JP2006506785A - ミニチュアリレー及びその応用 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、第2ゾーンと対面して配置された第1ゾーンと、第1コンデンサ板(3)と、第2ゾーン内に配置され、第1コンデンサ板より小さいか第1コンデンサ板に等しい第2コンデンサ板(9)と、これら2つのゾーン間の中間的空間(25)と、この中間的空間(25)内に配置され、隣接する壁面から機械的に独立し、前記コンデンサ板間に存在する電圧に応じて前記中間的空間(25)内を自由に移動可能な導電素子(7)と、電気回路の接点(15、17)とを具えたミニチュアリレーである。本発明によれば、前記導電素子(7)が前記接点(15、17)に当たることによって前記電気回路を閉じる。こうしたリレーは例えば、加速度計、エアバッグ加速度計、傾斜計、コリオリ力検出器、マイクロホン、音響用途、及び圧力センサ、フローセンサ、温度センサ、ガスセンサ、磁界センサ等として使用することができる。
Description
本発明はミニチュア(小型)リレーに関するものである。本発明は、本発明によるミニチュアリレーの種々の応用にも関するものである。
現在、ミニチュアリレーの生産のための種々の代替法が存在し、特に、MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems:微小電子機械系)、マイクロシステム及び/またはマイクロマシンとして知られている技術の関係において存在する。こうしたものは原則的に、接点電極を移動させるために用いる力またはアクチュエーション・メカニズム(発動機構)により分類することができる。従って、通常適用される分類は、静電、磁気、熱、及び圧電リレーの間の分類である。これらの各々が利点及び欠点を有する。しかし、小型化技術は、可能な限り小さい作動電圧及び表面の使用を必要とする。現在技術において知られているリレーは、小型化についての進歩を妨げるいくつかの問題がある。
本発明の目的は、上述した欠点を克服することにある。この目的は:
−第2ゾーンと対面する第1ゾーンと、
−第1コンデンサ板(プレート)と、
−前記第2ゾーン内に配置され、前記第1コンデンサ板より小さいか前記第1コンデンサ板に等しい第2コンデンサ板と、
−前記第1ゾーンと前記第2ゾーンとの間に設けられた中間的空間と、
−前記中間的空間内に設けられ、前記第1ゾーン及び前記第2ゾーンから機械的に独立し、前記第1及び第2コンデンサ板に存在する電圧に応じて前記中間的空間内の移動を行うのに適した導電素子と、
−電気回路の第1接点及びこの電気回路の第2接点とを具えて、前記第1及び第2接点が第1止め具を規定し、前記導電素子が前記第1止め具に接触するのに適したものであり、前記導電素子が前記第1止め具に接触すると前記電気回路を閉じることを特徴とするミニチュアリレーによって達成される。
従来の静電リレーでは、前記導電素子が所定位置(とりわけ湿度に大きく依存する)に付着すれば、付着をはがす可能な方法がない(例えば乾燥させるような外部的手段による方法を除いて)、というのは、復元力が弾力であるため常に同一(位置のみに依存する)であり、増加させることができないからである。これとは逆に、本発明によるリレー内で前記導電素子が付着すれば、電圧を増加させることによって付着をはがすことが常に可能である。
−第1の可能性は、前記導電素子が前記中間的空間内を進行的な動きで移動する、ということであり、即ち、前記第1ゾーンと前記第2ゾーンとの間をほぼ直線的に移動する(もちろん、ありうるショックあるいは振動、及び/または不用意かつ不所望な外力によって生じる移動を除く)。
−第2の可能性は、前記導電素子が実質的な固定端を有し、この固定端を中心に回転可能である、ということである。この回転軸が、外部電気回路用の接点の機能を果たすことができ、前記導電素子の自由端が、前記第1ゾーンと前記第2ゾーンとの間を移動することができ、その位置次第で、他の接点に接触したりしなかったりする。以下に概説するように、この方法は広範かつ格別な利点を有する。
−第3の可能性は、前記導電素子が前記中間的空間内を、発生した静電力によってもたらされる前記第1ゾーンと前記第2ゾーンとの間の進行的な動きと、コリオリ力によってもたらされる前記進行的な動きに垂直な動きとの組み合わせの動きで移動する、ということである。この解決法については以下でより詳細に説明する。
−リレーが両方向に対称に機能することができる;
−リレーが、固定値のリレーの寸法全体にわたって最小の作動電圧を可能にする設計である、というのは、一方のゾーン内で作用する2枚のコンデンサ板及び他方のゾーン内で作用する1枚の板を持つことによって、別個の表面領域を常に用意することができるからである;
−リレーの電流及び電力消費の最小化を可能にし、そしてより円滑なリレー機能も可能にする;
−外部電気回路が接触した際に、この外部電気回路から前記導電素子に伝達される電圧とは無関係に、リレーが開閉することを保証することができる;
−特に、リレーが各ゾーン内に6枚のコンデンサ板を有する場合に、追加的に点対称の要求に従うことができ、点対称は以下に示すように、他の重要な利点である。従って、本発明の他の好適例は、リレーが、前記第1ゾーン内に配置された6枚のコンデンサ板、及び前記第2ゾーン内に配置された6枚のコンデンサ板を具えている際に得られる。しかし、各ゾーン内に6枚のコンデンサ板を有することは、点対称を達成するために絶対に必要なことではなく:例えば各ゾーン内の3枚のコンデンサ板でも達成可能であるが、この場合には、電流及び電力消費の最小化、及びリレーの「円滑な」機能動作の最適化をあきらめなければならない。一般に、各ゾーン内のコンデンサ板の数を増加させることは、設計上の柔軟性及び融通性の拡大を可能にしつつ、製造に固有の変動を低減することができる、というのは、各コンデンサ板の製造上の変動は、残りの板の変動によって補償されやすいからである。
−矩形部分を有する軸(第2接点)、及び矩形部分をなす穴;
−円形部分を有する軸、及び円形部分をなす穴;
−円形部分を有する軸、及び矩形部分をなす穴、及びその逆;
但し、最初2つの組み合わせが最も有利である。
図1に、本発明によるリレーの第1の基本機能モードを示す。このリレーは中間的空間25を規定し、この空間内に導電素子7が収容され、導電素子7は中間的空間25内を自由に移動することができる、というのは、導電素子7は中間的空間25を規定する壁面に物理的に接合されていない分離した部分であるからである。このリレーは、図1の左側の第1ゾーン、及び図1の右側の第2ゾーンも規定する。第2ゾーン内には第1コンデンサ板3及び第2コンデンサ板9が配置されている。図1に示す例では、コンデンサ板3と9とが異なる表面積を有するが、これらの表面積は互いに等しくすることもできる。第1コンデンサ板3及び第2コンデンサ板9は制御回路CCに接続されている。第1コンデンサ板3と第2コンデンサ板9との間に電圧を印加すると、導電素子7は常に図1の右方向、即ちコンデンサ板3及び9に向かって誘引される。導電素子7は、第1止め具13によって止められるまで右方向に移動し、第1止め具13は第1外部回路CE1の第1接点15及び第2接点17であり、よって第1外部回路CE1が閉じられる。
−同じゾーンの2枚のコンデンサ板間に電圧を印加して、これにより導電素子7がこれらのコンデンサ板に誘引される(図1の機能):
−一方のゾーンの1枚のコンデンサ板と他方のゾーンの1枚のコンデンサ板(あるいは両方のコンデンサ板)との間に電圧を印加して、これにより、導電素子7が、ゾーン内の充電されたコンデンサの表面積が最小であるゾーン方向に誘引される(図2の機能)。
導電素子7と壁面との間には遊びが存在して、中間的空間25を形成し(即ち、第1止め具13、第2止め具19、コンデンサ板3、5、9及び11、及び2つの横壁29)、中間的空間25は、導電素子7が、第1接点15を第3接点21に接触させるか、あるいは第2接点17を第4接点23に接触させるのに十分なほど図5の面に直交する軸の周りに回転することを防止するように十分小さい。しかし図では、この遊びはより明確にするために一定寸法比で示していない。
Claims (33)
- 第1コンデンサ板(3)と、
前記第1コンデンサ板(3)と対面し、前記第1コンデンサ板より小さいか前記第1コンデンサ板に等しい第2コンデンサ板(9)と、
中間的空間(25)と、
前記中間的空間(25)内に配置された導電素子(7)と、
第3コンデンサ板(11)と、
電気回路の第1接点(15)と、
前記電気回路の第2接点(17)とを具えて、
前記導電素子が、前記中間的空間(25)内を自由に移動可能な分離した部分であり、前記中間的空間(25)の第1端が第1ゾーンを規定し、前記中間的空間(25)の第2端が第2ゾーンを規定し、前記導電素子が、前記第1端から前記第2端まで前記中間的空間を横切る移動、あるいはその逆の移動を行うのに適しており、前記移動が、前記第1コンデンサ板及び前記第2コンデンサ板に存在する電圧に依存し、前記第1コンデンサ板が前記第1ゾーン内に配置され、前記第2コンデンサ板が前記第2ゾーン内に配置され、
前記第3コンデンサ板が前記第2ゾーン内に配置され、前記第3コンデンサ板は前記第1コンデンサ板より小さいか前記第1コンデンサ板に等しく、前記第2コンデンサ板と前記第3コンデンサ板とを合わせた大きさが前記第1コンデンサ板より大きく、
前記第1及び第2接点(15、17)が第1止め具(13)を規定し、前記導電素子(7)が前記第1止め具(13)と接触するのに適し、前記導電素子(7)が前記第1止め具(13)に接触すると前記電気回路を閉じ、閉じた外部電気回路によって前記導電素子が原則的に未知の電圧のままにされても、前記外部電気回路の閉じた状態を保証可能であることを特徴とするミニチュアリレー。 - 前記第1接点(15)が前記第2ゾーンと前記導電素子(7)との間にあることを特徴とする請求項1に記載のリレー。
- 前記第2接点(17)が前記第1接点と同様に前記第2ゾーン内にあることを特徴とする請求項1または2に記載のリレー。
- 前記第1ゾーン内に配置された第4コンデンサ板(5)を追加的に具えて、前記第1コンデンサ板(3)と前記第2コンデンサ板(9)とが互いに等しく、前記第3コンデンサ板(11)と前記第4コンデンサ板(5)とが互いに等しいことを特徴とする請求項1または3に記載のリレー。
- 前記第1、第2、第3、及び第4コンデンサ板のすべてが互いに等しいことを特徴とする請求項4に記載のリレー。
- 前記第1ゾーン内に配置された第5コンデンサ板(35)、及び前記第2ゾーン内に配置された第6コンデンサ板(37)を追加的に具えて、前記第5コンデンサ板(35)と前記第6コンデンサ板(37)とが互いに等しいことを特徴とする請求項4または5に記載のリレー。
- 前記第1ゾーン内に配置された6枚のコンデンサ板、及び前記第2ゾーン内に配置された6枚のコンデンサ板を具えていることを特徴とする請求項6に記載のリレー。
- 前記第1ゾーンと前記導電素子(7)との間に第2止め具を具えていることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のリレー。
- 前記第1ゾーンと前記導電素子(7)との間に配置された第3接点(21)を具えて、前記第3接点(21)が第2止め具を規定して、前記導電素子(7)が、前記第2接点(17)及び前記第3接点(21)に接触すると第2電気回路を閉じることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のリレー。
- 前記導電素子(7)が、軸を規定し、かつラジアル方向に中空の円筒部分(31)と、前記中空の円筒部分(31)の1つの側部から突出して前記軸方向に延びる平坦部分(33)とを具えて、前記円筒部分の内部に前記第2接点(17)が収容され、前記平坦部分(33)の前記軸方向に測った高さが、前記円筒部分(31)の前記軸方向に測った高さより小さいことを特徴とする請求項9に記載のリレー。
- 前記導電素子(7)が、軸を規定し、かつラジアル方向に中空の平行六面体部分と、前記中空の平行六面体部分の1つの側部から突出して前記軸方向に延びる平坦部分(33)とを具えて、前記平行六面体部分の内部に前記第2接点(17)が収容され、前記平坦部分(33)の前記軸方向に測った高さが、前記平行六面体部分の前記軸方向に測った高さより小さいことを特徴とする請求項9に記載のリレー。
- 前記第1ゾーンと前記導電素子(7)との間に配置された第3接点(21)及び第4接点(23)を具えて、前記第3接点(21)及び前記第4接点(23)が第2止め具(19)を規定して、前記導電素子(7)が、前記第3接点(21)及び前記第4接点(23)に接触すると前記第2電気回路を閉じることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のリレー。
- 前記第1ゾーン内及び前記第2ゾーン内の各々に配置された前記コンデンサ板の組立体の各々が対称の中心について点対称性を有し、前記対称の中心が前記導電素子(7)の質量の中心に重なることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載のリレー。
- 前記第1ゾーン内及び前記第2ゾーン内の各々に配置された前記コンデンサ板の組立体が点対称性を有し、これにより、前記導電素子(7)の質量の中心に対する力のモーメントを発生することを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載のリレー。
- 前記第1ゾーンと前記第2ゾーンとの間に2つの横壁(29)が延び、前記横壁と前記導電素子(7)との間に遊びが存在し、前記遊びは、前記導電素子(7)が前記第1及び第2接点(15、17)によって形成される接点群と前記第3及び第4接点(21、23)によって形成される接点群とに同時に接触することが幾何学的に防止される程度に十分小さいことを特徴とする請求項12〜14のいずれかに記載のリレー。
- 前記導電素子(7)が曲面の外表面を有することを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載のリレー。
- 前記導電素子(7)が円筒形であることを特徴とする請求項16に記載のリレー。
- 前記導電素子(7)が球形であることを特徴とする請求項16に記載のリレー。
- 前記導電素子(7)が、上面及び下面、及び少なくとも1つの横方向の面を有し、前記上面及び下面が前記導電素子の移動方向に直交し、前記横方向の面が小さい突起を有することを特徴とする請求項1〜17のいずれかに記載のリレー。
- 前記導電素子(7)が中空であることを特徴とする請求項1〜19のいずれかに記載のリレー。
- 前記第1コンデンサ板(3)の表面積が、前記第2コンデンサ板(9)の表面積に等しいか、あるいは前記第2コンデンサ板の表面積の2倍であることを特徴とする請求項1に記載のリレー。
- 前記コンデンサ板(3、5、9、11、35、37)のうちの1つが同時に、前記接点(15、17、21、23)のうちの1つであることを特徴とする請求項1〜21のいずれかに記載のリレー。
- 加速度計として使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- エアバッグにおける加速度計としてとして使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- 傾斜計として使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- コリオリ力の検出器として使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- 圧力センサとして使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- マイクロホンとして使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- フローセンサとして使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- 温度センサとして使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- 音響用途に使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- ガスセンサとして使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
- 磁界センサとして使用されることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のリレー。
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JP2007538483A (ja) * | 2004-05-19 | 2007-12-27 | バオラブ マイクロシステムズ エス エル | レギュレータ回路及びその使用法 |
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JP4601528B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2010-12-22 | ドングク ユニバーシティ インダストリー−アカデミック コオペレーション ファウンデーション | プルアップ型接触パッドを利用したマイクロマシーニングスイッチの製造法 |
ES2259570B1 (es) * | 2005-11-25 | 2007-10-01 | Baolab Microsystems S.L. | Dispositivo para la conexion de dos puntos de un circuito electrico. |
ES2288111B1 (es) * | 2006-03-14 | 2008-10-16 | Baolab Microsystems S.L. | Conjunto electrooptico reflector miniaturizado para el procesado de una señal luminosa y procedimiento correspondiente. |
WO2007104811A1 (es) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Baolab Microsystems S.L. | Dispositivo electroóptico reflector y procedimientos de actuación correspondientes |
ES2281294B1 (es) * | 2006-03-10 | 2008-09-16 | Baolab Microsystems S.L. | Dispositivo electrooptico reflector digital miniaturizado. |
ES2288110B1 (es) * | 2006-03-13 | 2008-10-16 | Baolab Microsystems, S.L. | Procedimiento de actuacion de un dispositivo electrooptico reflector miniaturizado y dispositivo correspondiente. |
US8144125B2 (en) | 2006-03-30 | 2012-03-27 | Cypress Semiconductor Corporation | Apparatus and method for reducing average scan rate to detect a conductive object on a sensing device |
US8111243B2 (en) | 2006-03-30 | 2012-02-07 | Cypress Semiconductor Corporation | Apparatus and method for recognizing a tap gesture on a touch sensing device |
US8040142B1 (en) | 2006-03-31 | 2011-10-18 | Cypress Semiconductor Corporation | Touch detection techniques for capacitive touch sense systems |
US8059015B2 (en) | 2006-05-25 | 2011-11-15 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitance sensing matrix for keyboard architecture |
US8040321B2 (en) | 2006-07-10 | 2011-10-18 | Cypress Semiconductor Corporation | Touch-sensor with shared capacitive sensors |
US8547114B2 (en) | 2006-11-14 | 2013-10-01 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitance to code converter with sigma-delta modulator |
FR2911129A1 (fr) * | 2007-01-08 | 2008-07-11 | Microcomposants De Haute Secur | Micro-relais de type mems et procede de fabrication associe |
US8058937B2 (en) | 2007-01-30 | 2011-11-15 | Cypress Semiconductor Corporation | Setting a discharge rate and a charge rate of a relaxation oscillator circuit |
US8144126B2 (en) | 2007-05-07 | 2012-03-27 | Cypress Semiconductor Corporation | Reducing sleep current in a capacitance sensing system |
US9500686B1 (en) | 2007-06-29 | 2016-11-22 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitance measurement system and methods |
US8258986B2 (en) | 2007-07-03 | 2012-09-04 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitive-matrix keyboard with multiple touch detection |
US8570053B1 (en) | 2007-07-03 | 2013-10-29 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitive field sensor with sigma-delta modulator |
US8525798B2 (en) | 2008-01-28 | 2013-09-03 | Cypress Semiconductor Corporation | Touch sensing |
US8319505B1 (en) | 2008-10-24 | 2012-11-27 | Cypress Semiconductor Corporation | Methods and circuits for measuring mutual and self capacitance |
US8358142B2 (en) | 2008-02-27 | 2013-01-22 | Cypress Semiconductor Corporation | Methods and circuits for measuring mutual and self capacitance |
US9104273B1 (en) | 2008-02-29 | 2015-08-11 | Cypress Semiconductor Corporation | Multi-touch sensing method |
US8321174B1 (en) | 2008-09-26 | 2012-11-27 | Cypress Semiconductor Corporation | System and method to measure capacitance of capacitive sensor array |
ES2342872B1 (es) * | 2009-05-20 | 2011-05-30 | Baolab Microsystems S.L. | Chip que comprende un mems dispuesto en un circuito integrado y procedimiento de fabricacion correspondiente. |
TW201234527A (en) | 2010-11-19 | 2012-08-16 | Baolab Microsystems Sl | Methods and systems for fabrication of MEMS CMOS devices |
JP5950336B2 (ja) * | 2012-03-22 | 2016-07-13 | 矢崎総業株式会社 | 電子部品モジュール |
US11780725B2 (en) | 2020-01-08 | 2023-10-10 | Nanusens SL | MEMS device built using the BEOL metal layers of a solid state semiconductor process |
CN113782356B (zh) * | 2021-07-23 | 2023-06-16 | 宁波金宸科技有限公司 | 一种基于液压传动的继电器 |
CN115355836B (zh) * | 2022-08-18 | 2023-12-19 | 西安铁路信号有限责任公司 | 一种继电器绝对间隙的测量方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2218502A (en) * | 1936-11-25 | 1940-10-22 | Illinois Testing Laboratories | Temperature controller |
CA1307842C (en) * | 1988-12-28 | 1992-09-22 | Adrian William Alden | Dual polarization microstrip array antenna |
WO1997015092A1 (en) * | 1995-10-13 | 1997-04-24 | Peter Nielsen | Method and system for communicating electromagnetic signals |
GB2326284A (en) * | 1997-06-11 | 1998-12-16 | Siemens Plessey Electronic | Wide bandwidth antenna arrays |
US6751442B1 (en) * | 1997-09-17 | 2004-06-15 | Aerosat Corp. | Low-height, low-cost, high-gain antenna and system for mobile platforms |
DE19912669A1 (de) * | 1999-03-20 | 2000-09-21 | Abb Research Ltd | Substratparallel arbeitendes Mikrorelais |
US6428173B1 (en) * | 1999-05-03 | 2002-08-06 | Jds Uniphase, Inc. | Moveable microelectromechanical mirror structures and associated methods |
US6143997A (en) * | 1999-06-04 | 2000-11-07 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Low actuation voltage microelectromechanical device and method of manufacture |
JP2001076605A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-03-23 | Advantest Corp | 集積型マイクロスイッチおよびその製造方法 |
US6218911B1 (en) * | 1999-07-13 | 2001-04-17 | Trw Inc. | Planar airbridge RF terminal MEMS switch |
IL147475A0 (en) * | 1999-07-20 | 2002-08-14 | Memlink Ltd | Microelectromechanincal device with moving element |
US6229640B1 (en) * | 1999-08-11 | 2001-05-08 | Adc Telecommunications, Inc. | Microelectromechanical optical switch and method of manufacture thereof |
US6307452B1 (en) * | 1999-09-16 | 2001-10-23 | Motorola, Inc. | Folded spring based micro electromechanical (MEM) RF switch |
CA2323189A1 (en) | 1999-10-15 | 2001-04-15 | Cristian A. Bolle | Dual motion electrostatic actuator design for mems micro-relay |
EP1093143A1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-04-18 | Lucent Technologies Inc. | Flip-chip bonded micro-relay on integrated circuit chip |
US6667724B2 (en) * | 2001-02-26 | 2003-12-23 | Time Domain Corporation | Impulse radar antenna array and method |
JP3651404B2 (ja) * | 2001-03-27 | 2005-05-25 | オムロン株式会社 | 静電マイクロリレー、並びに、該静電マイクロリレーを利用した無線装置及び計測装置 |
US6917268B2 (en) * | 2001-12-31 | 2005-07-12 | International Business Machines Corporation | Lateral microelectromechanical system switch |
US6621135B1 (en) * | 2002-09-24 | 2003-09-16 | Maxim Integrated Products, Inc. | Microrelays and microrelay fabrication and operating methods |
JP4066928B2 (ja) * | 2002-12-12 | 2008-03-26 | 株式会社村田製作所 | Rfmemsスイッチ |
US6882256B1 (en) * | 2003-06-20 | 2005-04-19 | Northrop Grumman Corporation | Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch |
US20070236307A1 (en) * | 2006-04-10 | 2007-10-11 | Lianjun Liu | Methods and apparatus for a packaged MEMS switch |
US7141989B1 (en) * | 2006-04-10 | 2006-11-28 | Freescale Semiconductor, Inc. | Methods and apparatus for a MEMS varactor |
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