この「時間」を「設定時間」として制御盤１５に設定しておく。

制御盤１５では、上述した「設定時間」間隔ごと（例えば５分毎）に、逆洗処理をする。
つまり、制御盤１５では、濾過開始時点（または前回の逆洗処理完了時点）から、上述した設定時間が経過すると、次に示す（１）〜（３）のバルブ開閉制御動作を同時に同期して行う。なお、原液配管Ｌ１には、濾過時と同じく逆洗処理時にも、液送ポンプから原液Ｗ１が送り込まれている。
（１）エアー供給用バルブＶ２を開とし、開とした時点から予め決めた短時間（例えば０．５秒）経過したら、エアー供給用バルブＶ２を閉に戻す。この短時間（例えば０．５秒間）が逆洗処理期間である。
（２）濾過用バルブＶ３については、エアー供給用バルブＶ２を開とした時点で閉とし、エアー供給用バルブＶ２を閉とした時点で開に戻す。
（３）逆洗液排出用バルブＶ４については、エアー供給用バルブＶ２を開とした時点で開とし、エアー供給用バルブＶ２を閉とした時点で閉に戻す。

逆洗処理のために、バルブＶ２，Ｖ４を開とし、バルブＶ３を閉とすると、圧縮空気源（圧縮空気ポンプ）から圧送された圧縮空気Ａが、エアー供給配管Ｌ２を通って貯液タンク１３の貯液室Ｒ２の上部に、急激に供給される。このため、貯液タンク１３に貯溜されていた濾過液Ｗ２がフィルタ１１の内部空間に急圧送され、濾過液Ｗ２がフィルタ１１の内周面側から外周面側に吹き出る。

貯液タンク１３に貯溜されていた濾過液Ｗ２がフィルタ１１の内部空間に急圧送され、濾過液Ｗ２がフィルタ１１の内周面側から外周面側に吹き出るタイミング期間では、逆洗液排出用バルブＶ４が開となっているため、外筒１２内の原液Ｗ１は、逆洗液排出配管Ｌ４に向かって押し出される。逆洗液排出配管Ｌ４から排出された原液Ｗ１は、原液槽に戻されたり、捕捉ネット内に流出されたりする。このとき、外殻１２の下部に沈殿していた汚濁物（金属粉等）は、原液Ｗ１と共に流されて、原液槽に戻されたり、捕捉ネットで捕捉されたりして、外殻１２の外部に排出される。

このように、濾過液Ｗ２がフィルタ１１の内周面側から外周面側に吹き出ると同時に、この吹き出し量に応じて原液供給室Ｒ１内の原液Ｗ１が逆洗液排出配管Ｌ４に流れ込むため、フィルタ１１の内周面側から外周面側への濾過液Ｗ２の吹き出しは、低抵抗な状態で良好に行われる。この濾過液Ｗ２のフィルタ内周面側から外周面側への吹き出しにより、フィルタ１１の外周面等に付着した汚濁物が膨潤したり軟化したりすると共に、汚濁物がフィルタ１１の外周面から浮き上がったり剥離したりする。

なお、圧縮空気Ａは、貯液タンク１３の上部から中間部分位にまで供給されるが、貯液タンク１３の下部やフィルタ１１に入る程には供給する必要はない。つまり、貯液タンク１３に貯溜されていた濾過液Ｗ２の一部が、フィルタ１１の内部空間に急圧送される程度に、圧縮空気が供給されれば十分である。
また、貯液タンク１３の容量は小さくても十分である。これは、フィルタ１１の内周面側から外周面側への濾過液Ｗ２の吹き出しができる程度の量の濾過液Ｗ２を、貯液タンク１３に貯溜しておくだけで済むからである。

原液配管Ｌ１から原液供給室Ｒ１には、原液Ｗ１が継続して供給されている。濾過処理時には、フィルタ１１を通過して濾過されるため、この濾過による濾過抵抗の作用により、原液供給室Ｒ１への原液Ｗ１の供給量は規制されてしまう。しかし、逆洗処理時には逆洗液排出用バルブＶ４が開状態となり、原液供給室Ｒ１内の原液Ｗ１は逆洗液排出配管Ｌ４を介して外部空間に低抵抗で排出できる。
この結果、逆洗処理時には、原液配管Ｌ１から原液供給室Ｒ１に向かって、多量の原液Ｗ１が急激に流入することができる。

このように、原液供給室Ｒ１に急激に流入した原液Ｗ１が、フィルタ１１の表面から浮き上がったり剥離したり、膨潤したり軟化した汚濁物を、巻き込んだり、削り取ったりして、フィルタ１１から取り除いていく。したがって、フィルタ１１に不均一に汚濁物が付着していたとしても、また多量の汚濁物が付着していたとしても、原液供給室Ｒ１に急激に流入した原液Ｗ１により汚濁物をフィルタ１１から取り除くことができる。

つまり、
（１）濾過液Ｗ２がフィルタ１１の内周面側から外周面側に吹き出ることと、
（２）多量の原液Ｗ１が原液供給室Ｒ１に急激に流入してフィルタ１１の表面に作用することが、
（３）同時に行われる
という相乗効果により、フィルタ１１から汚濁物が迅速に取り除かれるのである。

このように、濾過液Ｗ２をフィルタ１１の内周面側から外周面側に吹き出させることと、多量の原液Ｗ１を原液供給室Ｒ１に急激に流入させることを、同時に行うことが、本装置の特徴の一つである。かかる動作は、原液Ｗ１を原液供給室Ｒ１に流入させつつ、バルブＶ２，Ｖ４を開とし、バルブＶ３を閉とするバルブ開閉動作を同期して同時に行うことにより実現できる。

なお、濾過液Ｗ２をフィルタ１１の内周面側から外周面側に吹き出すようにしただけでは、汚濁物を短時間で確実に除去することはできない。このことは、実験により確認している。

逆洗時において、図２に示すように、原液Ｗ１が原液供給室Ｒ１の周方向に沿い噴出されると、原液Ｗ１は原液供給室Ｒ１内を旋回流として渦巻くため、この旋回流となった原液Ｗ１の渦巻き力によりフィルタ１１から汚濁物をより確実に取り除くことができる。
また図３に示すように、原液Ｗ１がフィルタ１１に向かって噴射されると、原液Ｗ１が直接的にフィルタ１１に衝突し、この原液Ｗ１の衝突力によりフィルタ１１から汚濁物をより確実に取り除くことができる。

このようにしてフィルタ１１の外周面等から取り除かれた汚濁物（金属粉等）は、沈降して外殻１２の下部に沈澱する。

この逆洗処理は、極めて短時間（例えば０．５秒間）である。したがって、この逆洗処理期間において、濾過用バルブＶ３は閉とされるが、逆洗処理が完了したら（逆洗開始から０．５秒経過したら）、濾過用バルブＶ３は直ちに開に戻る。このため、濾過配管Ｌ３を介して流通し吐出する濾過液Ｗ２は、濾過用バルブＶ３の位置で瞬間的（０．５秒間）に流通が遮断されるが、濾過配管Ｌ３の全長にわたり濾過液Ｗ２が充満して流通しているため、濾過配管Ｌ３の出口では、連続的に濾過液Ｗ２が吐出される。つまり、０．５秒程度だけ流通が瞬時的に遮断されても、濾過液Ｗ２が濾過配管Ｌ２を流れていく途中で、充満している濾過液Ｗ２が、流通遮断により流量が無い（または少ない）部分にも流れこんでいくため、濾過配管Ｌ２の出口では、連続して濾過液Ｗ２が吐出されてくるのである。

したがって、連続して加工作業をしている工作機械の加工部に、濾過配管Ｌ３から吐出した濾過液Ｗ２を直接かけるようにすることができる。これは、逆洗処理をしても、濾過配管Ｌ３から連続して濾過液Ｗ２を吐出することができるからである。
もちろん、濾過配管Ｌ３から吐出した濾過液Ｗ２を、一旦、クリーンタンクに貯溜し、このクリーンタンクから取り出した濾過液Ｗ２を工作機械の加工部にかけるようにしてもよい。

なお上記例では、逆洗処理期間を０．５秒としたが、この逆洗処理期間は、フィルタ１１の特性、原液Ｗ１の汚濁状態、濾過装置１０の寸法、バルブの応答性能、逆洗処理周期によって、適宜変更することができる。現実的には、逆洗処理期間の最短時間は、バルブの応答性能により規制されるため０．２秒程度であり、逆洗処理期間の最長時間は、濾過液を連続的に吐出する要求から３秒程度となる。

このように実施例１の濾過装置１０では、原液Ｗ１、即ち、金属粉等が混入している研削液や切削液などの加工液を、効率的に濾過することができ、しかも、貯液タンク１３が小さくて済むため、装置の小型化を図ることができる。
更に、逆洗を効率的に行うことができると共に、逆洗処理期間が極めて短いので、濾過済みの濾過液を連続的に吐出することができる。
特に、逆洗処理期間が極めて短いにもかかわらず、確実な逆洗処理ができることが、本装置の大きな特長であり、この特長は、逆洗処理期間において、原液Ｗ１を原液供給室Ｒ１に流入させつつ、バルブＶ２，Ｖ４を開とし、バルブＶ３を閉とするバルブ開閉動作を同期して同時に行うことにより実現している。

なお実施例１では、貯液タンク１３を、フィルタ１１の上端面に連通し、貯液室Ｒ２とフィルタ内部空間を直接的に連通しているが、フィルタ内部空間と貯液室Ｒ２とを、管などにより接続するような構成にしてもよい。
また、フィルタを外周面側から内周面側に透過して清浄となった濾過液を、フィルタの両端面側から取り出して、貯液タンクの貯液室に送るような構成としてもよい。
更に、図１では、フィルタや外殻の軸芯が垂直方向になるようにフィルタや外殻を立て置き配置したが、フィルタや外殻の軸芯が水平方向になるようにフィルタや外殻を横置き配置するような構成とすることもできる。

図４は本発明の実施例２に係る濾過装置１０Ａを示す。この実施例２の濾過装置１０Ａは、図１に示す実施例１の濾過装置１０に変更を加えたものである。

図４に示すように、この濾過装置１０Ａでは、原液供給室Ｒ１に布材１６が配置されている。この布材１６は、フィルタ１１の外周面を囲う状態となっており、一端側（下端側）は開口している。布材１６の他端側（上端側）は、フィルタ１１の上端縁に、緊縛されて固定されている。なお、布材１６の上端側を、フランジ１２ａ等で支持・固定していてもよい。
要は、布材１６が、フィルタ１１の外周面の全面を囲う状態で、配置されていればよい。

図４の例では、布材１６の下端縁を絞ってその径を狭めているが、下端縁の径を狭めないようにしても良い。また布材１６の材質は特に問わない。この布材１６は、布であるので当然に揺れ動くことができる。
他の部分の構成は、図１に示す濾過装置１０と同様である。

この濾過装置１０Ａにより濾過処理をするとき、即ち、バルブＶ３が開となりバルブＶ２，Ｖ４が閉となっているときには、原液Ｗ１が原液配管Ｌ１から原液供給室Ｒ１に供給されるため、この原液Ｗ１の液圧により、布材１６はフィルタ１１の外周面に密着する。そして、供給されてきた原液Ｗ１が、布材１６及びフィルタ１１を透過していく。これにより汚濁物は、布材１６やフィルタ１１により、濾過・除去され、汚濁物が濾過・除去された濾過液Ｗ２が、フィルタ１１の内部空間に入る。

布材１６は、単なる布ではあるが濾材としても機能する。この布材１６は、微細な汚濁物の濾過はできないが、大きな汚濁物や糸状の金属線や髭状の金属片などは、濾過・除去することができる。フィルタ１１は、布材１６を透過してきた汚濁物を濾過・除去する。

濾過液Ｗ２は、フィルタ１１の内部空間及び貯液室Ｒ２を通り、濾過配管Ｌ３を介して吐出される。

濾過装置１０Ａにより逆洗処理をするとき、即ち、バルブＶ２，Ｖ４が開となりバルブＶ３が閉となっているときには、濾過液Ｗ２がフィルタ１１の内周面側から外周面側に吹き出ると同時に、原液Ｗ１が原液供給室Ｒ１に急激に流入する。
濾過液Ｗ２がフィルタ１１の内周面側から外周面側に吹き出る（噴出する）ため、布材１６はフィルタ１１の表面から離れて外周側に膨らみ、布材１６の内周面とフィルタ１１の外周面との間に空間が形成される。
そして布材１６の内周面には濾過液Ｗ２が噴出され、布材１６の外周面には急流入した原液Ｗ１が吹き付けられるため、布材１６はフィルタ１１の表面から離れた状態で激しく揺れ動く（振れ動く）。

濾過液Ｗ２の噴出と、原液Ｗ１の急流入と、布材１６の激しい揺れ動き（振れ動き）により、フィルタ１１に付着した汚濁物はフィルタ１１から取り除かれ、取り除かれた汚濁物はフィルタ１１と布材１６の間の空間を通って下方に落下する。
また濾過液Ｗ２の噴出と、原液Ｗ１の急流入と、布材１６の激しい揺れ動き（振れ動き）により、布材１６に付着した汚濁物は布材１６から振り落とされ（取り除かれ）、取り除かれた汚濁物は下方に落下する。

前述したように、布材１６が、大きな汚濁物や糸状の金属線や髭状の金属片などを濾過・除去するため、大きな汚濁物や糸状の金属線や髭状の金属片などがフィルタ１１の内部に侵入して引っかかるということはなくなる。
フィルタ１１の内部に、糸状の金属線や髭状の金属片が入り込むと、金属線（金属片）などがフィルタ１１の金網と絡み合ってしまい、このように絡み合った金属線（金属片）などは、濾過液Ｗ２をフィルタ１１の内周面側から外周面側に向かって吹き出す逆洗をしても、取り除くことができないことがある。
したがって、金属線などがフィルタ１１の内部に侵入して多量に引っかかってしまうと、フィルタ１１を新しいものに交換しなければならない。

この濾過装置１０Ａでは、糸状の金属線等は布材１６により殆どが濾過・除去されるため、このような金属線等がフィルタ１１の内部に侵入して絡まることは殆どなくなる。したがって、フィルタ１１の寿命が伸びる。

布材１６は一枚の布材であるので、フィルタ１に比べて糸状の金属線などが絡みつきにくく、また、糸状の金属線などが付着しても、逆洗時には布材１６は大きく振れ動くため、付着した金属線も取り除かれ易い。

更に、布材１６に多量の汚濁物が付着して、布材１６における濾過性能が低下した場合には、この布材１６を新しいものに取り替える。布材１６は、通常の布であるので、その価格は、フィルタ１１に比べて極めて安価であり、布材１６の交換による経済的負担は極めて小さい。

図５は、本発明の実施例３に係る濾過システムを示す。この実施例３の濾過システムでは、図４に示す実施例２の濾過装置１０Ａを使用している。

図５に示すように、液送ポンプ２０は、原液槽２１に貯溜されている原液Ｗ１を、原液配管Ｌ１を介して原液供給室Ｒ１に供給している。この例では、液送ポンプ２０は、原液槽２１の底部に沈殿している汚濁物も原液Ｗ１と共に含めて吸引して、原液供給室Ｒ１に供給している。この液送ポンプ２０は、濾過処理時のみならず逆洗処理時にも、原液Ｗ１の供給をしている。

濾過装置１０Ａの下端は、逆洗液排出バルブＶ４が介装された逆洗液排出配管Ｌ４により、補助タンク３０に接続されている。補助タンク３０は、中空のタンクでありバッファタンクとしての機能を果たす。

補助タンク３０の下端は、配管３１により、マグネットセパレータ４０に接続されている。マグネットセパレータ４０は、中空の筐体４１と、マグネットローラ４２と、非磁性体の押付ローラ４３と、掻き取り板４４を備えている。
この補助タンク３０は、戻し配管Ｌ６により、原液槽２１に接続されている。
また、マグネットセパレータ４０に隣接して回収箱５０が設置されている。

この濾過システムでは、濾過処理時には、濾過装置１０Ａにより濾過された濾過液Ｗ２が、濾過配管Ｌ３を介して研削盤６０に供給される。実施例２においても説明したように、濾過液Ｗ２は、濾過装置１０Ａが濾過処理状態であっても逆洗処理状態であっても、常に供給される。このため研削盤６０では、加工部分に濾過液Ｗ２を連続的にかけることができる。
研削加工により生じた金属粉等が混入した加工液（原液Ｗ１）は、研削盤６０から原液槽２１に送られて貯溜される。

一方、逆洗液排出バルブＶ４が開となる逆洗処理時には、原液Ｗ１が汚濁物（金属粉等）と共に逆洗液排出配管Ｌ４を通って補助タンク３０内に噴出される。噴出された原液Ｗ１は一旦補助タンク３０内で溜まる。逆洗処理期間は逆洗液排出バルブＶ２が開となっている短時間（例えば０．５秒）であるが、原液Ｗ１が補助タンク３０に向かって噴出されるため、多量の原液Ｗ１が補助タンク３０に送られ、補助タンク３０内では原液Ｗ１が飛散したり大きく波立つたりする。

補助タンク３０内に溜まった原液Ｗ１は、配管３１を通ってマグネットセパレータ４０に送られる。
このように、原液Ｗ１は補助タンク３０内に一旦溜まってから配管３１を介してマグネットセパレータ４０に送られるため、マグネットセパレータ４０には、比較的穏やかに原液Ｗ１が供給され、供給された原液Ｗ１がマグネットセパレータ４０内に溜まる。

マグネットセパレータ４０のマグネットローラ４２と押付ローラ４３は互いにローラ面が摺接しつつ回転しており、マグネットローラ４２は、筐体４１内に溜まった原液Ｗ１に浸っている。

このため、原液Ｗ１中の磁性体である金属粉等がマグネットローラ４２の周面に付着する。マグネットローラ４２の周面に付着した金属粉等は、マグネットローラ４２と押付ローラ４３とで挟持されることにより、液体分が絞られる。液体分が絞られた金属粉等は、マグネットローラ４２と押付ローラ４３とが摺接する位置を通過すると、マグネットローラ４２に付着したまま、マグネットローラ４２にと共に回転移動し、掻き取り板４４によりマグネットローラ４２から掻き取られて、回収箱５０に回収される。

したがって、マグネットセパレータ４０に溜まった原液Ｗ１の中から、この原液Ｗ１
に混入している金属粉等が取り除かれていく。
つまり、加工液が研削液や切削液である場合には、研削粉や切削粉が混入した原液Ｗ１中から、研削粉や切削粉を取り出して乾燥した状態で（液を絞った状態で）回収することができる。
また、加工液がプリント基板用銅粉の研磨排水である場合には、銅粉が混入した原液Ｗ１から、銅粉を取り出して乾燥した状態で（液を絞った状態で）回収することができ、この銅粉を資源として再利用することができる。

なお、金属粉等が取り除かれた原液Ｗ１は、戻し配管Ｌ６を通って原液槽２１に送られる。

次に本発明の実施例４に係る濾過装置１００を備えた濾過システムを、図６を参照して説明する。

この濾過システムに用いる濾過装置１００では、濾材として筒状のフィルタ１１１を用いている。フィルタ１１１としては、積層金網を筒状に形成し焼結してなる多孔質の金属フィルタや、金属製ワイヤーを筒形に形成してサポートロッドに溶接して構成されており金属製ワイヤー相互間にスリットが形成されている金属フィルタや、セラミックを筒状に形成してなるセラミックフィルタなどを使用することができる。また糸巻フィルタを用いることもできる。
このフィルタ１１１は、下端面（一端面）が閉塞板１１１ａにより閉塞され、上端面（他端面）が開放している。このフィルタ１１１は、剛性を有しており、後述する濾過処理や逆洗処理の際の液圧によっては形状変化しない。
本例では、フィルタ１１１として、直径が５０ｍｍ、軸方向（上下方向）の長さが３０ｃｍの金属フィルタを使用した。

筒状の外殻１１２はフィルタ１１１を囲う状態で配置されている。このため、外殻１１２の内周面と、フィルタ１１１の外周面との間に、原液供給室Ｒ１１が形成される。外殻１１２は、そのフランジ部１１２ａにより、フィルタ１１１の上端部を支持している。また、外殻１１２の下端面は開放している。
本例では外筒１１２の直径を、７０〜８０ｍｍとした。

貯液タンク１１３は、そのフランジ部１１３ａが、外殻１１２のフランジ部１１２ａに取り付けられている。この貯液タンク１１３は、フィルタ１１１の上端面に連通しており、貯液タンク１１３内の貯液室Ｒ１２が、フィルタ１１１の内部空間に連通している。

沈澱タンク１１４は密閉された沈澱室Ｒ１３を形成している。この沈澱タンク１１４の上部（上端面）には、外殻１１２の下部が上方から挿通している。このため、外殻１１２の下端開放面は、沈澱室Ｒ１３の頂部よりも下方に位置している。
また沈澱タンク１１４の底面は、下方に向かうに従い径が絞られる漏斗部１１４ａとなっている。

液送ポンプ１２０は、原液槽１２１に貯溜された原液Ｗ１１を、濾過装置１００に供給するポンプである。原液Ｗ１１とは、工作機械の加工処理に供されて金属粉等の汚濁物が混入している研削液や切削液などの加工液のことである。

汚濁物捕捉装置１３０は、軸方向が鉛直方向となるように立て置き配置した捕捉筒１３２内に、汚濁物（金属粉や砥粒）を捕捉する捕捉ネット１３１を備えている。捕捉ネット１３１は、金網や繊維ネットで形成している。この捕捉ネット１３１を繊維ネットで構成した場合には、液体（加工液）が良好に透過・流通するような親水化処理をしている。

原液配管Ｌ１１は、液送ポンプ１２０と、外殻１１２のうち沈澱タンク１１４より上方に位置する部分とを接続している。工作機械の加工処理に供されて金属粉等の汚濁物が混入している研削液や切削液などの加工液（原液Ｗ１１）は、一旦、原液槽１２１に貯溜される。液送ポンプ１２０は、原液槽１２１から原液Ｗ１１を吸引して原液配管Ｌ１１に送り込む。このため、原液Ｗ１１は原液配管Ｌ１１を通って原液供給室Ｒ１１内に供給される。

原液Ｗ１１を供給する液送ポンプ１２０は、後述する濾過処理の際にも逆洗処理の際にも、停止することなく、原液Ｗ１１の送給を行う。このように、濾過処理の際のみならず、逆洗処理の際にも、原液供給をすることが、本装置の特徴の一つである。

なお図２に示すのと同様に、原液配管Ｌ１１は、供給されてきた原液Ｗ１１を、原液供給室Ｒ１１の周方向に沿って噴出するように、外殻１１２に接続している。
または、図３に示すのと同様に、原液配管Ｌ１１は、供給されてきた原液Ｗ１１を、フィルタ１１１の外周面に向けて噴出するように、外殻１１２に接続していてもよい。

図６に戻り説明をすると、エアー供給用バルブ（電磁弁）Ｖ１２が介装されたエアー供給配管Ｌ１２は、貯液タンク１１３の上部に接続されている。このエアー供給配管Ｌ１２は、貯液タンク１１３と図示しない圧縮空気源（圧縮空気ポンプ）とを接続するものであり、圧縮空気源（圧縮空気ポンプ）により圧縮空気Ａ１０が常時供給されている。

エアー供給用バルブＶ１２は、制御盤１１５の開閉制御により、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間（例えば０．５秒間）だけ開となる。このためエアー供給用バルブＶ１２が開となると、圧縮空気Ａ１０がエアー供給配管Ｌ１２を介して、貯液タンク１１３の貯液室Ｒ１２内に供給される。

濾過用バルブ（電磁弁）Ｖ１３が介装された濾過配管Ｌ１３は、貯液タンク１１３の上部に接続されている。この濾過配管Ｌ１３の出口端は、工作機械の加工部分に配置されており、濾過配管Ｌ１３から吐出した清浄な加工液を加工部分にかけるようにしている。

なお図６の例では、貯液タンク１１３の近くにおいて、この濾過配管Ｌ１３とエアー供給配管Ｌ１２が、共通の１本の共用配管となっているが、貯液タンク１１３の近くであっても、濾過配管Ｌ１３とエアー供給配管Ｌ１２とを別々の独立の配管としてもよい。

濾過用バルブＶ１３は、制御盤１１５の開閉制御により、濾過処理時には開となり、逆洗処理時には予め決めた短時間（例えば０．５秒間）だけ閉となる。

逆洗液排出用バルブ（電磁弁）Ｖ１４が介装された逆洗液排出配管Ｌ１４は、沈澱タンク１１４の上部と汚濁物捕捉装置１３０とを接続している。逆洗液排出配管Ｌ１４が沈澱タンク１１４と接続している位置は、外殻１１２の下端開口よりも上方の位置である。
逆洗液排出配管Ｌ１４の汚濁物捕捉装置１３０側の先端部分は、原液Ｗ１１が流通してくるとこの原液Ｗ１１を捕捉筒１３２の内周面に沿う方向に吹き出すことができるように、捕捉筒１３２に接続されている。このため、原液Ｗ１１が流通してくると、この原液Ｗ１１は、捕捉筒１３２の内周面及び捕捉ネット１３１の外周面に沿い螺旋状に流れる。
なお、逆洗液排出配管Ｌ１４の先端部（先端開口）が、捕捉ネット１３１の外周面に対向した状態で保持するようにしてもよい。

逆洗液排出用バルブＶ１４は、制御盤１１５の開閉制御により、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間（例えば０．５秒間）だけ開となる。

ドレイン用バルブ（電動弁）Ｖ１５が介装されたドレイン配管Ｌ１５は、沈澱タンク１１４の漏斗部１１４ａの下端部と汚濁物捕捉装置１３０とを接続している。ドレイン配管Ｌ１５の汚濁物捕捉装置１３０側の先端開口は、捕捉ネット１３１の内部に臨んでいる。

ドレイン用バルブＶ１５は、制御盤１１５の開閉制御により、予め決めた所定周期毎（例えば１５分間隔の周期毎）に、数秒程度の時間だけ開となり、他の期間では閉となっている。
なお、電動式のドレイン用バルブＶ１５の代わりに、手動により開閉する弁を採用してもよい。

上記構成となっている濾過システムの動作を、濾過処理時と逆洗処理時とドレイン排出処理時に分けて説明する。なお、濾過処理時の液体の流れを図６中で実線の矢印で示し、逆洗処理時の液体及び空気の流れを図６中で点線の矢印で示している。

濾過処理時の動作を説明する。濾過処理時には、液送ポンプ１２０が作動して、源液槽１２１に貯溜されていた原液Ｗ１１が原液配管Ｌ１１に送り込まれ、原液Ｗ１１は原液配管Ｌ１１を通って原液供給室Ｒ１１内に供給される。
また、制御盤１１５の開閉制御により、バルブＶ１３は開とされるが、バルブＶ１２，Ｖ１４，Ｖ１５は閉とされる。

このため、原液供給室Ｒ１１に供給・充満された原液Ｗ１１は、フィルタ１１１を外周側から内周側に透過していく。フィルタ１１１を透過していくことにより、金属粉や砥粒等の汚濁物はフィルタ１１１により濾過・除去され、汚濁物が濾過・除去された清浄な加工液（以降、このように汚濁物が濾過・除去された加工液を「濾過液Ｗ１２」と称する）が、フィルタ１１１の内部空間に入る。

フィルタ１１１により濾過された濾過液Ｗ１２は、フィルタ１１１の内部空間および、このフィルタ１１１に連通した貯液室Ｒ１２を満たす。さらに、濾過液Ｗ１２は貯液室Ｒ１２から濾過配管Ｌ１３を介して吐出される。吐出された濾過液Ｗ１２は、濾過配管Ｌ１３の先端開口から吐出して工作機械の加工部にかけられる。
本例では、例えば、濾過液Ｗ１２を５０リットル／分〜１２０リットル／分の割合で吐出することができた。

工作機械の加工部にかけられて金属粉等が混入した加工液（原液）は、原液槽１２１に戻される。

フィルタ１１１により除去された汚濁物（金属粉等）は、フィルタ１１１の外周面に付着したり、外殻１１２の下方に沈降して沈澱タンク１１４内に入り、更に沈澱して漏斗部１１４ａ上に堆積する。

次に逆洗処理時の動作を説明する。
上述したようにして濾過処理をすると、フィルタ１１１に汚濁物が付着してきて、いわゆる「目詰まり」状態となり、フィルタ１１１を透過する液量が、予め規定した規定量よりも低減してくる。フィルタ１１１に汚濁物が付着していない状態から、汚濁物が付着してきてフィルタ１１１を透過する液量が規定液量よりも少なくなる（目詰まり状態となる）までの「時間」は、フィルタ１１１の性能や原液Ｗ１１の汚濁状態等によって決まってくる。そこで、この「時間」を「設定時間」として制御盤１１５に設定しておく。

制御盤１１５では、上述した「設定時間」間隔ごと（例えば５分毎）に、逆洗処理をする。
つまり、制御盤１１５では、濾過開始時点（または前回の逆洗処理完了時点）から、上述した設定時間が経過すると、次に示す（１）〜（３）のバルブ開閉制御動作を同時に同期して行う。また（４）の制御動作をする。
（１）エアー供給用バルブＶ１２を開とし、開とした時点から予め決めた短時間（例えば０．５秒）経過したら、エアー供給用バルブＶ１２を閉に戻す。この短時間（例えば０．５秒間）が逆洗処理期間である。
（２）濾過用バルブＶ１３については、エアー供給用バルブＶ１２を開とした時点で閉とし、エアー供給用バルブＶ１２を閉とした時点で開に戻す。
（３）逆洗液排出用バルブＶ１４については、エアー供給用バルブＶ１２を開とした時点で開とし、エアー供給用バルブＶ１２を閉とした時点で閉に戻す。
（４）なお、ドレイン用バルブＶ１５は閉じておく。また、原液配管Ｌ１１には、濾過時と同じく逆洗処理時にも、液送ポンプ１２０から原液Ｗ１１が送り込まれている。

逆洗処理のために、バルブＶ１２，Ｖ１４を開とし、バルブＶ１３を閉とすると、圧縮空気源（圧縮空気ポンプ）から圧送された圧縮空気Ａ１０が、エアー供給配管Ｌ１２を通って貯液タンク１１３の貯液室Ｒ１２の上部に、急激に供給される。このため、貯液タンク１１３に貯溜されていた濾過液Ｗ１２がフィルタ１１１の内部空間に急圧送され、濾過液Ｗ１２がフィルタ１１１の内周面側から外周面側に吹き出る。

貯液タンク１１３に貯溜されていた濾過液Ｗ１２がフィルタ１１１の内部空間に急圧送され、濾過液Ｗ１２がフィルタ１１１の内周面側から外周面側に吹き出るタイミング期間では、逆洗液排出用バルブＶ１４が開となっているため、外筒１１２内の原液Ｗ１１は、逆洗液排出配管Ｌ１４に向かって押し出される。

沈澱タンク１１４の沈澱室Ｒ１３内においては、汚濁物（金属粉等）は外殻１１２の下端開口から下方に沈澱していき、漏斗部１１４ａに堆積する。このため、沈澱室Ｒ１３の上部の空間、特に外殻１１２の下端開口よりも上方の空間に充満した原液Ｗ１１は、下部に充満した原液Ｗ１１に対して清浄度が比較的高い（このように、沈澱室Ｒ１３の上部に充満した原液は、金属粉等の汚濁物が混入している量が少なくなっているので、これをここでは「原液Ｗ１１ａ」と称する）。

逆洗処理期間では、濾過液Ｗ１２が貯液タンク１１３からフィルタ１１１を介して原液供給室Ｒ１１内に吹き出される量に相当する量だけ、清浄度が比較的高い原液Ｗ１１ａが押し出されて逆洗液排出配管Ｌ１４内を流れ、逆洗液排出配管Ｌ１４の先端から吹き出される。吹き出された原液Ｗ１１ａは、捕捉筒１３２の内周面及び捕捉ネット１３１の外周面に沿い螺旋状に流れたり、捕捉ネット１３１の外周面に向かって吹き付けられたりする。

この捕捉ネット１３１内には、後述するドレイン処理により、汚濁物が捕捉されているが、この捕捉ネット１３１の外周面に、清浄度が比較的高い原液Ｗ１１ａを螺旋状に流したり、吹き付けたりして洗浄することより、捕捉ネット１３１の内周面及び外周面の目詰まりを防止している。捕捉筒１３２の内周面及び捕捉ネット１３１の外周面に沿い螺旋状に原液Ｗ１１ａを流した場合には、螺旋流による剥離作用により、より確実に捕捉ネット１３１の洗浄・浄化をすることができる。
原液Ｗ１１を下水（汚濁液）、濾過液Ｗ１２を上水（清浄液）とすると、ちょうど中水（汚濁液よりもやや液体）となっている原液Ｗ１１ａにより、捕捉ネット１３１の外周面を洗浄していることになる。
なお、捕捉ネット１３１に吹き付けられた原液Ｗ１１ａは、原液槽１２１に流れ込む。

濾過液Ｗ１２がフィルタ１１１の内周面側から外周面側に吹き出ると同時に、この吹き出し量に応じて沈澱タンク１１４内の原液Ｗ１１ａが逆洗液排出配管Ｌ１４に流れ込むため、フィルタ１１１の内周面側から外周面側への濾過液Ｗ１２の吹き出しは、低抵抗な状態で良好に行われる。この濾過液Ｗ１２のフィルタ内周面側から外周面側への吹き出しにより、フィルタ１１１の外周面等に付着した汚濁物が膨潤したり軟化したりすると共に、汚濁物がフィルタ１１１の外周面から浮き上がったり剥離したりする。

なお、圧縮空気Ａ１０は、貯液タンク１１３の上部から中間部分位にまで供給されるが、貯液タンク１１３の下部やフィルタ１１１に入る程には供給する必要はない。つまり、貯液タンク１１３に貯溜されていた濾過液Ｗ１２の一部が、フィルタ１１１の内部空間に急圧送される程度に、圧縮空気が供給されれば十分である。
また、貯液タンク１１３の容量は小さくても十分である。これは、フィルタ１１１の内周面側から外周面側への濾過液Ｗ１２の吹き出しができる程度の量の濾過液Ｗ１２を、貯液タンク１１３に貯溜しておくだけで済むからである。

原液配管Ｌ１１から原液供給室Ｒ１１には、原液Ｗ１１が継続して供給されている。濾過処理時には、フィルタ１１１を通過して濾過されるため、この濾過による濾過抵抗の作用により、原液供給室Ｒ１１への原液Ｗ１１の供給量は規制されてしまう。しかし、逆洗処理時には逆洗液排出用バルブＶ１４が開状態となり、原液供給室Ｒ１１に連通した沈澱タンク１１４内の原液Ｗ１１ａは逆洗液排出配管Ｌ１４を介して外部空間に低抵抗で排出できる。この結果、逆洗処理時には、原液配管Ｌ１１から原液供給室Ｒ１１に向かって、多量の原液Ｗ１１が急激に流入することができる。

このように、原液供給室Ｒ１１に急激に流入した原液Ｗ１１が、フィルタ１１１の表面から浮き上がったり剥離したり、膨潤したり軟化した汚濁物を、巻き込んだり、削り取ったりして、フィルタ１１１から取り除いていく。したがって、フィルタ１１１に不均一に汚濁物が付着していたとしても、また多量の汚濁物が付着していたとしても、原液供給室Ｒ１１に急激に流入した原液Ｗ１１により汚濁物をフィルタ１１１から取り除くことができる。

つまり、
（１）濾過液Ｗ１２がフィルタ１１１の内周面側から外周面側に吹き出ることと、
（２）多量の原液Ｗ１１が原液供給室Ｒ１１に急激に流入してフィルタ１１１の表面に作用することが、
（３）同時に行われる
という相乗効果により、フィルタ１１１から汚濁物が迅速に取り除かれるのである。

このように、濾過液Ｗ１２をフィルタ１１１の内周面側から外周面側に吹き出させることと、多量の原液Ｗ１１を原液供給室Ｒ１１に急激に流入させることを、同時に行うことが、本装置の特徴の一つである。かかる動作は、原液Ｗ１１を原液供給室Ｒ１１に流入させつつ、バルブＶ１２，Ｖ１４を開とし、バルブＶ１３を閉とするバルブ開閉動作を同期して同時に行うことにより実現できる。

なお、濾過液Ｗ１２をフィルタ１１１の内周面側から外周面側に吹き出すようにしただけでは、汚濁物を短時間で確実に除去することはできない。このことは、実験により確認している。

逆洗時において、図２に示すのと同様に、原液Ｗ１１が原液供給室Ｒ１１の周方向に沿い噴出されるようにしておくと、原液Ｗ１１は原液供給室Ｒ１１内を旋回流として渦巻くため、この原液Ｗ１１の渦巻き力によりフィルタ１１１から汚濁物をより確実に取り除くことができる。
また図３に示すのと同様に、原液Ｗ１１がフィルタ１１１に向かって噴射されるようにしておくと、原液Ｗ１１が直接的にフィルタ１１１に衝突し、この原液Ｗ１１の衝突力によりフィルタ１１１から汚濁物をより確実に取り除くことができる。

このようにしてフィルタ１１１の外周面等から取り除かれた汚濁物（金属粉等）は、沈降して外殻１１２を通り沈澱タンク１１４の下部の漏斗部１１４ａに沈澱する。

この逆洗処理は、極めて短時間（例えば０．５秒間）である。したがって、この逆洗処理期間において、濾過用バルブＶ１３は閉とされるが、逆洗処理が完了したら（逆洗開始から０．５秒経過したら）、濾過用バルブＶ１３は直ちに開に戻る。このため、濾過配管Ｌ１３を介して流通し工作機械の加工部に向けて吐出する濾過液Ｗ１２は、濾過用バルブＶ１３の位置で瞬間的（０．５秒間）に流通が遮断されるが、濾過配管Ｌ１３の全長にわたり濾過液Ｗ１２が充満して流通しているため、濾過配管Ｌ１３の出口では、連続的に濾過液Ｗ１２が吐出される。つまり、０．５秒程度だけ流通が瞬時的に遮断されても、濾過液Ｗ１２が濾過配管Ｌ１２を流れていく途中で、充満している濾過液Ｗ１２が、流通遮断により流量が無い（または少ない）部分にも流れこんでいくため、濾過配管Ｌ１２の出口では、連続して濾過液Ｗ１２が吐出されてくるのである。

したがって、連続して加工作業をしている工作機械の加工部に、濾過配管Ｌ１３から吐出した濾過液Ｗ１２を連続的にかけるようにすることができる。これは、逆洗処理をしても、濾過配管Ｌ１３から連続して濾過液Ｗ１２を吐出することができるからである。
もちろん、濾過配管Ｌ１３から吐出した濾過液Ｗ２を、一旦、クリーンタンクに貯溜し、このクリーンタンクから取り出した濾過液Ｗ１２を工作機械の加工部にかけるようにしてもよい。

次にドレイン排出処理時の動作を説明する。
上述したようにして濾過処理や逆洗処理をすると、沈澱タンク１１４の漏斗部１１４ａに汚濁物（金属粉等）が沈澱・堆積してくる。堆積した汚濁物は、ある一定量を越えると外部に排出する必要がある。

そこで、制御盤１１５に、ドレイン排出設定時間（例えば１５分間）を設定しておく。そうすると、制御盤１１５は、１５分間隔毎にドレイン用バルブＶ１５を、予め決めた時間（３秒程度）だけ開とする。そうすると、沈澱タンク１１４の下部である漏斗部１１４ａに沈澱した多量の汚濁物は、原液Ｗ１１と共に排出される。このとき排出される原液Ｗ１１の量は少ない。つまり、少量の原液Ｗ１１の排出により、多量の汚濁物を排出することができる。つまり、汚濁物の高濃度排出が可能となる。
ドレイン配管Ｌ１５を介して原液Ｗ１１と共に排出された汚濁物は、汚濁物捕捉装置１３０の捕捉ネット１３１で捕捉され、汚濁物が捕捉・除去された原液Ｗ１１は原液槽１２１に流れ込む。
なお、ドレイン排出処理をするタイミングは、逆洗処理をするタイミングと、時間的にずらしている。

ドレイン用バルブＶ１５の代わりに、手動式のバルブを採用した場合には、作業者が目視により汚濁物の沈澱量を確認し、沈澱量が多くなったらこの手動式のバルブを開いて汚濁物を排出する。

なお上記例では、逆洗処理期間を０．５秒としたが、この逆洗処理期間は、フィルタ１１１の特性、原液Ｗ１１の汚濁状態、濾過装置１１０の寸法、バルブの応答性能、逆洗処理周期によって、適宜変更することができる。現実的には、逆洗処理期間の最短時間は、バルブの応答性能により規制されるため０．２秒程度であり、逆洗処理期間の最長時間は、濾過液を連続的に吐出する要求から３秒程度となる。

このように実施例４の濾過装置１００では、原液Ｗ１１、即ち、金属粉等が混入している研削液や切削液などの加工液を、効率的に濾過することができ、しかも、貯液タンク１１３が小さくて済むため、装置の小型化を図ることができる。
更に、逆洗を効率的に行うことができると共に、逆洗期間が極めて短いので、濾過済みの濾過液を連続的に、工作機械の加工部分に向けて吐出することができる。
特に、逆洗処理期間が極めて短いにもかかわらず、確実な逆洗処理ができることが、本装置の大きな特長であり、この特長は、逆洗処理期間において、原液Ｗ１１を原液供給室Ｒ１１に流入させつつ、バルブＶ１２，Ｖ１４を開とし、バルブＶ１３を閉とするバルブ開閉動作を同期して同時に行うことにより実現している。

図７は本発明の実施例５に係る濾過装置１００Ａを示す。この実施例５は、図６に示す実施例４の構成の一部を変形させたものである。

即ち実施例５では、外殻１１２の下端部は、外殻１１２の他の部分よりも径を絞った絞り部１１２ｂとなっている。例えば具体的には、絞り部１１２ｂの直径を４０ｍｍ、外殻１１２の他の部分の直径を７５ｍｍとしている。また、フィルタ１１１の直径を５０ｍｍとしている。
他の部分の構成は実施例４と同じである。

またこの実施例５では、原液配管Ｌ１１から原液供給室Ｒ１１に、原液Ｗ１１を周方向に沿い噴出して、原液供給室Ｒ１１内において原液Ｗ１１が旋回流として流れるようにしている。

多量の原液Ｗ１１を急速に原液供給室Ｒ１１内に供給すると、原液供給室Ｒ１１内の旋回流が、沈殿室Ｒ１３の下方にまで進んできて、沈殿していた汚濁物を巻き上げる恐れがある。例えば、原液Ｗ１１の供給量を１１０リットル／分以上にするとかかる現象が発生することがある。この場合、外殻１１２の下部を、小径とした絞り部１１２ｂとしておくと、原液供給室Ｒ１１内の原液Ｗ１１による旋回流が、沈殿室Ｒ１３に進んでくることはなく、沈殿室Ｒ１３に沈殿している汚濁物を巻き上げることがなくなるという効果を奏することができる。

本発明によれば、金属粉等が混入した研削液や切削液の濾過ができるのみでなく、金属粉等が混入した各種の加工液の濾過をすることができ、しかも、逆洗処理を短時間で行うことができる。
また金属粉等が混入した加工液のみならず、各種の汚濁物（土、砂、ガラス粉、カーボン、鉱石粉、屑など）が混入した各種の液体、例えば工場排水，メッキ液，プール水等を、本発明の濾過装置により濾過処理することも、当然のことながらできる。

本発明の実施例１に係る濾過装置を示す構成図。 原液配管と外殻との接続状態の一例を示す断面図。 原液配管と外殻との接続状態の他の一例を示す断面図。 本発明の実施例２に係る濾過装置を示す構成図。 本発明の実施例３に係る濾過システムを示す構成図。 本発明の実施例４に係る濾過システムを示す構成図。 本発明の実施例５に係る濾過システムを示す構成図。

符号の説明

１０，１０Ａ，１００，１００Ａ 濾過装置
１１，１１１ フィルタ
１２，１１２ 外殻
１３，１１３ 貯液タンク
１１４ 沈澱タンク
１５，１１５ 制御盤
２０，１２０ 液送ポンプ
１３０ 汚濁物捕捉装置
１３１ 捕捉ネット
Ｌ１，Ｌ１１ 原液配管
Ｌ２，Ｌ１２ エアー供給配管
Ｌ３，Ｌ１３ 濾過配管
Ｌ４，Ｌ１４ 逆洗液排出配管
Ｌ５，Ｌ１５ ドレイン配管
Ｖ２，Ｖ１２ エアー供給用バルブ
Ｖ３，Ｌ１３ 濾過用バルブ
Ｖ４，Ｖ１４ 逆洗液排出用バルブ
Ｖ５，Ｖ１５ ドレイン用バルブ
Ｗ１，Ｗ１１，Ｗ１１ａ 原液
Ｗ２，Ｗ１２ 濾過液
Ａ，Ａ１０ 圧縮空気

Claims (13)

1. 筒状をなすフィルタと、
   前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成する外殻と、
   前記フィルタの内部空間に連通し、前記フィルタを透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
   原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
   前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
   前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
   前記外殻に接続された逆洗液排出配管と、
   前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
   前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
   前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
   を有することを特徴とする濾過装置。
2. 筒状をなすと共に一端面が閉塞したフィルタと、
   前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成する外殻と、
   前記フィルタの他端面に連通し、前記フィルタを外周面側から内周面側に透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
   濾過処理時のみならず逆洗処理時においても原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
   前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
   前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
   前記外殻に接続された逆洗液排出配管と、
   前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
   前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
   前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
   を有することを特徴とする濾過装置。
3. 筒状をなすと共に一端面が閉塞したフィルタと、
   前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成する外殻と、
   前記フィルタの他端面に連通し、前記フィルタを外周面側から内周面側に透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
   原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
   前記フィルタの外周面を囲う状態で前記原液供給室に配置されており、一端側が開口している布材と、
   前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
   前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
   前記外殻に接続された逆洗液排出配管と、
   前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
   前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
   前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
   を有することを特徴とする濾過装置。
4. 筒状をなすと共に下端面が閉塞したフィルタと、
   前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成すると共に、下端面が開放した外殻と、
   前記フィルタの上端面に連通し、前記フィルタを外周面側から内周面側に透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
   前記外殻の下部が上方から挿通されており、内部に沈澱室を形成する沈澱タンクと、
   濾過処理時のみならず逆洗処理時においても原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
   前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
   前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
   前記外殻に接続された逆洗液排出配管と、
   前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
   前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
   前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
   を有することを特徴とする濾過装置。
5. 筒状をなすと共に下端面が閉塞したフィルタと、
   前記フィルタを囲う状態で配置され、前記フィルタの外周面との間で原液供給室を形成すると共に、下端面が開放した外殻と、
   前記フィルタの上端面に連通し、前記フィルタを外周面側から内周面側に透過してきた濾過液を貯液する貯液室を形成する貯液タンクと、
   前記外殻の下部が上方から挿通されており、内部に沈澱室を形成する沈澱タンクと、
   捕捉ネットを備えた捕捉装置と、
   濾過処理時のみならず逆洗処理時においても原液を供給するポンプに接続される配管であり、前記ポンプにより供給されてきた原液を前記原液供給室に供給する原液配管と、
   前記貯液タンクと圧縮空気源とを接続するエアー供給配管と、
   前記貯液タンクに接続された濾過配管と、
   前記沈澱タンクのうち前記外殻の下端面よりも上方位置に接続されると共に、前記沈澱タンクから原液を排出させて前記捕捉ネットの外周面に向かって吹き付ける逆洗液排出配管と、
   前記沈澱タンクの下部と前記捕捉ネットの内部とを接続すると共にドレイン用バルブが介装されており、このドレイン用バルブが開となったときに、原液と共に前記沈澱タンクの下部に沈澱した汚濁物を前記捕捉ネット内に排出するドレイン配管と、
   前記エアー供給配管に介装されており、濾過処理時には閉となり、逆洗処理時には予め決めた短時間だけ開となるエアー供給用バルブと、
   前記濾過配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に開となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに閉となる濾過用バルブと、
   前記逆洗液排出配管に介装されており、前記エアー供給用バルブが閉となった時に閉となり、前記エアー供給用バルブが開となったときに開となる逆洗液排出用バルブと、
   を有することを特徴とする濾過装置。
6. 請求項５において、
   前記捕捉装置は、軸方向が鉛直方向となるように立て置き配置した捕捉筒内に、前記捕捉ネットを備えた構造となっており、
   前記逆洗液排出管は、前記捕捉筒の内周面に沿う方向に原液を吹き出して、原液を前記捕捉筒の内周面及び前記捕捉ネットの外周面に沿い螺旋状に流すことを特徴とする濾過装置。
7. 請求項４乃至請求項６の何れか一項において、
   前記外殻の下端部は、外殻の他の部分よりも径を絞った絞り部となっていることを特徴とする濾過装置。
8. 請求項１乃至請求項６の何れか一項において、
   前記フィルタは、金網により形成した金属フィルタであることを特徴とする濾過装置。
9. 請求項１乃至請求項６の何れか一項において、
   前記原液配管は、供給されてきた原液を前記原液供給室の周方向に沿って噴出するように、前記外殻に接続されていることを特徴とする濾過装置。
10. 請求項１乃至請求項６の何れか一項において、
    前記原液配管は、供給されてきた原液を前記フィルタの外周面に向けて噴出するように、前記外殻に接続されていることを特徴とする濾過装置。
11. 請求項１乃至請求項６の何れか一項において、
    前記原液配管に、濾過処理時のみならず逆洗処理時においても前記原液を供給する液送ポンプを備えていることを特徴とする濾過装置。
12. 請求項１乃至請求項６の何れか一項において、
    前記エアー供給用バルブと、前記濾過用バルブと、前記逆洗液排出用バルブの開閉制御をする制御盤を有しており、
    この制御盤は、
    濾過処理時には、前記エアー供給用バルブを閉とし、前記濾過用バルブを開とし、前記逆洗液排出用バルブを閉とする濾過処理時の開閉制御動作を行い、
    逆洗処理時には、前記エアー供給用バルブを予め決めた短時間だけ開としてから閉に戻し、前記濾過用バルブを予め決めた短時間だけ閉としてから開に戻し、前記逆洗液排出用バルブを予め決めた時間だけ開としてから閉に戻すという開閉制御動作を同期して行う逆洗処理時の開閉制御動作を行い、
    前記逆洗処理時の開閉制御動作を、予め決めた設定時間間隔ごとに行い、残りの期間では、前記濾過処理時の開閉制御動作を行うことを特徴とする濾過装置。
13. 請求項１乃至請求項６の何れか一項において、
    前記原液は、加工液に金属粉が混入している液体であることを特徴とする濾過装置。
    
    

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