ES2288111B1 - Conjunto electrooptico reflector miniaturizado para el procesado de una señal luminosa y procedimiento correspondiente. - Google Patents
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Abstract
Conjunto electroóptico reflector miniaturizado para el procesado de una señal luminosa y procedimiento correspondiente. Conjunto MEMS electroóptico reflector que comprende un dispositivo con un elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) es una pieza suelta, mecánicamente independiente de su entorno y es apto para efectuar un desplazamiento a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (15), y una superficie reflectora (19), apta para reflejar un haz de luz incidente y solidaria al elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) se mueve en el espacio intermedio (5) una distancia tal que el camino óptico del haz de luz reflejado se modifica en un valor equivalente a la mitad de su longitud de onda. Ello permite provocar interferencias constructivas o destructivas en función de la posición del elemento conductor (7).
Description
Conjunto electroóptico reflector miniaturizado
para el procesado de una señal luminosa y procedimiento
correspondiente.
La invención se refiere a un conjunto
electroóptico reflector miniaturizado para el procesado de una
señal luminosa. Los conjuntos electroópticos reflectores
miniaturizados incluyen componentes miniaturizados pertenecientes a
la familia de los dispositivos usualmente denominados MEMS (micro
electro-mechanical systems - sistemas
microelectromecánicos), en particular de los dispositivos
denominados Digital Micromirror Devices (dispositivos de
microespejo digitales, DMD®). En general la señal luminosa puede ser
monocromática, en cuyo caso estará definida por tener una
determinada longitud de onda, o polícroma, en cuyo caso tendrá una
pluralidad de longitudes de onda, una de las cuales será a la que se
haga referencia en la presente descripción y reivindicaciones. Es
decir cuando el conjunto electroóptico procese una señal luminosa
policroma, su actuación tendrá por función afectar a una de las
longitudes de onda presentes en la luz policroma. En algunos casos,
como se describirá más adelante, el conjunto electroóptico puede
afectar a varias longitudes de onda específicas comprendidas dentro
del espectro de la luz policroma que conforma la señal
luminosa.
La invención tiene asimismo por objeto un
procedimiento para el procesado de una señal luminosa que comprende
una longitud de onda predeterminada mediante un conjunto
electroóptico de acuerdo con la invención.
La invención se refiere también a un
procedimiento de actuación de un conjunto electroóptico de acuerdo
con la invención.
Son conocidos los conjuntos electroópticos
reflectores miniaturiados que procesan una señal luminosa incidente
sobre los mismos. Una familia de estos conjuntos electroópticos
está formada por unos dispositivos que son aptos para reflejar la
señal luminosa incidente cuando están en un primer estado y que son
aptos para provocar una interferencia destructiva en dicha señal
luminosa, cancelándola, cuando están en un segundo estado. Para
ello los dispositivos tienen la superficie reflectora montada en
voladizo de manera que, mediante la aplicación de unos campos
electroestáticos adecuados, se puede desplazar la superficie
reflectora hacia una posición determinada, venciendo la fuerza
elástica del material que con forma el voladizo. Al anular los
campos electroestáticos, la superficie reflectora vuelve a su
posición original gracias a la fuerza elástica del material en
voladizo. Un ejemplo de estos conjuntos electroópticos es el
dispositivo GLV® (Grating Light Valve) desarrollado por Silicon
Light Machines y descrito, por ejemplo, en el documento "The
Grating Light Valve: Revolutionizing Display Technology", D.M.
Bloom, consultable en el portal de Internet
www.siliconlight.com. Otro ejemplo es el dispositivo GEMS
(Grating Electromechanical System) desarrollado por Kodak Research
and Development, consultable en el portal de Internet
www.kodak.com/US/en/corp/researchDevelopment/technologyFeatures/gems.html.
Son también conocidos los dispositivos
electroópticos reflectores digitales miniaturizados como, por
ejemplo, los descritos en el documento "A
MEMS-Based Projection Display", de Peter F. Van
KESSEL, et al, Proceedings of the IEEE, Vol. 86, No. 8,
Agosto 1998. Estos dispositivos comprenden una superficie reflectora
capaz de adoptar dos posiciones en el espacio que forman un ángulo
no nulo. De esta manera, un rayo incidente sobre la superficie
reflectora puede ser desviado en una dirección u otra en función de
la posición de la superficie reflectora. La superficie reflectora
está montada sobre una capa de material que está en voladizo y que,
al ser sometida a unos campos electroestáticos, es capaz de
doblarse en una u otra dirección.
Sin embargo todos estos dispositivos tienen una
serie de inconvenientes, como es la necesidad de una tensión de
activación elevada (usualmente superior a los 50 V). Otros
inconvenientes son, por ejemplo:
- unos tamaños relativamente grandes (por
ejemplo, de 16 x 16 micras),
- un consumo elevado de potencia,
- una resolución limitada (como consecuencia del
tamaño relativamente grande),
- problemas de tensiones mecánicas residuales en
el material que forma el voladizo, lo que puede provocar que la
orientación real adquirida por la superficie receptora no coincida
con la orientación deseada.
Por otro lado son conocidos los dispositivos
electroópticos digitales miniaturizados que comprenden:
- una primera zona enfrentada a una segunda
zona,
- una primera placa de condensador dispuesta en
la primera zona,
\newpage
- una segunda placa de condensador y una tercera
placa de condensador dispuestas en la segunda zona y enfrentadas a
la primera placa de condensador,
- un espacio intermedio dispuesto entre la
primera zona y la segunda zona,
- un elemento conductor dispuesto en el espacio
intermedio, donde el elemento conductor es mecánicamente
independiente de ambas zonas y siendo apto para efectuar un
desplazamiento a través del espacio intermedio, desde un primer
extremo, donde el elemento conductor está próximo a la primera zona,
hasta un segundo extremo, donde el elemento conductor está próximo a
la segunda zona, y viceversa, en función de unos voltajes presentes
en las primera, segunda y tercera placas de condensador,
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria al elemento conductor.
Efectivamente, estos dispositivos están
descritos en la solicitud PCT WO 2004/046807, del mismo
solicitante, publicada el 3 de Junio de 2004. En particular en pág.
19 lín. 7 - pág. 22 lín. 24, pág. 23 lín. 12 - 28, y pág. 24 lín. 21
- 31 se describen diversas geometrías de este tipo de dispositivos y
en pág. 4 lín. 6 - pág. 5 lín. 13, pág. 5 lín. 29 - pág. 6 lín. 8,
pág. 6 lín. 28 - pág. 8 lín. 7, y pág. 18 lín. 4 - pág. 19 lín. 2
se describe su modo de funcionamiento.
Sin embargo, en la solicitud PCT WO 2004/046807
únicamente se describe la posibilidad de que estos dispositivos
interrumpan o desvíen un haz de luz mediante un movimiento de
traslación, y el haz de luz es de dimensiones pequeñas respecto del
dispositivo. No tiene lugar ningún fenómeno de cancelación o
interferencia en el haz de luz reflejado. Además, la orientación
espacial del elemento conductor al pasar del primer extremo al
segundo extremo no varía.
La invención tiene por objeto superar estos
inconvenientes. Esta finalidad se consigue mediante un conjunto
electroóptico reflector miniaturizado del tipo indicado al
principio caracterizado porque comprende:
[a] un dispositivo electroóptico reflector
digital miniaturizado que, a su vez, comprende:
- -
- una primera zona enfrentada a una segunda zona,
- -
- una primera placa de condensador dispuesta en dicha la zona,
- -
- una segunda placa de condensador dispuesta en la segunda zona y enfrentada a la primera placa de condensador, donde la segunda placa de condensador es menor o igual que la primera placa de condensador,
- -
- una tercera placa de condensador dispuesta en la segunda zona, donde la tercera placa de condensador es menor o igual que la primera placa de condensador, y donde las segunda y tercera placas de condensador son, juntas, mayores que la primera placa de condensador,
- -
- un espacio intermedio dispuesto entre la primera zona y la segunda zona,
- -
- un elemento conductor dispuesto en el espacio intermedio, donde el elemento conductor es mecánicamente independiente de las primera zona y segunda zona y es apto para efectuar un desplazamiento a través del espacio intermedio, desde un primer extremo, donde el elemento conductor está en contacto con la primera zona, hasta un segundo extremo, donde el elemento conductor está en contacto con la segunda zona y viceversa, en función de unos voltajes presentes en las primera, segunda y tercera placas de condensador,
- -
- una superficie reflectora, apta para reflejar un haz de luz incidente, solidaria al elemento conductor, y
[b] una fuente de luz apta para emitir la señal
luminosa, donde la fuente de luz está orientada de tal manera que
la señal luminosa incide sobre la superficie reflectora, definiendo
un camino óptico, tanto si el elemento conductor está en el primer
extremo como si está en el segundo extremo,
y porque la diferencia entre los caminos ópticos
recorridos por la señal luminosa cuando el elemento conductor pasa
del primer extremo al segundo extremo o viceversa, es igual a la
mitad de la longitud de onda, o un múltiplo impar de la mitad de la
longitud de onda, donde la diferencia es debida al desplazamiento
realizado por la superficie reflectora.
Efectivamente, de esta manera se puede provocar
un desfase de la señal luminosa reflejada igual a media longitud de
onda (o un múltiplo impar de medias longitudes de onda). Combinando
adecuadamente esta señal luminosa desfasada con respecto de otra
señal luminosa que no haya experimentado este desfase, se puede
conseguir una interferencia destructiva, o cancelación, de la señal
luminosa. Para ello se desplaza un elemento conductor que es una
pieza suelta y que, por lo tanto, puede ser desplazada sin tener
que vencer fuerzas mecánicas elásticas como es en el caso de los
conjuntos electroópticos del estado de la técnica. Además, el
elemento conductor no está en contacto eléctrico con su entorno
durante su desplazamiento. Ello permite resolver los problemas
anteriormente indicados ya que el elemento conductor puede ser
desplazado mediante tensiones de activación pequeñas, puede
fabricarse con tamaños menores lo que mejora la resolución, el
consumo de potencia se ve asimismo reducido, y no existen problemas
de tensiones mecánicas residuales ya que no es necesario un voladizo
que deba ser deformado.
Preferentemente el conjunto tiene una segunda
superficie reflectora fija separada de la superficie reflectora,
según el camino óptico, un valor igual a la cuarta parte de la
longitud de onda, o un múltiplo impar de la cuarta parte de la
longitud de onda, cuando el elemento conductor está en uno de los
primer extremo y segundo extremo. Efectivamente esta superficie
reflectora fija será la que refleje la señal luminosa no desfasada.
Entonces, cuando la superficie reflectora solidaria al elemento
conductor esté en uno de los extremos, la señal luminosa reflejada
en ella estará en concordancia de fase con la señal reflejada en la
superficie reflectora fija, y el conjunto electroóptico reflejará
en su totalidad la señal luminosa incidente. Sin embargo cuando la
superficie reflectora solidaria al elemento conductor esté en el
extremo opuesto, la señal luminosa reflejada en ella estará
desfasada media longitud de onda respecto de la señal reflejada en
la superficie reflectora fija, lo cual provocará la cancelación de
ambas de manera que el conjunto electroóptico no reflejará (visto
en su conjunto) la señal luminosa incidente. Preferentemente la
superficie reflectora fija está en el propio dispositivo
electroóptico, si bien también es posible que el conjunto
electroóptico tenga la superficie reflectora fija dispuesta en un
lugar independiente del dispositivo electroóptico, por ejemplo
adyacente al mismo.
La geometría del elemento conductor puede ser
diversa. Así, por ejemplo, una solución ventajosa se obtiene cuando
el elemento conductor tiene un cuerpo principal que es una lámina
plana a partir de la cual se extiende un brazo de soporte en cuyo
extremo se dispone la superficie reflectora. De esta manera se
"separan" las dos funciones: el cuerpo principal es
responsable de que se realice el desplazamiento y puede estar
alojado en el interior del dispositivo electroóptico, mientras que
la superficie reflectora puede estar en el exterior del dispositivo
electroóptico y puede tener una geometría optimizada para realizar
la función de reflexión. El brazo de soporte los une mecánicamente
y "atraviesa" el dispositivo electroóptico a través de una
abertura prevista en el mismo. El brazo de soporte puede tener
cualquier geometría adecuada a su función. En este sentido puede
estar formado por una única columna, por una pluralidad de
columnas, o por cualquier otra geometría adecuada.
Alternativamente, otra solución ventajosa se
tiene cuando el elemento conductor tiene un cuerpo principal que es
una lámina plana sobre la que se extiende la superficie reflectora,
donde la superficie reflectora está orientada hacia una de las
primera zona y segunda zona, la cual presenta una abertura que
permite el paso de la señal luminosa. En este caso se simplifica la
geometría del elemento conductor y se reducen las masas en
movimiento. A cambio se ha de prever una abertura en el dispositivo
electroóptico lo suficientemente grande como para permitir el paso
de una parte significativa de la señal luminosa.
En general, un dispositivo electroóptico
determinado será capaz de afectar a una señal luminosa de una
longitud de onda determinada. En el caso de que la señal luminosa
sea polícroma puede ser interesante tener un conjunto electroóptico
capaz de afectar a más de una longitud de onda determinada. En este
sentido, una forma ventajosa de realización de la invención se
obtiene cuando el conjunto electroóptico tiene tres grupos de
dispositivos electroópticos, donde los dispositivos electroópticos
de cada grupo son aptos para el procesado de una señal luminosa que
comprende una misma longitud de onda determinada, y donde cada grupo
es apto para el procesado de una señal luminosa que comprende una
longitud de onda determinada diferente de la de los otros grupos.
Por ejemplo se podrían tener - tres grupos cada uno apto para
afectar a la luz roja, azul, y verde, respectivamente.
Distribuyendo los dispositivos electroópticos de manera que estén
agrupados por triadas (tres dispositivos, uno para cada color) se
podría procesar señales policromas y, por ejemplo, formar imágenes
en color.
Otra forma ventajosa de realización de la
invención se obtiene cuando el conjunto electroóptico comprende,
adicionalmente, una capa semitransparente dispuesta a una distancia
de la mitad de la longitud de onda (o de un múltiplo de mitades de
onda), medida según la dirección del camino óptico. En este caso la
capa semitransparente hace una función equivalente a la superficie
reflectora fija: la capa semitransparente reflejará siempre parte
de la señal luminosa sin desfasarla, mientras que la parte de señal
luminosa que atraviesa la capa semitransparente incidirá sobre la
superficie reflectora solidaria con el elemento conductor y estará
en fase o desfasada media longitud de onda respecto de la señal
reflejada en la capa semitransparente en función de la posición del
elemento conductor. En general, la capa semitransparente no tiene
por que estar ubicada en las cercanías del dispositivo, sino que,
por el contrario, puede ponerse, por ejemplo, en la superficie
externa del chip (siempre que la distancia cumpla con la condición
de ser un múltiplo de la mitad de la longitud de onda).
Las alternativas descritas hasta el momento
presuponen la existencia de una fuente luminosa dispuesta en una
posición relativa determinada respecto del dispositivo
electroóptico. De esta forma se define un camino óptico determinado
y se puede diseñar adecuadamente la geometría del conjunto
electroóptico par que tenga lugar el citado desfase de la señal
reflejada. Sin embargo otra forma preferente de la invención se
obtiene cuando el conjunto electroóptico comprende un dispositivo
electroóptico reflector digital miniaturizado que, a su vez,
comprende:
- una primera zona enfrentada a una segunda
zona,
- una primera placa de condensador dispuesta en
la primera zona,
- una segunda placa de condensador dispuesta en
la segunda zona y enfrentada a la primera placa de condensador,
donde la segunda placa de condensador es menor o igual que la
primera placa de condensador,
- una tercera placa de condensador dispuesta en
la segunda zona, donde la tercera placa de condensador es menor o
igual que la primera placa de condensador, y donde las segunda y
tercera placas de condensador son, juntas, mayores que la primera
placa de condensador,
- un espacio intermedio dispuesto entre la
primera zona y la segunda zona,
- un elemento conductor dispuesto en el espacio
intermedio, donde el elemento conductor es mecánicamente
independiente de las primera zona y segunda zona y es apto para
efectuar un desplazamiento a través del espacio intermedio, desde un
primer extremo, donde el elemento conductor está en contacto con la
primera zona, hasta un segundo extremo, donde el elemento conductor
está en contacto con la segunda zona y viceversa, en función de
unos voltajes presentes en las primera, segunda y tercera placas de
condensador,
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria al elemento conductor,
donde la distancia recorrida por la
superficie reflectora es igual a la cuarta parte de la longitud de
onda, o un múltiplo impar de la cuarta parte de la longitud de onda,
cuando el elemento conductor pasa del primer extremo al segundo
extremo o
viceversa.
Efectivamente, en este último caso se tiene un
conjunto electroóptico adecuado para trabajar con una señal
luminosa que incide perpendicularmente (o casi perpendicularmente) a
la superficie reflectora. Este es un caso bastante habitual, por
ejemplo cuando se trata de conjuntos electroópticos reflectores
"pasivos", es decir que reflejan la luz ambiente del entorno.
Un ejemplo sería el caso de un usuario enfrentado a una pantalla
formada por estos conjuntos electroópticos e iluminada por la luz
ambiente. Lógicamente este caso concreto del conjunto electroóptico
puede combinarse con todas las alternativas y variantes indicadas
anteriormente. De hecho, este caso es un caso particular del
anterior, en el que la fuente de luz está en una posición
perpendicular o casi perpendicular a la superficie reflectora. Sin
embargo, este caso particular permite diseñar un conjunto
electroóptico que no tiene por qué comprender una fuente de luz en
una posición predeterminada, ya que se parte de la premisa que la
fuente de luz, ajena al conjunto, ya tendrá dicha posición
relativa.
La invención tiene también por objeto un
procedimiento para el procesado de una señal luminosa que comprende
una longitud de onda determinada, mediante un conjunto electroóptico
reflector miniaturizado que comprende un dispositivo electroóptico
reflector digital miniaturizado que comprende:
- una primera zona enfrentada a una segunda
zona,
- una primera placa de condensador dispuesta en
la primera zona,
- una segunda placa de condensador dispuesta en
la segunda zona y enfrentada a la primera placa de condensador,
donde la segunda placa de condensador es menor o igual que la
primera placa de condensador,
- una tercera placa de condensador dispuesta en
la segunda zona, donde la tercera placa de condensador es menor o
igual que la primera placa de condensador, y donde las segunda y
tercera placas de condensador son, juntas, mayores que la primera
placa de condensador,
- un espacio intermedio dispuesto entre la
primera zona y la segunda zona,
- un elemento conductor dispuesto en el espacio
intermedio, donde el elemento conductor es mecánicamente
independiente de las primera zona y segunda zona y es apto para
efectuar un desplazamiento a través del espacio intermedio, desde un
primer extremo, donde el elemento conductor está en contacto con la
primera zona, hasta un segundo extremo, donde el elemento conductor
está en contacto con la segunda zona y viceversa, en función de
unos voltajes presentes en las primera, segunda y tercera placas de
condensador,
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria al elemento conductor,
caracterizado porque se hace
incidir la señal luminosa sobre la superficie reflectora tanto si
el elemento conductor está en el primer extremo como si está en el
segundo
extremo,
y porque se modifica el camino óptico recorrido
por dicha señal luminosa, en un valor igual a la mitad de la
longitud de onda, o un múltiplo impar de la mitad de la longitud de
onda, pasando el elemento conductor del primer extremo al segundo
extremo o viceversa, debido al desplazamiento realizado por la
superficie reflectora.
Otras ventajas y características de la invención
se aprecian a partir de la siguiente descripción, en la que, sin
ningún carácter limitativo, se relatan unos modos preferentes de
realización de la invención, haciendo mención de los dibujos que se
acompañan. Las figuras muestran:
Fig. 1, un esquema simplificado de un
dispositivo electroóptico de acuerdo con el estado de la
técnica.
Fig. 2, un esquema simplificado de un
dispositivo electroóptico reflector de acuerdo con la
invención.
Fig. 3, una vista en perspectiva, explosionada
de un dispositivo electroóptico reflector de acuerdo con la
invención.
Fig. 4, una vista en perspectiva del dispositivo
electroóptico reflector de la Fig. 3,
Figs. 4A y 4B, un esquema simplificado de un
conjunto electroóptico de acuerdo con la invención con el elemento
conductor dispuesto en el primer extremo y en el segundo extremo,
respectivamente.
Fig. 4C, un esquema simplificado de un conjunto
electroóptico de acuerdo con la invención con una capa
semitransparente.
Figs. 5 y 6, una vista frontal del dispositivo
electroóptico reflector de la Fig. 3 mostrando dos orientaciones
diferentes,
Figs. 7A y 7B, un esquema de un procedimiento de
actuación empleando cuatro placas de condensador.
Figs. 8A y 8B, un esquema de un procedimiento de
actuación empleando tres placas de condensador.
Figs. 9A y 9B, un esquema de un procedimiento de
actuación empleando seis placas de condensador.
Figs. 10A y 10B, un esquema de un procedimiento
de actuación empleando seis placas de condensador y una tensión
intermedia.
Figs. 11A y 11B, un esquema de un procedimiento
de actuación empleando ocho placas de condensador.
Figs. 12A y 12B, un esquema de un procedimiento
de actuación empleando ocho placas de condensador y una tensión
intermedia.
Figs. 13A, 13B, 13C, 14A, 14B y 14C un esquema
de un procedimiento de actuación empleando 4 + 4 placas de
condensador no alineadas.
Figs. 15A, 15B y 15C, un esquema de un
procedimiento de actuación empleando 4 + 4 placas de condensador no
alineadas y una tensión intermedia.
Figs. 16A, 16B y 16C, un esquema de un
procedimiento alternativo de actuación empleando 4 + 4 placas de
condensador no alineadas.
Fig. 17, un esquema de dos posibles
orientaciones empleando 4 + 4 placas de condensador no
alineadas.
Fig. 18, un esquema de múltiples posibles
orientaciones empleando una pluralidad de placas de condensador no
alineadas.
Figs. 19A y 19B, un esquema de un procedimiento
de actuación empleando la pluralidad de placas de la Fig. 8.
En la figura 1 se muestra un esquema
simplificado de un dispositivo electroóptico, tal como se describe
en la solicitud PCT WO 2004/046807. El dispositivo electroóptico
tiene una primera zona 9 enfrentada a una segunda zona 11 (a la
izquierda y a la derecha del dibujo, respectivamente) con una
primera placa de condensador 1 dispuesta en la primera zona 9, una
segunda placa de condensador 2 y una tercera placa de condensador 3
en la segunda zona 11, enfrentadas a dicha primera placa de
condensador 1 y donde cada una de dichas segunda y tercera placas de
condensador 2, 3 son menores o iguales que la primera placa de
condensador 1 pero ambas conjuntamente son mayores que la primera
placa de condensador 1. Entre ambas zonas 9, 11 hay un espacio
intermedio 5 a lo largo del cual se puede mover un elemento
conductor 7. Un circuito de control CC gobierna las placas de
condensador. Tal como ya se especifica en la solicitud PCT WO
2004/046807, en pág. 4 lín. 6 - 21 y pág. 16 lín. 7 - 11, el
elemento conductor 7 es mecánicamente independiente de la primera
zona 9 y de la segunda zona 11, es decir, es mecánicamente
independiente de toda la estructura fija del dispositivo. Dicho de
otro modo, el elemento conductor 7 es una pieza suelta apta para
moverse libremente por el espacio intermedio 5. El elemento
conductor 7 no tiene ninguna unión física con su entorno.
En la primera zona 9 y en la segunda zona 11 hay
unos topes 13 que limitan el movimiento del elemento conductor 7 y
que definen un primer extremo y un segundo extremo.
En las figuras 2 a 4 se muestra un dispositivo
electroóptico reflector de acuerdo con la invención. En general se
puede observar la existencia de ocho placas de condensador 15 (se ha
empleado la referencia 15 para designar cualquier placa de
condensador, con independencia de que sea la primera, la segunda, la
tercera o cualquier otra placa de condensador adicional) y de unos
topes 13 (concretamente la figura 2 se ha dibujado sin topes). Como
ya se describe en la solicitud PCT WO 2004/046807, en pág. 6 lín.
28 - pág. 7 lín. 5 y pág. 18 lín. 4 - 18, la cantidad mínima
necesaria de placas de condensador para poder realizar un movimiento
en dos direcciones es de tres. Sin embargo, usualmente, los
dispositivos tienen más placas de condensador así como una
pluralidad de topes.
Usualmente es ventajoso que el elemento
conductor 7 no entre en contacto con las placas de condensador 15,
si bien en algunos casos puede ser admisible que entre en contacto
con alguna de ellas, tal como se describe en la solicitud PCT WO
2004/046807, en pág. 23 lín. 12 - 28.
El elemento conductor 7 tiene un cuerpo
principal 17 que es substancialmente una lámina plana y que soporta
una estructura en forma de mesa con una pata (o estructura de
soporte) central. La tabla de la mesa tiene una superficie
reflectora 19 sobre la que incidirá el haz de luz, y la pata
central se extiende a través de un orificio dispuesto entre las
placas de condensador 15 de la parte superior del dispositivo.
Usualmente el elemento conductor 7 tendrá un cuerpo principal 17
que, como se ha dicho anteriormente, será substancialmente un
elemento laminar y la superficie reflectora 19 será paralela al
cuerpo principal 17 del elemento conductor 7, ya que estas
geometrías son las que se obtienen de una forma más sencilla
mediante los procedimientos habituales de fabricación de MEMS.
En las figuras 4A y 4B se muestra un dispositivo
electroóptico en el que la superficie reflectora 19 se extiende
directamente sobre el cuerpo principal 17 del elemento conductor 7.
Como ya se ha dicho anteriormente esto solución es una alternativa a
la solución mostrada, por ejemplo, en la figuras 2 a 4. Asimismo
como ya se ha dicho anteriormente, el conjunto electroóptico puede
comprender la fuente de luz o no. En las presentes figuras no se ha
representado la fuente de luz, pero debe entenderse que la señal
luminosa puede proceder tanto de una fuente luminosa perteneciente
al conjunto electroóptico, de una fuente luminosa ajena al conjunto
electroóptico o, en general, puede ser luz procedente de la luz
ambiente. El dispositivo electroóptico de las figuras 4A y 4B tiene
una segunda superficie reflectora 21 fija, dispuesta en la parte
superior del mismo. Sobre esta segunda superficie reflectora 21 se
refleja la señal luminosa sin experimentar ningún desfase (esta
señal luminosa se ha indicado con un trazo continuo).
Adicionalmente, la señal luminosa pasa por una abertura 23
dispuesta en el extremo superior del dispositivo y se refleja en la
superficie reflectora 19 solidaria con el elemento conductor 7
(indicada con un trazo discontinuo). En el caso de la figura 4A el
camino óptico de la señal luminosa reflejada sobre la superficie
reflectora 19 solidaria con el elemento conductor 7 es media
longitud de onda más largo por lo que tendrá lugar una cancelación
de la señal luminosa. Cuando el elemento conductor 7 se traslada al
extremo superior (figura 4B) la señal luminosa ya no sufre una
interferencia destructiva y, por lo tanto, se refleja
íntegramente.
En la figura 4C se muestra el caso en el que el
conjunto electroóptico tiene, además, una capa semitransparente 25.
Como ya se ha dicho anteriormente, la capa semitransparente 25
refleja una parte de la señal luminosa incidente (indicada con un
trazo continuo) y deja pasar otra parte (indicada con un trazo
discontinuo). La superficie reflectora 19, solidaria al cuerpo
principal 17 del elemento conductor 7, está a una distancia de la
capa semitransparente 25 igual a un cuarto de la longitud de onda
de la señal luminosa (o un múltiplo impar de cuartos de longitud de
onda) cuando el elemento conductor 7 está en uno de los extremos, y
está a un distancia igual a la mitad de la longitud de onda (o un
múltiplo de la longitud de onda) cuando el elemento conductor 7
está en el otro extremo.
Existen otras posibles alternativas para obtener
un conjunto electroóptico de acuerdo con la invención.
Efectivamente, es posible actuar adecuadamente sobre el elemento
conductor de manera que éste realice un desplazamiento que no es una
traslación pura, lo que permite cambiar de orientación la
superficie reflectora. Esta finalidad se consigue mediante un
procedimiento de actuación de un dispositivo electroóptico del tipo
indicado anteriormente caracterizado porque comprende una etapa de
conexión de por lo menos una de las placas de condensador a un
primer voltaje y de por lo menos otra de las placas de condensador
a un segundo voltaje, donde el segundo voltaje es mayor que el
primer voltaje, donde todas y cada una de las placas de condensador
están sometidas a un voltaje determinado de manera que ninguna de
ellas queda en un estado de alta impedancia, de manera que la
proyección según el eje central de las placas de condensador
sometidas al primer voltaje tiene asimetría central respecto de la
proyección según el eje central de las placas de condensador
sometidas al segundo voltaje.
Efectivamente este procedimiento permite crear
un momento de fuerzas sobre el elemento conductor que lo hace girar
según un eje perpendicular al eje central. Por lo tanto el elemento
conductor no efectúa una traslación pura al desplazarse a través del
espacio intermedio sino que realiza un movimiento combinado de
traslación más rotación o incluso una rotación pura. Como
consecuencia de ello la superficie reflectora, que es solidaria con
el elemento conductor, cambia de orientación en el espacio. De esta
manera se puede conseguir un funcionamiento equivalente al descrito
en el documento "A MEMS-Based Projection
Display", citado anteriormente, pero sin los inconvenientes que
presenta el dispositivo descrito en dicho documento.
Ventajosamente, se puede combinar ambas
alternativas de manera que el conjunto electroóptico pueda trabajar
o bien generando una interferencia destructiva que cancela la señal
luminosa o bien desviando la señal incidente mediante el cambio de
orientación de la superficie reflectora.
La invención tiene asimismo por objeto un
procedimiento de actuación de un dispositivo electroóptico reflector
miniaturizado, donde el dispositivo es igual al descrito
anteriormente, pero adicionalmente tiene una pluralidad de placas de
condensador distribuidas con simetría de rotación según el eje
central en la primera zona y una pluralidad de placas de
condensador distribuidas con simetría de rotación según el eje
central en la segunda zona, caracterizado porque comprende una etapa
de conexión de por lo menos una de las placas de condensador a un
primer voltaje y de por lo menos otra de las placas de condensador
a un segundo voltaje, donde el segundo voltaje es mayor que el
primer voltaje, de manera que la proyección según el eje central de
las placas de condensador sometidas al primer voltaje tiene
asimetría central respecto de la proyección según el eje central de
las placas de condensador sometidas al segundo voltaje.
Efectivamente esta disposición de las placas de condensador permite
orientar la superficie reflectora en muchas direcciones, haciéndola
girar según diversos ejes perpendiculares al eje central. Al indicar
que tiene una pluralidad de placas de condensador se debe entender
que tiene tres (la primera, segunda y tercera placa de condensador)
o más placas. Con tres placas, distribuidas en triángulo, se podrían
obtener seis posiciones en el espacio diferenciadas de la superficie
reflectora, correspondientes al giro según tres ejes diferentes. Al
aumentar el n° de placas se aumenta la cantidad de ejes de giro.
Ventajosamente cuando el elemento conductor está
próximo a una de las primera zona o segunda zona, el elemento
conductor está en contacto con un circuito externo y se conecta el
elemento conductor a una tensión a través de dicho circuito
externo. Efectivamente, el elemento conductor estará usualmente en
contacto con unos topes que limitan su movimiento por ambos
extremos. Estos topes pueden ser simplemente unos topes mecánicos,
pero pueden ser parte de un circuito externo de manera que se puede
conectar el elemento conductor a una tensión determinada a través de
dichos topes. De esta manera el elemento conductor estará sometido a
una tensión determinada (mientras dure el contacto con el circuito
externo) lo que puede servir para incrementar la fuerza
electrostática aplicada al elemento conductor. De esta manera se
puede facilitar el desenganche del elemento conductor de los topes,
venciendo las fuerzas de enganche que pueden generarse entre el
elemento conductor y los topes u otras superficies de
contacto.
contacto.
La invención tiene también por objeto un
dispositivo electroóptico reflector miniaturizado del tipo indicado
anteriormente caracterizado porque comprende unos medios de control
aptos para realizar un procedimiento de acuerdo con la
invención.
En las figuras 5 y 6 se muestra como la
superficie reflectora 19 puede orientarse en dos posiciones
diferentes.
En las figuras 7A y 7B se muestra
esquemáticamente el concepto básico del procedimiento de actuación
de acuerdo con la invención. Tanto en estas figuras como en las
restantes figuras que describen el procedimiento se muestra
únicamente las placas de condensador 15 y el cuerpo principal 17
del elemento conductor 7. En las figuras se ha mostrado,
adicionalmente, el voltaje aplicado a las placas de condensador 15.
Cuando la placa de condensador muestra unas líneas horizontales en
trazos discontinuos representa que está conectada a un voltaje
"bajo" (preferentemente 0 V). Cuando la placa de condensador 15
muestra unas líneas horizontales continuas y unas líneas verticales
(formando un enladrillado) representa que está conectada a un
voltaje "alto" (V_{0}, que preferentemente será la tensión de
alimentación del circuito, pero en general cualquier voltaje
superior al voltaje "bajo"). Cuando la placa de condensador 15
muestra unas líneas horizontales continuas representa que está
conectada a un voltaje intermedio entre los dos anteriores
(preferentemente V_{0}/2). En cualquier caso debe tenerse en
cuenta que es posible invertir la polaridad de las placas de
condensador 15 obteniéndose el mismo resultado. Adicionalmente, en
las figuras 7A, 7B, 8A, 8B, 9A, 9B, 10A, 10B, 11A, 11B, 12A y 12B,
se muestra el elemento conductor 7 y las placas de condensador 15 de
perfil. Se puede suponer que las placas de condensador 15 son, en
estos casos, substancialmente cuadradas. Concretamente en las
figuras 7A y 7B se observa como la placa de condensador 15
conectada a un voltaje alto es asimétrica respecto del eje central
(que sería una recta vertical que pasaría por el medio de la
figura). Por lo tanto se crea un par de fuerzas que hace girar al
elemento conductor 7 tal como se ha representado esquemáticamente
en las figuras. Como se verá a continuación, en los demás ejemplos
tiene lugar el mismo fenómeno.
En las figuras 8A y 8B se ve un caso
simplificado del caso anterior. Como puede verse en las figuras 7A
y 7B las dos placas de condensador 15 superiores están siempre al
mismo voltaje. Por lo tanto se pueden unir físicamente de manera que
formen una única placa de condensador 15. Es el caso mostrado en
las figuras 8A y 8B, en el que el dispositivo tiene el mínimo
imprescindible de placas de condensador 15: tres placas.
En general, preferentemente se conecta por lo
menos una placa de condensador 15 adicional a un voltaje intermedio
entre el primer voltaje y el segundo voltaje. Ello permite hacer
que el dispositivo sea más estable frente a influencias externas. De
hecho, en el caso de que el dispositivo tenga cuatro o más placas
de condensador 15 en cada zona, puede ser interesante conectar
alguna de las placas 15 a un segundo voltaje intermedio, diferente
del anterior. De esta manera se puede ajustar con más precisión el
momento de fuerzas aplicado al elemento conductor 7.
En una forma ventajosa de realización, el
dispositivo tiene tres placas de condensador 15 alineadas en la
primera zona 9 y tres placas de condensador 15 alineadas en la
segunda zona 11, y se conecta la placa de condensador 15 central de
cada una de las zonas a un mismo voltaje. Esta alternativa está
reflejada en las figuras 9A y 9B. En este caso es particularmente
ventajoso que se conecte una de las placas de condensador 15
laterales de cada una de las zonas a un voltaje intermedio, tal
como se muestra en las figuras 10A y 10B.
En otra forma preferente de realización, el
dispositivo tiene cuatro placas de condensador 15 alineadas en la
primera zona 9 y cuatro placas de condensador 15 alineadas en la
segunda zona 11, y se conectan tres placas de condensador 15 de la
primera zona 9 y tres placas de condensador 15 de la segunda zona 11
a un mismo voltaje, tal como se muestra en las figuras 11A y 11B.
En este caso vuelve a ser ventajoso que se conecten dos placas de
condensador 15 de la primera zona 9 y dos placas de condensador 15
de la segunda zona 11 a un voltaje intermedio a fin de hacer el
conjunto más estable frente a influencias externas, tal como se
muestra en las figuras 12A y 12B.
Otra forma ventajosa de realización de la
invención se obtiene cuando el dispositivo tiene cuatro placas de
condensador 15 no alineadas en la primera zona 9 y cuatro placas de
condensador 15 no alineadas en la segunda zona 11, y se conectan
tres placas de condensador 15 de la primera zona 9 y tres placas de
condensador 15 de la segunda zona 11 a un mismo voltaje, tal como
se muestra en las figuras 13A, 13B, 13C, 14A, 14B y 14C. En la
figura 13A se muestra una vista en planta de las placas de
condensador 15 de la zona inferior (por ejemplo, la primera zona 9),
en la figura 13B se muestra una vista en planta de las placas de
condensador 15 de la zona superior (que, siguiendo el mismo
ejemplo, sería la segunda zona 11) y en la figura 13C se muestra
una vista de perfil, con una ligera perspectiva para que se
aprecien las cuatro placas de condensador 15 de cada zona. De hecho,
las figuras 13A y 13B son equivalentes a las citadas proyecciones
según el eje central sobre un plano perpendicular al eje central.
En este caso se emplea el hecho de que el dispositivo, realmente,
es tridimensional y que las placas de condensador 15 no tienen
porqué estar alineadas, sino que pueden estar distribuidas a lo
largo de una superficie bidimensional (usualmente a lo largo de un
plano). También en este caso es ventajoso que se conecten dos
placas de condensador 15 de la primera zona 9 y dos placas de
condensador 15 de la segunda zona 11 a un voltaje intermedio, tal
como se muestra en las figuras 15A, 15B y 15C. Existen otras
alternativas de actuación, como puede ser la mostrada en las figuras
16A, 16B y 16C, en las que las placas de condensador 15 conectadas
a la tensión alta y a la tensión baja no están adyacentes, pero es
ventajoso que, cuando las placas de condensador 15 están
distribuidas en forma de cuadrado tanto en la primera zona 9 como en
la segunda zona 11, las placas de condensador 15 conectadas a la
tensión alta y a la tensión baja estén adyacentes (o, dicho de una
forma más correcta, que sus respectivas proyecciones según el eje
central sobre un plano perpendicular al eje central sean
adyacentes).
La figura 17 se muestra como, mediante un
dispositivo que tiene cuatro placas de condensador 15 no alineadas
y dispuestas en forma de cuadrado en cada una de las zonas, se
pueden conseguir dos pares de orientaciones del elemento conductor
7 según se haga girar al elemento conductor 7 según uno de los dos
ejes indicados en la figura. Para ello se emplearía uno de los
procedimientos mostrados en las figuras 13A, 13B, 13C, 14A, 14B,
14C y/o 15A, 15B, 15C, tal como están representadas o bien giradas
90°. Sin embargo también se podría emplear el procedimiento mostrado
en las figuras 16A, 16B, 16C, en cuyo caso tendríamos unos ejes de
giro inclinados 45° respecto de los mostrados en la figura 17.
En el caso de disponer de un dispositivo que
tiene una pluralidad de placas de condensador 15 distribuidas con
simetría de rotación según el eje central en ambas zonas, entonces
el procedimiento de actuación se caracteriza preferentemente porque
se conecta por lo menos una placa de condensador 15 adicional a un
voltaje intermedio entre el primer voltaje y el segundo voltaje.
Preferentemente todas y cada una de las placas 15 está sometida a
un voltaje determinado de manera que ninguna de ellas queda en un
estado de alta impedancia.
El hecho de conseguir que ninguna de las placas
de condensador 15 quede en un estado de alta impedancia es una
solución ventajosa que es aplicable para cualquiera de las
diferentes alternativas de la presente invención. Efectivamente, en
general es posible controlar el desplazamiento del elemento
conductor 7 de diversas maneras, combinando placas de condensador 15
conectadas a un voltaje bajo, placas de condensador 15 conectadas a
un voltaje alto y, en determinados casos, placas de condensador 15
dejadas en un estado de alta impedancia. Sin embargo, se ha
observado que, en la práctica, conseguir un estado de alta
impedancia realmente eficaz no es sencillo. De hecho se ha observado
que para poder garantizar que una placa de condensador 15 esté en
un estado de alta impedancia realmente eficaz es necesario el
empleo de por lo menos un relé adicional. Este relé adicional
consume espacio por lo que es, a priori, indeseable. Por lo
tanto es ventajoso emplear aquellas formas de control del elemento
conductor 7 que no requieran de la presencia de una placa de
condensador 15 en estado de alta impedancia. Sin embargo, en
general, los dispositivos de acuerdo con la invención tienen una
pluralidad de placas de condensador 15. En determinados casos no
todas ellas participan en el control del elemento conductor 7. La
presente invención especifica que solamente aquéllas placas de
condensador 15 que participan en el control del elemento conductor
7 en un momento dado deben estar conectadas a un voltaje determinado
(es decir no deben estar en un estado de alta impedancia), sin
embargo no hay ninguna exigencia por lo que respecta a aquéllas
placas de condensador 15 que, en un momento dado, no participan en
el control del elemento conductor 7. Por otro lado, se debe tener
en cuenta que el problema derivado del hecho de tener una placa de
condensador 15 en estado de alta impedancia es que, con períodos de
tiempo largos, puede alcanzar algún voltaje determinado por
condiciones del entorno a priori desconocidas. Para evitar
este inconveniente puede resultar recomendable garantizar que
ninguna de las placas de condensador 15 presentes en el dispositivo
estén en ningún momento en un estado de alta impedancia.
Claims (21)
1. Conjunto electroóptico reflector
miniaturizado para el procesado de una señal luminosa que comprende
una longitud de onda determinada, caracterizado porque
comprende:
[a] un dispositivo electroóptico reflector
digital miniaturizado que, a su vez, comprende:
- -
- una primera zona (9) enfrentada a una segunda zona (11),
- -
- una primera placa de condensador (1) dispuesta en dicha primera zona (9),
- -
- una segunda placa de condensador (2) dispuesta en dicha segunda zona (11) y enfrentada a dicha primera placa de condensador (1), donde dicha segunda placa de condensador (2) es menor o igual que dicha primera placa de condensador (1),
- -
- una tercera placa de condensador (3) dispuesta en dicha segunda zona (11), donde dicha tercera placa de condensador (3) es menor o igual que dicha primera placa de condensador, y donde dichas segunda y tercera placas de condensador (2, 3) son, juntas, mayores que dicha primera placa de condensador (1),
- -
- un espacio intermedio (5) dispuesto entre dicha primera zona (9) y dicha segunda zona (11),
- -
- un elemento conductor (7) dispuesto en dicho espacio intermedio (5), dicho elemento conductor (7) siendo mecánicamente independiente de dichas primera zona (9) y segunda zona (11) y siendo apto para efectuar un desplazamiento a través de dicho espacio intermedio (5), desde un primer extremo, donde dicho elemento conductor (7) está en contacto con dicha primera zona (9), hasta un segundo extremo, donde dicho elemento conductor (7) está en contacto con dicha segunda zona (11) y viceversa, en función de unos voltajes presentes en dichas primera, segunda y tercera placas de condensador (1, 2, 3),
- -
- una superficie reflectora (19), apta para reflejar un haz de luz incidente, solidaria a dicho elemento conductor (7), y
[b] una fuente de luz apta para emitir dicha
señal luminosa, donde dicha fuente de luz está orientada de tal
manera que dicha señal luminosa incide sobre dicha superficie
reflectora (19), definiendo un camino óptico, tanto si dicho
elemento conductor (7) está en dicho primer extremo como si está en
dicho segundo extremo,
y porque la diferencia entre los caminos ópticos
recorridos por dicha señal luminosa cuando dicho elemento conductor
(7) pasa de dicho primer extremo a dicho segundo extremo o
viceversa, es igual a la mitad de dicha longitud de onda, o un
múltiplo impar de dicha mitad de dicha longitud de onda, donde
dicha diferencia es debida al desplazamiento realizado por dicha
superficie reflectora (19).
2. Conjunto según la reivindicación 1,
caracterizado porque tiene una segunda superficie reflectora
(21) fija separada de dicha superficie reflectora (19), según dicho
camino óptico, un valor igual a la cuarta parte de dicha longitud de
onda, o un múltiplo impar de dicha cuarta parte de dicha longitud
de onda, cuando dicho elemento conductor (7) está en uno de dichos
primer extremo y segundo extremo.
3. Conjunto según la reivindicación 1,
caracterizado porque dicho elemento conductor (7) tiene un
cuerpo principal (17) que es una lámina plana a partir de la cual
se extiende un brazo de soporte en cuyo extremo se dispone dicha
superficie reflectora (19).
4. Conjunto según una de las reivindicaciones 1
ó 2, caracterizado porque dicho elemento conductor (7) tiene
un cuerpo principal (17) que es una lámina plana sobre la que se
extiende dicha superficie reflectora (19), donde dicha superficie
reflectora (19) está orientada hacia una de dichas primera zona (9)
y segunda zona (11), la cual presenta una abertura (23) que permite
el paso de dicha señal luminosa.
5. Conjunto según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 4, caracterizado porque tiene tres
grupos de dichos dispositivos electroópticos, donde los dispositivos
electroópticos de cada grupo son aptos para el procesado de una
señal luminosa que comprende una misma longitud de onda
determinada, y donde cada grupo es apto para el procesado de una
señal luminosa que comprende una longitud de onda determinada
diferente de la de los otros grupos.
6. Conjunto según la reivindicación 4,
caracterizado porque comprende, adicionalmente, una capa
semitransparente (25) dispuesta a una distancia de la mitad de
dicha longitud de onda, medida según la dirección de dicho camino
óptico.
7. Conjunto electroóptico reflector
miniaturizado para el procesado de una señal luminosa que comprende
una longitud de onda determinada, caracterizado porque
comprende un dispositivo electroóptico reflector digital
miniaturizado que, a su vez, comprende:
- una primera zona (9) enfrentada a una segunda
zona (11),
- una primera placa de condensador (1) dispuesta
en dicha primera zona (9),
- una segunda placa de condensador (2) dispuesta
en dicha segunda zona (11) y enfrentada a dicha primera placa de
condensador (1), donde dicha segunda placa de condensador (2) es
menor o igual que dicha primera placa de condensador (1),
- una tercera placa de condensador (3) dispuesta
en dicha segunda zona (11), donde dicha tercera placa de
condensador (3) es menor o igual que dicha primera placa de
condensador (1), y donde dichas segunda y tercera placas de
condensador (2, 3) son, juntas, mayores que dicha primera placa de
condensador (1),
- un espacio intermedio (5) dispuesto entre
dicha primera zona (9) y dicha segunda zona (11),
- un elemento conductor (7) dispuesto en dicho
espacio intermedio (5), dicho elemento conductor (7) siendo
mecánicamente independiente de dichas primera zona (9) y segunda
zona (11) y siendo apto para efectuar un desplazamiento a través de
dicho espacio intermedio (5), desde un primer extremo, donde dicho
elemento conductor (7) está en contacto con dicha primera zona (9),
hasta un segundo extremo, donde dicho elemento conductor (7) está
en contacto con dicha segunda zona (11) y viceversa, en función de
unos voltajes presentes en dichas primera, segunda y tercera placas
de condensador (1, 2, 3),
- una superficie reflectora (19), apta para
reflejar un haz de luz incidente, solidaria a dicho elemento
conductor (7),
donde la distancia recorrida por
dicha superficie reflectora (19) es igual a la cuarta parte de
dicha longitud de onda, o un múltiplo impar de dicha cuarta parte de
dicha longitud de onda, cuando dicho elemento conductor (7) pasa de
dicho primer extremo a dicho segundo extremo o
viceversa.
8. Procedimiento para el procesado de una señal
luminosa que comprende una longitud de onda determinada, mediante
un conjunto electroóptico reflector miniaturizado que comprende un
dispositivo electroóptico reflector digital miniaturizado que
comprende:
- una primera zona (9) enfrentada a una segunda
zona (11),
- una primera placa de condensador (1) dispuesta
en dicha primera zona (9),
- una segunda placa de condensador (2) dispuesta
en dicha segunda zona (11) y enfrentada a dicha primera placa de
condensador (1), donde dicha segunda placa de condensador (2) es
menor o igual que dicha primera placa de condensador (1),
- una tercera placa de condensador (3) dispuesta
en dicha segunda zona (11), donde dicha tercera placa de
condensador (3) es menor o igual que dicha primera placa de
condensador (1), y donde dichas segunda y tercera placas de
condensador (2, 3) son, juntas, mayores que dicha primera placa de
condensador (1),
- un espacio intermedio (5) dispuesto entre
dicha primera zona (9) y dicha segunda zona (11),
- un elemento conductor (7) dispuesto en dicho
espacio intermedio (5), dicho elemento conductor (7) siendo
mecánicamente independiente de dichas primera zona (9) y segunda
zona (11) y siendo apto para efectuar un desplazamiento a través de
dicho espacio intermedio (5), desde un primer extremo, donde dicho
elemento conductor (7) está en contacto con dicha primera zona (9),
hasta un segundo extremo, donde dicho elemento conductor (7) está
en contacto con dicha segunda zona (11) y viceversa, en función de
unos voltajes presentes en dichas primera, segunda y tercera placas
de condensador (1, 2, 3),
- una superficie reflectora (19), apta para
reflejar un haz de luz incidente, solidaria a dicho elemento
conductor (7),
caracterizado porque se hace
incidir dicha señal luminosa sobre dicha superficie reflectora (19)
tanto si dicho elemento conductor (7) está en dicho primer extremo
como si está en dicho segundo
extremo,
y porque se modifica el camino óptico recorrido
por dicha señal luminosa, en un valor igual a la mitad de dicha
longitud de onda, o un múltiplo impar de dicha mitad de dicha
longitud de onda, pasando dicho elemento conductor (7) de dicho
primer extremo a dicho segundo extremo o viceversa, debido al
desplazamiento realizado por dicha superficie reflectora (19).
9. Procedimiento de actuación de un conjunto
electroóptico según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 7, donde
dicho dispositivo comprende un eje central que se extiende desde
dicha primera zona (9) hasta dicha segunda zona (11) y pasa por el
centro de masas de dicho elemento conductor (7), donde dichas
primera, segunda y tercera placa de condensador (1, 2, 3) son aptas
para ser proyectadas según dicho eje central sobre un plano
perpendicular a dicho eje central caracterizado porque
comprende una etapa de conexión de por lo menos una de dichas placas
de condensador (15) a un primer voltaje y de por lo menos otra de
dichas placas de condensador (15) a un segundo voltaje, donde dicho
segundo voltaje es mayor que dicho primer voltaje, donde todas y
cada una de dichas placas de condensador (15) están sometidas a un
voltaje determinado de manera que ninguna de ellas queda en un
estado de alta impedancia, de manera que dicha proyección según
dicho eje central de las placas de condensador (15) sometidas a
dicho primer voltaje tiene asimetría central respecto de dicha
proyección según dicho eje central de las placas de condensador (15)
sometidas a dicho segundo voltaje.
10. Procedimiento según la reivindicación 9,
caracterizado porque se conecta por lo menos una placa de
condensador (15) adicional a un voltaje intermedio entre dicho
primer voltaje y dicho segundo voltaje.
11. Procedimiento según la reivindicación 9,
donde dicho dispositivo tiene tres placas de condensador (15)
alineadas en dicha primera zona (9) y tres placas de condensador
(15) alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conecta la placa de condensador (15) central de cada una
de dichas zonas a un mismo voltaje.
12. Procedimiento según la reivindicación 11,
caracterizado porque se conecta una de las placas de
condensador (15) laterales de cada una de dichas zonas a dicho
voltaje intermedio.
13. Procedimiento según la reivindicación 9,
donde dicho dispositivo tiene cuatro placas de condensador (15)
alineadas en dicha primera zona (9) y cuatro placas de condensador
(15) alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conectan tres placas de condensador (15) de dicha primera
zona (9) y tres placas de condensador (15) de dicha segunda zona
(11) a un mismo voltaje.
14. Procedimiento según la reivindicación 9,
donde dicho dispositivo tiene cuatro placas de condensador (15)
alineadas en dicha primera zona (9) y cuatro placas de condensador
(15) alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conectan dos placas de condensador (15) de dicha primera
zona (9) y dos placas de condensador (15) de dicha segunda zona
(11) a dicho voltaje intermedio.
15. Procedimiento según la reivindicación 9,
donde dicho dispositivo tiene cuatro placas de condensador (15) no
alineadas en dicha primera zona (9) y cuatro placas de condensador
(15) no alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conectan tres placas de condensador (15) de dicha primera
zona (9) y tres placas de condensador (15) de dicha segunda zona
(11) a un mismo voltaje.
16. Procedimiento según la reivindicación 9,
donde dicho dispositivo tiene cuatro placas de condensador (15) no
alineadas en dicha primera zona (9) y cuatro placas de condensador
(15) no alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conectan dos placas de condensador (15) de dicha primera
zona (9) y dos placas de condensador (15) de dicha segunda zona
(11) a dicho voltaje intermedio.
17. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 15 ó 16, donde tanto en dicha primer zona como en
dicha segunda zona (11) dichas placas de condensador (15) están
distribuidas en forma de cuadrado tanto en dicha primer zona como en
dicha segunda zona (11), caracterizado porque dicho primer
voltaje y dicho segundo voltaje son aplicados sobre unas placas de
condensador (15) tales que sus proyecciones según dicho eje central
son adyacentes.
18. Procedimiento de actuación de un conjunto
electroóptico según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 7, donde
dicho dispositivo comprende un eje central que se extiende desde
dicha primera zona (9) hasta dicha segunda zona (11) y pasa por el
centro de masas de dicho elemento conductor (7), donde dichas
primera, segunda y tercera placa de condensador (1, 2, 3) son aptas
para ser proyectadas según dicho eje central sobre un plano
perpendicular a dicho eje central, donde dicho dispositivo tiene una
pluralidad de placas de condensador (15) distribuidas con simetría
de rotación según dicho eje central en dicha primera zona (9) y una
pluralidad de placas de condensador (15) distribuidas con simetría
de rotación según dicho eje central en dicha segunda zona (11),
caracterizado porque comprende una etapa de conexión de por
lo menos una de dichas placas de condensador (15) a un primer
voltaje y de por lo menos otra de dichas placas de condensador (15)
a un segundo voltaje, donde dicho segundo voltaje es mayor que
dicho primer voltaje, de manera que dicha proyección según dicho
eje central de las placas de condensador (15) sometidas a dicho
primer voltaje tiene asimetría central respecto de dicha proyección
según dicho eje central de las placas de condensador (15) sometidas
a dicho segundo voltaje.
19. Procedimiento según la reivindicación 18,
caracterizado porque se conecta por lo menos una placa de
condensador (15) adicional a un voltaje intermedio entre dicho
primer voltaje y dicho segundo voltaje.
20. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 18 ó 19, caracterizado porque todas y cada
una de dichas placas está sometida a un voltaje determinado de
manera que ninguna de ellas queda en un estado de alta
impedancia.
21. Procedimiento de actuación según cualquiera
de las reivindicaciones 9 a 20, caracterizado porque cuando
dicho elemento conductor (7) está próximo a una de dichas primera
zona (9) o segunda zona (11), dicho elemento conductor está en
contacto con un circuito externo y porque se conecta dicho elemento
conductor (7) a una tensión a través de dicho circuito externo.
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US6943950B2 (en) * | 2000-08-07 | 2005-09-13 | Texas Instruments Incorporated | Two-dimensional blazed MEMS grating |
JP4560958B2 (ja) * | 2000-12-21 | 2010-10-13 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム |
EP1564584B1 (en) * | 2002-11-19 | 2006-03-29 | Baolab Microsystems S.L. | Miniature electro-optic device and corresponding uses thereof |
US6891657B2 (en) * | 2003-05-20 | 2005-05-10 | Texas Instruments Incorporated | Damped control of a micromechanical device |
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- 2006-03-14 ES ES200600647A patent/ES2288111B1/es not_active Withdrawn - After Issue
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